来源：北极星太阳能光伏网2024-01-22

（pecvd）、物理气相沉积设备（pvd）、板式原子层沉积设备（ald）、烧结炉、光注入、碱抛机、碱制绒机、热水机、烘干炉、镀舟机、插片机、分选机、测试机、冷水机组、空压机、风机、水泵等生产及公辅设备。...包括电池车间、研发车间、综合仓库、化学品库、动力站、110千伏变电站、中转池、磷烷站、空分站、氨气/笑气站、硅烷站、食堂、倒班宿舍、门卫室等生产及公辅设施，租用建筑面积229335.85平方米；购置安装硼扩散、等离子体增强化学气相沉积设备

来源：生态环境部2023-12-14

本标准规定了测定土壤和沉积物中19种金属元素总量的电感耦合等离子体质谱法。本标准的附录a 为规范性附录，附录b～附录d 为资料性附录。本标准为首次发布，自2024年6月1日起实施。...土壤和沉积物 19种金属元素总量的测定 电感耦合等离子体质谱法（hj 1315—2023）》。

来源：北极星太阳能光伏网2023-09-28

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

来源：北极星太阳能光伏网2023-07-18

目前，乐天钙钛光电已拥有精密狭缝涂布技术、大面积薄膜印刷技术、等离子体沉积技术以及前驱体合成技术和电子空穴传输层调控技术。预计年内有望建成100mw中试线，并计划于2025年实现电池组件量产。

来源：江苏省工业和信息化厅2023-06-20

新一代光伏技术与装备：围绕高转换效率、高功率电池发展方向，重点研发适用于下一代太阳能电池技术的新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：国家能源局2022-10-24

开发调整气藏方案编制技术要求页岩油 页岩储层渗吸测定技术规范页岩油 页岩有机萃取物中饱和烃和芳烃生物标志化合物色谱质谱同步分析方法页岩油 页岩含油量及可动性评价方法页岩油 页岩热物性参数实验技术规范页岩油 细粒沉积体系与岩相编图规范页岩油

来源：PVInfoLink2021-09-17

cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势，部分厂商也在开始尝试该路线；tco制备环节，磁控溅射pvd法因为工艺简单，膜层均匀易控制且靶材利用率高制造成本低等优势已然成为制备tco的主流工艺，而反应等离子体沉积

来源：pv-magazine2021-07-29

技术分歧梅耶博格的hjt生产线基于pecvd（等离子体增强化学气相沉积）工艺，用于生产双结晶体硅(a-si)/非晶硅(a-si)电池。...oxford pv可以直接与溅射或薄膜沉积专家而不是梅耶博格合作。”

来源：北极星环境修复网2021-05-17

北极星环境修复网获悉，近日，江苏省地方标准《土壤和沉积物 锂、铌、锡、铋的测定 电感耦合等离子体质谱法》发布，规定了测定土壤和沉积物中锂、铌、锡和铋的电感耦合等离子体质谱法（icp-ms），适用于土壤和沉积物中锂

来源：pv-magazine2021-04-14

工艺步骤还包括高温退火并通过等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）在电池的两侧应用氮化硅（sinx）层。...研究人员sebastian mack告诉《光伏》杂志：“目前，额外的氢化步骤确实会增加额外的成本，因为必须使用另一种pecvd工具来两次沉积后氮化硅（sinx）层。

来源：集邦新能源网2021-02-02

值得注意的是，虽然某些工序/设备名称一样，但是实际区别较大，例如pecvd设备，pecvd全称为等离子体增强化学气相沉积法（plasma enhanced chemical vapor deposition...在perc中用来沉积sinx薄膜与钝化alox薄膜，在topcon中用来钝化氧化硅薄膜与沉积本征多晶硅薄膜，在hjt中用来沉积非晶硅薄膜，因为沉积的薄膜不同，设备的构成、镀膜速度、投入等存在巨大差别。

来源：中国冶金报2020-12-07

在长期阶段，需要突破的关键技术可分为以下3个方面：一是“碳直接避免”方向，包括氢等离子体熔融还原技术、氧化铁熔融电解/热电解技术。...在中期阶段，需要突破的关键技术可分为以下4个方面：一是“碳直接避免”方向，包括电解沉积（碱性溶液）技术。二是pi过程集成方向，包括先进煤基熔融还原技术。

来源：pv-magazine2020-09-27

meyer burger通过其helia pecvd平台为a-si钝化部署了等离子体增强化学气相沉积（pecvd）。...bloombergnef团队注意到，这些设备供应商在hjt电池的两侧部署了化学气相沉积（cvd）来沉积非晶硅（asi）。

来源：科创板日报2020-08-06

目前，理想晶延已经推出了原子层沉积 （ald）设备、等离子体增强化学气相沉积（pecvd）设备、铜铟镓硒（cigs）蒸镀等太阳能电池生产中关键工艺设备及相关辅助设备、应用于光电子领域的金属有机物化学气相沉积

来源：Solar cells 技术2020-07-17

对于sin x，一方面，采用pecvd（等离子体增强化学气相沉积）方法，在沉积过程中，其折射率可以从1.98调整到2.98 ]。...因此，在本报告中，第三层被siox取代，它具有更合适的1.46的折射率，并且可以很容易地集成到sinx中采用等离子体增强化学气相沉积（pecvd）方法的沉积工艺。

来源：新能源沙龙 中信建投2020-06-17

）来沉积正面的氮化硅减反膜，使用丝网印刷机印刷背面铝膜和正面银栅线，最后在烧结炉中完成高温烧结。...常规单晶铝背场电池常规p型单晶铝背场电池使用p型硅片做衬底，在槽式制绒清洗机中完成清洗制绒，在扩散炉中进行扩散制pn结，使用湿法刻蚀清洗机或等离子体刻蚀机与去psg清洗机完成刻蚀和去磷硅玻璃，使用pecvd（等离子体增强化学气相沉积

来源：光伏們2020-05-19

，藉由四个主要设备来完成八个工艺步骤，使得工艺流程极大地简化，生产场地占地面积大大缩小，其工艺步骤如下：01、制绒清洗机 ：电池正反面制绒 02、等离子体增强化学气相（pecvd）沉积正面本征非晶硅薄膜

来源：摩尔光伏2020-05-19

a 型416管式pecvd机台使用的是416石墨舟载片，相较于b型308管式pecvd使用的308石墨舟载片，其增加了长度和宽度，因此增加了工艺功率使镀膜平均功率相同，平均沉积速率相同，但等离子体整体辉光放电均匀性变差

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

电池生产设备国产化正在积极推进中；背钝化技术氧化铝镀膜设备研发已形成批量生产销售；topcon电池工艺技术钝化设备研发已进入工艺验证阶段；智能制造车间系统产品技术成熟，步入大规模产业化推广阶段；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉

来源：摩尔光伏2020-03-16

2.结果与讨论 2.1氮化硅薄膜沉积原理与分析等离子体增强化学气相沉积法沉积薄膜的原理如图1，pecvd是一种射频辉光放电的物理过程和化学反应相结合的技术，在保持一定压力的原料气体中，输入直流、高频或微波功率