来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

除此之外，晶体硅太阳能电池生产过程中还涉及其他非关键的自动化等设备，如自动化装卸片机和自动化上下片机、硅片清洗设备等。al-bsf光伏电池片制造环节需要用到六大设备，这些设备均有国内供应商。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-31

产品信息： 半导体清洗设备；硅片腐蚀清洗机；硅片清洗甩干机；滴定台；石英管清洗机等。

来源：《光伏信息报》2011-11-14

如同百花齐放的清洗设备一样，硅片清洗设备企业也同样如此，并呈现出自己的特色。...提到化学试剂，据很多清洗设备制造商反应，化学试剂即清洗溶剂是当前光伏硅片清洗设备的技术壁垒之一。

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。