来源：精微高博2021-08-26

高标准的测试离不开高性能测试仪器，jw-bk300比表面及孔径测试仪，配置小量程（1torr/0.1torr）硅膜电容式压力传感器，搭载高真空度分子泵，可在短时间内同时对三组样品比表面数据进行采集并完成分析

来源：电子工程2015-09-14

)、声学传感器(麦克风、扬声器以及心率监控ecg传感器)、生物传感器(各种dna传感器、液体细包传感器)、湿度/温度传感器、压力传感器、以及光传感器等等。

来源：控制工程网2012-01-10

(2)集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合传感器，如：压力、静压、温度三变量传感器，气压、风力、温度、湿度四变量传感器，微硅复合应变压力传感器，陈列传感器。

来源：中国机械工业集团公司2011-08-24

国机集团所属沈阳仪表院承担的沈阳市高新技术产业发展计划项目高性能硅电容压力传感器近日顺利通过验收。...该项目采用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技术，在硅电容传感器设计、制造工艺技术、传感器封装结构等方面具有创新性，解决了硅电容传感器研制的工艺技术难题，开发研制出完全拥有自主知识产权的新型高性能硅电容差压传感器产品

来源：仪表网2011-05-13

“soi压力传感器制造工艺研究”项目开展了soi压力传感器制造工艺的研究，建起具有自主技术和知识产权支撑的高温soi压力传感器制造技术平台，实现耐高温soi压力传感器批产工艺的稳定性。

来源：电子产品世界2010-10-28

(3)集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合传感器，如：压力、静压、温度三变量传感器，气压、风力、温度、湿度四变量传感器，微硅复合应变压力传感器，陈列传感器。

来源：中国传动网2010-10-14

(2)集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合传感器，如：压力、静压、温度三变量传感器，气压、风力、温度、湿度四变量传感器，微硅复合应变压力传感器，陈列传感器。

2006-08-21

(2) 集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合传感器,如：压力、静压、温度三变量传感器,气压、风力、温度、湿度四变量传感器,微硅复合应变压力传感器等。 　

2006-08-03

（2）集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺;工业控制用多变量复合传感器,如：压力、静压、温度三变量传感器,气压、风力、温度、湿度四变量传感器,微硅复合应变压力传感器,陈列传感器。

2005-07-21

（2）集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺；工业控制用多变量复合传感器，如：压力、静压、温度三变量传感器，气压、风力、温度、湿度四变量传感器，微硅复合应变压力传感器，陈列传感器。

2004-12-31

（2）集成工艺和多变量复合传感器 　　①微结构集成制造工艺； 　　②工业控制用多变量复合传感器，如：压力、静压、温度三变量传感器，气压、风力、温度、湿度四变量传感器，微硅复合应变压力传感器，陈列传感器。

2006-12-20

（2）集成工艺和多变量复合传感器微结构集成制造工艺； 工业控制用多变量复合传感器，如：压力、静压、温度三变量传感器、气压、风力、温度、湿度四变量传感器，微硅复合应变压力传感器，陈列传感器。