来源：中国电力电子产业网2014-05-27
2014 年 5 月 20 日,kla-tencor 公司宣布推出 teron sl650，该产品是专为集成电路晶圆厂提供的一种新型光罩质量控制解决方案，支持 20nm 及更小设计节点。
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