来源：太阳能杂志2020-02-20

采用pecvd、ald...1.2 制备流程采用氧化铝浆料制备黑硅perc 多晶太阳电池的工艺流程为：①黑硅制绒→②扩散→③刻蚀去psg →④背面抛光→⑤印刷氧化铝浆料/ 烧结→⑥ pecvd 正面镀膜→⑦ pecvd 背面镀膜→

来源：能源杂志2020-02-18

其中，光伏设备龙头企业捷佳伟创通过取得住友重工（中国大陆地区）独家授权后实现了在pecvd设备上的突破，其研发的生产线已经应用于通威的hjt产线。与巨头联手...据了解，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而hit电池进口设备约为8-10亿元/gw，国产设备约为5-8亿元/gw，perc则只需要2.5-3亿元/gw，hit电池设备成本约为perc的3倍。

来源：国信证券2020-02-18

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 上额外增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或 ald 设备）和激光开槽设备即 可。perc 核心产品为 pecvd 设备、丝网印刷等。

来源：财联社2020-02-14

招商证券指出，降本还是要看国产设备，其中关键节点在pecvd，主要厂商包括迈为、捷佳、理想、钧石和金辰，但不是无法攻克的，只是需要时间。

来源：广发证券2020-02-12

hjt 工艺所需的核心设备包括：（1）湿法设备；（2）非晶硅沉积所需的pecvd 设备；（3） tco 制膜设备的pvd（rpd）设备；（4）金属化设备。

来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

近几年，perc产能快速扩张过程中，pecvd和激光开槽设备业绩弹性最大。perc设备基本国产化，pecvd主要由捷佳伟创、北方华创、丰盛装备等公司供应，激光开槽设备主要由帝尔激光等公司供应。

来源：评安机械PAJX2020-02-11

公司率先突破：1）开拓适用于hjt电池的丝网印刷设备；2）研制hjt非晶硅镀膜的核心设备板式pecvd，并具备整线供应能力。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

迈为股份则主攻hit中的丝网印刷与pecvd技术，清洗环节选择采购日本yac的成熟产品，tco膜沉积环节选择的是rpd设备采购德国的阿登纳的设备，以此来提供完整产线。...主流上，hit产线共涉及四项设备：用于清洗制绒的rca、用于非晶硅薄膜沉积的pecvd、用于tco膜沉积的pvd、和用于电极金属化的丝网印刷，在这四条赛道上，中国的设备企业已经蓄势待发。

来源：摩尔光伏2020-02-06

来源：招商证券机械团队2020-02-04

国内的理想万里晖率先研发出用于hjt的pecvd设备，打破了长期以来国外厂商的垄断，并且在2019年成功竞标某标志性百兆瓦级hjt项目的pecvd设备供应，并陆续升级pecvd推出配套工艺。

来源：光伏测试网2020-01-31

在电池生产中，隆基认为m6能与现有的主要设备兼容，包括扩散、退火、pecvd和其他工艺。由于旧设备的自然冗余，工艺改造成本也很有限，大多数相关设备的升级改造无论是技术上还是经济上都是可以接受的。

来源：光大证券2020-01-20

（来源：光大证券 作者：殷中枢 菅成广 王威 马瑞山）非晶硅薄膜沉积、tco膜沉积是hjt生产核心步骤，pecvd和pvd国产化、规模化将推动降本。

来源：中国改革报2020-01-15

直到2017年，爱旭科技对技术持续不断投入得到了回报，成功研发出单晶perc的管式pecvd量产技术，光电转换效率比普通单晶电池提升了10%，成本却与单晶电池相当，一下子实现了逆袭。

来源：越声理财2020-01-13

设备端迈为股份、捷佳伟创(52.470,1.67,3.29%)、金辰股份(25.550,-0.10,-0.39%)全部转向hit设备研发，聚焦pecvd。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-01-10

近几年，国内外部分企业开始hit电池的商业化尝试与推广，当前的主要矛盾是pecvd等核心装备的可用性，再之后可能是继续提高效率与耗材降本。

来源：光伏每日头条2020-01-10

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。

来源：OFweek太阳能光伏2020-01-10

据了解，目前主流的电池设备为pecvd，而pecvd设备仅占异质结产线价值量的一半，相较于上述其它两种电池技术来说，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而国内技术并不成熟。

来源：大众证券报2020-01-08

目前，hit电池设备的单机产能相对较低，清洗机、pvd、丝网印刷机单机产能大约在200mw/台左右，pecvd只有100mw/台左右的产能。单机产能低是目前hit电池投资较高的主要原因之一。

来源：电新邓永康团队2020-01-08

但是pecvd里面有一些专利，所以要想做的话是绕不开专利这一块的。

来源：华尔街见闻2020-01-08

设备环节，国产化正在加速，hit设备价格已经下降到7-8亿/gw，pecvd仍是难点。耗材方面，低温银浆国产化基本成功，第二大耗材靶材的国产化也已完成，静待需求放量。