来源：四川省发改委2025-01-10

四、项目设计、建设单位在落实节能报告各项措施基础上，应改进和加强以下节能工作： （一）鉴于制绒机、扩散炉、镀膜机、丝网印刷机、烧结炉、清洗机、热水机、干燥机、冷水机组、空压机等主要设备耗能占总能耗比重大

来源：北极星太阳能光伏网2024-12-31

1、超高效太阳能电池装备产业化项目—大尺寸多腔室扩散炉及pecvd设备生产线建设根据光伏行业情况，公司结合自身发展战略，谨慎使用募集资金，预计超高效太阳能电池装备产业化项目—大尺寸多腔室扩散炉及pecvd

来源：浙江省发改委2024-12-04

根据公示信息显示，此项目建设单位为浙江鸿禧能源股份有限公司，项目总投资约22.19亿元，新增用地约83亩，配置扩散炉、管式氧化炉、烧结炉、pecvd镀膜设备等主要生产设备，形成年产7gw n型topcon

来源：北极星太阳能光伏网整理2024-10-28

此次晶盛光子出口海外的产品包括pecvd、lpcvd和管式低压磷扩散炉三款最新设备。这三款电池片设备此次出口海外，将在很大程度推动高效电池技术扩产，更好满足全球不断增加的清洁能源需求。

来源：​中国光伏行业协会CPIA2024-06-28

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉...硅材料加工设备主要有单晶炉、截断机、开方机、磨面倒角机、多线切割机、硅片检测分选设备等，全部设备已实现国产化，其中单晶炉更是以优良的性价比批量出口亚洲，进口设备在国内新建产线已鲜有踪迹。

来源：北极星太阳能光伏网2023-12-29

博海新能源10gw高效topcon太阳能电池项目（一期）拟位于合肥市庐江县高新区城西大道与外环路交口东北角，项目建设电池车间、仓库、硅烷站、特气站、笑气氨气站、综合楼及相关配套设施等，新增单晶制绒机、扩散炉

来源：宜兴市发展和改革委2023-12-06

加快发展溶液涂布设备、真空镀膜设备、丝网印刷设备、激光设备、等离子体化学气相沉积设备（pecvd）、扩散炉等光伏制造设备。到2025年，形成光伏组件产能11gw。持续开展分布式光伏应用示范。

来源：中国光伏行业协会2023-07-04

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉...、氧化退火炉、lpcvd、管式pecvd、印刷机、单晶炉、串焊机、层压机、检测及自动化设备等已基本实现全国产化，并进行不同程度的出口。

来源：中国光伏行业协会CPIA2023-07-03

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉...、氧化退火炉、lpcvd、管式pecvd、印刷机、单晶炉、串焊机、层压机、检测及自动化设备等已基本实现全国产化，并进行不同程度的出口。

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-14

topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备交付时间为2023年6月30日，第一台设备进厂，后续按照双方约定陆续交付。

来源：英孚康2023-05-30

目前已经实现包括生长炉、泛线切类设备、清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd、电池片自动化设备、串焊机、层压机等设备的全面覆盖。

来源：集微网2023-05-19

比如扩散炉需要将炉内温度按照一定升温速率加热到700℃-1040℃左右，并且要快速将温度波动稳定在±0.5℃内，这对控温的精准度、可靠性和稳定性有极致的苛刻要求，温度一旦发生偏差，产品性能就会大打折扣甚至报废

来源：北极星太阳能光伏网2023-04-06

中国电科四十八所产品业务涵盖新能源光伏设备包括扩散炉、pecvd、电池片分选机、硅片分选机等；光伏产品涉及单多晶组件、柔性组件等。...去年10月，湖南红太阳光电自主研制的新一代光伏topcon工艺核心装备——硼扩散设备，成功中标行业领军企业电池扩产项目，实现大批量市场化推广应用。

来源：北极星太阳能光伏网2023-03-30

主要生产低压硼扩散炉、topcon激光掺硼设备、lpcvd设备等，低压硼扩散炉、topcon激光掺硼设备用于光伏电池生产领域。

来源：北极星太阳能光伏网2023-02-01

项目位于安徽省明光市产城新区宝塔山路以东、鲁山路以西、淮河大道以北，占地275亩，总建筑面积11万平方米，项目计划建设生产厂房、仓库、综合楼等，配套建设道路、供配电、给排水等基础设施，购置单晶制绒清洗机、管式硼扩散炉等生产设备

来源：北极星太阳能光伏网2021-07-21

据曹仁贤介绍，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉...、管式pecvd、印刷机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测及自动化设备等已有不同程度的出口，并涌现出了一批高端核心设备制造商。

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售...在工艺研发方面，捷佳伟创的topcon项目—气态源（bcl3）210硅片硼扩散工艺已研发成功，现处于行业领先位置。捷佳伟创是一家国内领先的从事晶体硅太阳能电池设备研发、生产和销售的国家高新技术企业。

来源：中国光伏行业协会CPIA2020-07-22

在光伏生产设备方面，目前，我国在硅料生产、硅片加工、电池片生产、组件生产、环保处理、净化工程，以及相关的光伏检测、模拟器等各类生产设备方面，绝大部分已经实现国产化供应，部分产品如湿法清洗设备、制绒设备、扩散炉...、管式pecvd、印刷机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测及自动化设备等已有不同程度的出口，并涌现出了一批高端核心设备制造商。

来源：解放日报2020-07-08

盛帷半导体设备（上海）有限公司总经理王坚告诉记者，盛美半导体设备研发及制造中心项目拟建设集成电路装备研发和制造中心，重点面向槽式清洗机、退火炉、扩散炉及氧化炉等新产品开发，同时承接盛美上海张江研发中心已有单片清洗机等创新产品的产业化

来源：Solarwit2020-07-06

兼容210会导致持续运行成本的增加，这一点也很好理解，打鸟用炮、大材小用，电池设备电耗是比较高的，电费成本在电池片生产过程中的成本占比也越来越高，为兼容更大尺寸，扩散炉的管径必须大幅度增大，而倘若这一过程中只生产小电池片