来源：金升阳2023-12-13

（二）高端导轨电源：高精度、低纹波经过单晶硅片制造后，进入薄膜沉积、光刻、离子注入等前道工艺。这时设备的工艺环境相对好一些，其设备电源更看重精度、纹波等参数。...以晶圆检测设备为例，其设备电源方案可类似下图。

来源：SOLARZOOM光储亿家2020-06-23

可以说，应用材料的薄膜沉积（cvd、pvd 等）、氧化、刻蚀、离子注入、快速热处理、化学机械平整（cmp）、计量检验等设备基本覆盖了集成电路生产的全部环节。...另外有数据显示，在全球 pvd(physical vapor deposition)设备市场，应用材料拥有近 55%的份额，在全球 cvd(chemicalvapordeposition)设备市场份额也达到了近

来源：北极星储能网2020-06-03

重点为高端芯片产品（处理器芯片、存储器芯片、通信芯片、高端传感器芯片、模拟或数模混合芯片等）；高端集成电路装备产品（光刻设备、刻蚀设备、薄膜设备、湿法设备、扩散设备、抛光设备、离子注入设备、检测设备等）

来源：OFweek2020-05-14

根据研究人员的研究，通过离子注入技术将金和银纳米颗粒嵌入二氧化钛中。依赖纳米颗粒的细胞效率及其等离激元诱导的光电效应显示，其效率（相对而言）比未植入的细胞高89％。...科学家们描述了典型的电浆细胞钙钛矿作为设备由一个紧凑的20 － 50纳米氧化钛（二氧化钛）阻挡层，100 － 400 nm之间嵌入层电子运输材料，如介孔二氧化钛和透明导电氧化物基质，由一个洞之后运输材料夹在钙钛矿吸收器和接触电极

来源：韦伯咨询2019-12-25

大气污染治理主要为泛半导体、垃圾焚烧发电等存在废气治理需求的下游行业提供废气治理设备及服务，保障下游行业生产经营、实现下游行业的绿色发展。...酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液刻蚀、清洗过程，碱性废气主要来源于光刻、显影、化学机械抛光等工艺，有机废气主要来源于涂胶、显影工序以及各工序使用有机溶剂清洗过程，有毒有害废气主要来自于化学气相沉积、干法 刻蚀和离子注入等工序

来源：光伏們2019-09-19

另外，王文静认为，topcon技术在bbr3扩散、硼离子注入、制备双面掺杂层、 p-topcon电池的掺硼多晶硅等方面仍面临着较大的挑战。...对于异质结，最受诟病的无非是成本和设备。

来源：经济日报2018-09-25

李守武说，近年来电科装备围绕做强做优集成电路核心装备，建立了关键装备工艺开发验证平台和装备共性技术研发平台，大力推进集成电路核心装备发展，攻克了离子注入设备、化学机械抛光设备等部分关键技术，同时辐射带动了新型平板显示器装备

来源：摩尔光伏2018-05-28

，工艺上只需增加激光掺杂一个步骤，从设备上来说，只需增加掺杂用激光设备，与常规产线的工艺及设备兼容性很高，是行业研究的热点。...目前选择性发射极的主要实现工艺有氧化物掩膜法、丝网印刷硅墨水法、离子注入法和激光掺杂法等，其中激光psg掺杂法由于其工艺过程简单，从图1可以看出从太阳电池常规产线升级成激光掺杂选择性发射极太阳电池生产线

来源：科华恒盛2018-05-14

以电脑处理器（cpu）为例，从沙子到芯片，需要经过提纯硅、切割成硅圆片、研磨硅圆片、涂抹光刻胶、蚀刻、离子注入、构建晶体管之间连接电路等5000道复杂工序，对生产设备、环境有严苛的要求。...高精尖制造还需高可靠方案为了保证设备能够长时间、稳定地进行精密工作，给芯片生产、制造创造一个良好的环境，工业控制用高可靠电源解决方案必不可少。

