来源：北极星太阳能光伏网2023-04-10

为了进一步延展嘉拓智能产品线，在协同公司材料设备需求的同时服务光伏领域客户，嘉拓智能通过控股子公司东莞嘉拓日晟智能科技有限公司发起设立无锡嘉拓，生产光伏电池片关键工艺设备，主要包括：离子注入机、管式pecvd

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机、离子注入机

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等

来源：经济日报2018-09-25

目前，中国电科已有多台12英寸离子注入机进入北京中芯国际生产线量产，量产工艺覆盖至28纳米，12英寸晶圆累计产量约300万片，200毫米cmp天津厂验证获得圆满成功。...据悉，随着品牌的发布，烁科电子装备有限公司也正式成立，将搭建装备研发与工艺验证平台，持续聚集行业领军人才、海内外优秀人才，不断突破集成电路装备核心技术，推动离子注入机、cmp等装备进入生产线批量应用。

来源：北极星电力网2017-12-27

重点研发12英寸及以上集成电路芯片用低能大束流离子注入机、化学机械抛光设备、激光消融设备、新一代电力电子器件制造用碳化硅高温离子注入机、高温金属有机化合物化学气相沉淀设备、八代以上面板用平板显示光刻机、

来源：北极星输配电网2017-12-27

重点研发12英寸及以上集成电路芯片用低能大束流离子注入机、化学机械抛光设备、激光消融设备、新一代电力电子器件制造用碳化硅高温离子注入机、高温金属有机化合物化学气相沉淀设备、八代以上面板用平板显示光刻机、

来源：能见2017-10-17

我们现在是离子注入机的领跑者，是第一家能把它运用到光伏领域，帮助光伏生产企业降低设备成本，实现产业化，达到平价上网的最终目标。...我们现在是要把光伏的离子注入机，做到提高效率降低成本。我们之前主要是走n型的客户路线，那么经过持续的研发我们的新品在p型也是适用的。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：PV-Tech2015-08-20

离子注入机任何可能的优势很大程度上依赖于n型或p型单晶硅电池的一切运行良好。...在给记者的一份澄清退出太阳能业务部门的声明中，应用材料指出，其将继续为现有solion离子注入机客户提供支持。

来源：索比太阳能光伏网2014-01-07

新改良喷墨印刷技术、高性能太阳能电池片串焊机、单光源太阳能组件测试仪、自动光学检测系统、新一代印刷设备、多线切片技术、离子注入机等先进工艺设备在提升最终产品质量和发电效率上起到了关键的基础作用。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

所技术力量雄厚，专业门类齐全，拥有设计、制造、总装、测试等系统平台，是我国主要以集成电路、半导体照明、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和soi材料等技术为主的骨干科研生产机构，是我国唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-24

所技术力量雄厚，专业门类齐全，拥有设计、制造、总装、测试等系统平台，是我国主要以集成电路、半导体照明、太阳能光伏、磁性材料、新型储能材料、特种传感器和soi材料等技术为主的骨干科研生产机构，是我国唯一以离子注入机为主的微电子装备供应商

来源：OFweek太阳能光伏网2013-12-19

此外，tempress还带来了管式pecvd设备， 因而tempress现在拥有管式pecvd、扩散炉和离子注入机的独特产品组合 ，hansscholing介绍道。...不只是供应设备 更将专利工艺技术融合于设备谈到此次snec展会推出的新品，hansscholing向ofweek太阳能光伏网编辑首推了新产品离子注入机，称利用这一设备可以注入磷烷，并表示下一步tempress

来源：OFweek太阳能光伏网2013-11-08

solion xp为唯一应用于光伏市场量产的离子注入机平台，其具备的原位图形化功能，是制造这些先进电池架构的关键。应用材料公司负责人介绍道。

来源：solarbe2012-06-01

应用材料solion离子注入及简化电池制造环节solion离子注入机的最主要特点是简单、高效，具体体现在如下三个方面：1、solion离子注入机在低成本的前提下，成就了高效率。...2、solion离子注入机是量产认证的。优越工艺控制：紧密效率分布区间;简化工艺：减少步骤，降低成本;设计可靠：机器在客户工厂量产。3、应用材料/维利安是工艺集成专家。

来源：PV-Tech2012-06-01

在我们的展台安装离子注入机，给我们的新老客户一个机会来了解这种太阳能注入系统的设计质量和制造工艺，并熟悉它们的功能。...本月早些时候中国上海举办的第六届国际太阳能行业和光伏展览会议(6thinternationalsolarindustryandphotovoltaicexhibitionandconference)上，其新型离子注入机和

来源：中国科学院2012-05-10

该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入机（国家自然科学基金委、中科院装备项目、方向性项目支持）制备了多种微观结构的黑硅材料，在可见光波段黑硅的平均反射率为0.5%，与飞秒激光制备黑硅的反射率相当。

来源：核工业西南物理研究院2012-02-28

研制了具有自主知识产权的复合渗注镀技术集成试验平台，成功开发出多种等离子体复合表面处理工艺;开发出材料改性多功能离子注入机系列、等离子体镀膜机系列、低温改性处理机、低温冷凝吸附泵、多媒体大屏幕显示屏、核磁共振成像稀土永磁体及超导磁体

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。