来源：2019石英大会2019-09-05

使用化学气相沉积反应器技术工艺，将三氯氢硅转化为纯度高达99.999999999%的高纯度多晶硅。...rec是硅烷流化床生产工艺的代表，其每年多晶硅产量中，约80%为流化床工艺生产，10%为西门子法生产，还有部分电子级多晶硅产品。

来源：TaiyangNews2017-03-16

对于硅材料生产商而言，西门子化学气相沉积（cvd）反应器依然是主流，而流动床反应器（fbr）则成为了商业生产中应用的另一种技术。...本市场报告包括了在这一领域的七家领先的设备供应商的产品，调查了他们提供的西门子反应器的技术指标。

来源：pv-tech2014-11-05

最初，其考虑使用schsilicontechnology的甲硅烷化学气相沉积(cvd)，之后其转变为sitec(centrothermgroup)的三氯氢硅cvd概念(西门子法)。...其次，基于甲硅烷或三氯氢硅，一个新的进入者无法回击启用成熟的西门子法的低成本中国多晶硅生产商。因此，idea已经通过与recsilicon联系，进行向流化床反应器的下一轮技术转换。

来源：solarF2012-04-13

硅烷法制造多晶硅也是一种化学方法，核心工艺是利用高纯度硅烷在反应器中热分解为高纯度硅。...tcs)，然后将tcs精馏提纯，最后通过还原反应和化学气相沉积(cvd)将高纯度的tcs转化为高纯度的多晶硅。