来源：集邦新能源网2021-03-24

/pecvd设备以及镀膜设备，可实现对perc的低成本升级至topcon。...设备投资在1.2-1.5亿元左右，topcon投资约2-2.5亿元左右，而hjt投资额在4-4.5亿元左右，但单gw perc改造为topcon金额约6000-8000万元左右，主要新增设备为非晶硅沉积的lpcvd

来源：北极星太阳能光伏网整理2021-02-23

，形成新型电池湿法设备及单层载板式非晶半导体薄膜cvd设备生产基地。...该项目计划建设期为2年，完全达产后每年新增20gw perc+高效新型电池湿法设备，新增20gw hjt超高效新型电池的湿法设备以及单层载板式非晶半导体薄膜cvd。

来源：钧石能源2021-02-08

钧石能源自主研发的pvd设备经过多年的潜心研发与改进，钧石能源拥有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备技术，主要设备pecvd、pvd等兼容166mm、18xmm、210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求

来源：集邦新能源网2021-02-02

（3）hjt：hjt的生产工艺只有四步，对应的设备包括清洗制绒设备、非晶硅薄膜沉积设备（pecvd或者cat-cvd）、tco膜沉积（pvd或者cvd）、丝印与烧结设备等，目前对应设备投入约4.5亿/gw

来源：集邦新能源网2021-01-29

单线产能中位数从200mw提升至500mw，这主要来源于主要设备企业对于pecvd生产节拍瓶颈的突破。...通威10月份发布1gw异质结招标结果，其中迈为提供的核心设备pecvd的生产节拍高达8000片/小时，对应182电池片年产能510mw。单gw设备投资额下降至4.5亿。

来源：SOLARZOOM2021-01-13

而到了2020年上半年，则关于18x的讨论开始增多——硅片、电池片企业经过技术探索发现，单晶拉棒炉、管式pecvd等设备经过改造后最大可以满足18x的尺寸。

来源：集邦新能源网2021-01-12

非晶硅沉积环节，射频化学气相沉积（pecvd 工艺的一种）的材料成本约 0.03~0.04 元/片。

来源：光伏新闻2020-12-31

该企业在炭炭材料一件难求的前提下，对pecvd设备的采购按下暂停键，说明该企业对未来的炭炭材料市场不看好。...由于炭炭材料需要浸渍或cvd工艺沉积炭，生产周期长，生产效率低，因此以湖南金博、烟台凯泊、美兰德等为首的炭炭材料企业订单都排到了明年上半年。

来源：集邦新能源网2020-12-22

当前技术路线中，隧穿氧化物及多晶硅沉积主要采用lpcvd设备，国产设备已较为成熟，捷佳伟创、北方华创、拉普拉斯等国内厂商均可提供，此外，peald设备无锡微导已实现量产。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-21

据其半年报显示，迈为股份在hit国产设备上率先突破丝印设备、成功研制板式pecvd，并具备整线供应能力。不仅在光伏激光设备领域订单有一定幅度增加，并在oled激光设备领域也取得关键性突破。

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-10

公告称，中来运用了新一代j-topcon 2.0技术，该技术使用了全球领先的popaid工艺技术，相较于采用lpcvd的topcon1.0技术，j-topcon2.0技术工序少、无绕镀、镀膜厚度可实现±

来源：北极星太阳能光伏网2020-12-07

、pecvd镀膜设备、单多晶制绒清洗成套设备及技术也获得批复。...苏州太阳井新能源有限公司新建900片/年太阳能硅片金属化研发实验室项目、艺丰光电年产1亿片8.8英寸太阳能级晶硅片生产线技术改造项目、无锡琨圣科技年产150台套太阳能硅片topcon制绒清洗、链式清洗、扩散、lpcvd

来源：捷佳伟创2020-11-23

捷佳伟创作为光伏设备行业的领先企业，在perc电池设备技术上已建立明显领先优势，在perc+环节通过与客户深度合作已取得突破；在高效hjt环节，包括rpd系列和先进pecvd在内已具备电池设备整线交付能力

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：格隆汇2020-10-13

无锡松煜科技有限公司是从事高端智能装备开发、生产、销售的光伏设备及半导体工艺设备制造商，目前主要产品为原子层沉积设备(ald)、扩散设备、氧化设备和pecvd设备。

来源：太平洋证券2020-10-12

国产设备进口替代不断成熟， 此前宣城异质结项目的招标中，根据招标文件，迈为中标的 pecvd 产能已达到 8000 片/小时@m6。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网2020-09-30

，形成新型电池湿法设备及单层载板式非晶半导体薄膜cvd设备生产基地。...该项目计划建设期为2年，完全达产后每年新增20gwperc+高效新型电池湿法设备，新增20gwhjt超高效新型电池的湿法设备以及单层载板式非晶半导体薄膜cvd。

来源：pv-magazine2020-09-27

meyer burger通过其helia pecvd平台为a-si钝化部署了等离子体增强化学气相沉积（pecvd）。...该公司在pecvd工艺方面拥有丰富的经验，在最初的perc投资周期开始之时就广泛提供了该技术。