来源：能见2017-10-17

离子注入在p型电池中的应用。...技术的特点，高密度的rf离子源，硅片的传送系统，图案化注入，设备的自动化，减少人员配制。这个设备自动化很重要，如果要进入美国市场，要减少人工，实现全产业的设备自动化。

来源：能见2017-10-17

杨智：我们就加一个设备，就加一道，我们的所有都是兼容的。因为你的hit，你两边都要薄膜，对于我们top来说不用。刘正新：ibc的话，离子注入的话，要很多氧膜，这个成本你们是否算过?杨智：ipc的做下

来源：中时电子报2017-09-05

但其制程复杂，机台设备投资大，使成本几乎为传统电池的两倍以上，因此如何降低ibc制造成本，是目前各国开发重点。...商业化的挑战虽然hjt太阳能电池具有许多优势，但在商业化量产上，仍面临挑战需要克服：新增设备机台与制程要求严格：与传统p型电池制程不同，需增加薄膜沉积机台。

来源：南墅石墨2017-06-12

第二是离子注入技术，它形成的pn结非常均匀。...钝化技术要达到这么高的效率水平，实际上有两个基本技术，一个是钝化技术，现在三氧化二铝钝化是非常好的，过去钝化使用ald技术，比较复杂的设备，也比较贵，现在出现了等用离子体三氧化二铝钝化，产业化比较便宜。

来源：中国电力报2017-04-20

传统电池生产线只需要再加两台设备，就可以把perc生产线效率提高1个百分点。王文静表示，近两年比较热门的新型晶体硅太阳能电池技术还有hjt。...目前，国内外有关硼离子掺杂的方法主要有减压扩散法、离子注入法等。运用减压扩散法时，硼和氧气形成三氧化二硼，沸点可以达到1600摄氏度以上。

来源：北极星太阳能光伏网2017-04-13

该公司创新性地将离子注入技术应用于n型太阳能电池生产中，产品实现了正面大于21.0%、背面大于19.0%的高转化效率。...中来股份全资子公司泰州中来光电科技有限公司与江苏中军金控新能源有限公司签署了“600mwp光伏并网电站项目光伏组件设备采购合同”，标的为n型双面315w单晶组件，合同金额总计为人民币20.28亿元。

来源：PV-Tech2015-08-20

左右，并且为太阳能电池应用推出其首个离子注入设备。...太阳能行业也进入资本支出低迷阶段，使得离子注入设备改变的前景更加不可能。

来源：科技日报2015-07-24

要把石墨烯与先进的硅微电子设备整合在一起，大片的石墨烯不能起皱撕裂，必须能在低温下沉淀在硅晶片上，而传统的石墨烯合成技术要求高温。...金智贤说，离子注入技术对产品结构的控制比其它制造方法更精细，因为可以通过控制碳离子注入的剂量来精确控制石墨烯层的厚度。

来源：中国证券网2015-07-21

目前，全球都在加大石墨烯的研发力度，石墨烯在电池、可穿戴设备、冷凝器等方面的应用频现突破。业内人士认为，随着工业4.0提升为国家战略，石墨烯量产将加快，应用前景广阔。...与传统的cvd制备石墨烯工艺相比，离子注入技术具有低温掺杂、精确的能量和剂量控制和高均匀性等优点，采用离子注入法制备石墨烯单双层数仅受碳注入剂量的影响，与气体的体积比、衬底厚度以及生长温度无关。

来源：苏州市政府2015-05-06

重点发展高效低成本光伏电池核心生产设备，大力支持产学研合作研发高效率晶硅还原、高端切割、全自动丝网印刷、平板式镀膜、离子注入、等离子化学气相沉积、真空溅射、硒化、激光划线等工艺和装备，提升硅晶光伏电池生产的核心竞争力

来源：PV-Tech2015-02-09

多年来amtech一直是ecn的产业合作伙伴，并且通过旗下子公司kingstone semiconductor开发ionsolar离子注入设备。...最近，应用材料(applied materials)日前看到台湾和韩国客户吸收锂离子注入设备，尤其是用于n型单晶硅双面太阳能电池，预计启用离子注入技术的逾500mw新产能投入使用，用于高端太阳能电池。