2004-12-31

工艺和新一代固态传感器 　　①微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺； 　　②封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺； 　　③新型传感器：如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器

2004-11-12

在全国有一定影响力的企业有西安中星、西安拓普森、航天44所、西安飞秒光电、西北光学仪器厂5家企业，2003年总销售额达到5亿-6亿元，在市场中形成了1151电容式压力传感器、压敏电阻、力学及惯性传感器、称重传感器、流量传感器

2003-03-22

3.流量传感器 流量传感器主要用于发动机空气流量和燃料流量的测量。空气流量的测量用于发动机控制系统确定燃烧条件、控制空燃比、起动、点火等。...空气流量传感器有旋转翼片式（叶片式）、卡门涡旋式、热线式、热膜式等四种类型。

2006-12-20

1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺；封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺；新型传感器：如用微硅电容传感器、微硅质量流量传感器