来源：山东志伟2025-09-01

晶圆清洗：去除污染物，保障器件良率晶圆表面的污染物（颗粒、有机残留、金属杂质）是导致器件失效的主要原因之一，臭氧通过“氧化 + 螯合” 机制实现高效清洗，是替代传统高污染清洗工艺（如 rca 清洗）的关键技术

来源：民生证券2020-05-19

另外，根据光伏的报道，东方日升异质结组件以及 210 组件 已有小批次订单在生产，公司在“hit 无接触传输系统”、“hit 双面无翻转镀 膜系统”、“hit 高迁移率 tco 项目”、“高效臭氧清洗技术开发

来源：摩尔光伏2020-05-19

目前，东方日升在“hit无接触传输系统”、“hit双面无翻转镀膜系统”、“hit高迁移率tco项目”、“高效臭氧清洗技术开发”、“高效hit电池印刷技术开发”等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。

来源：亚化咨询2020-05-14

目前，东方日升在“hit无接触传输系统”、“hit双面无翻转镀膜系统”、“hit高迁移率tco项目”、“高效臭氧清洗技术开发”、“高效hit电池印刷技术开发”等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。

来源：北极星太阳能光伏网2020-05-12

目前，公司在“hit无接触传输系统”、“hit双面无翻转镀膜系统”、“hit高迁移率tco项目”、“高效臭氧清洗技术开发”、“高效hit电池印刷技术开发”等太阳能电池产品及技术方面有了较大突破。

来源：摩尔光伏2020-02-13

臭氧的氧化还原势高于h2o2，可有效去除金属、颗粒和有机物，而且不会增加硅片表面微粗糙度。臭氧清洗在满足工艺需求的同时，可降低化学品耗量及动力运行成本。...故制绒清洗后的硅片要尽快转移至cvd工序，生产中需将制绒后q-time时间压缩至极致。由于rca清洗化学品耗量较大且废液处理成本较高，目前行业内开始使用臭氧超纯水清洗代替rca完成硅片制绒后清洗工作。