来源：中国能源报2021-03-10

南方电网数字电网研究院有限公司智能传感与芯片技术负责人李鹏在接受本报记者采访时表示：“目前我国智能传感领域在新材料、磁阻芯片、微型传感器集成技术、低功耗mems技术等方面，已具备重要的研究基础和核心优势

来源：中商产业研究院2020-06-01

纳米、薄膜、厚膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器实现新功能提供了条件；同时，凭借mems技术，国际先进智能气体传感器已能够在一个小型封装内集成气体传感、信号采集、信息处理、校准数据存储、温度补偿以及数字接口等功能

来源：前瞻产业研究院2019-03-21

电镀技术作为一个从原子、离子尺度开始的材料制造以及零部件制造技术，与光刻蚀技术相结合，发展成为mems技术，mems技术随即成为mems领域的尖端技术。

来源：北极星电力网2018-01-30

集成电路关键装备和材料2.2.5 mems技术2.3 高端通用芯片2.3.1 神经网络与深度学习芯片2.3.2 概率芯片2.3.3 通用cpu2.3.4 智能终端嵌入式cpu2.3.5 神经拟态芯片2.4

来源：北极星环保网2018-01-26

、混合光电子、微波光电子2.2集成电路2.2.1集成电路设计2.2.2集成电路制备2.2.3新型、高密度集成电路封装、测试技术2.2.4集成电路关键装备和材料2.2.5mems技术2.3高端通用芯片2.3.1

来源：仪器信息网2016-02-25

滨松微型光谱仪是滨松moems技术的产物，该技术融合了滨松光电半导体开发技术和mems技术，将光电元器件的体积和成本都进行了大幅度的缩减。

来源：仪器信息网2016-02-18

5.微机电系统技术以微米、纳米加工技术为基础制造的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微机电系统(mems)技术等。

来源：中关村在线2015-11-20

据科技市场研究机构ic-insights的数据显示，2014年全球所售传感器的80%均是基于mems技术。...中国的歌尔声学(002241,股吧)、瑞声科技和美新半导体无锡有限公司已进入全球mems传感器供应商前50强，前两者分别是全球第二和第四大mems麦克风供应商，出货量占2014年全球市场的25%；汇顶科技的隐藏式指纹识别传感器技术已引起全球关注

来源：物联网世界2015-09-10

不论是在家中、车上或工作场所，微机电(mems)应用已悄悄深入消费者生活。尽管不常受到注意，mems技术在过去20年间经历了剧烈的改变。...另外，mems也可大量应用在物联网中的气体与化学感应。与其他感应技术相比，mems能减少感应器50%的尺寸大小与制造成本。

来源：OFweek 工控网2014-10-31

公司的管理团队有着深厚的半导体封装和mems产业背景，并曾作为创始人实现过一家半导体封装公司及一家mems公司的上市;公司的技术核心有着在国内外顶尖大学微电子实验室从事mems与集成电路(ic)技术研究的宝贵经验

来源：OFweek 可穿戴设备网2014-09-10

飞思卡尔采用微机电系统(mems)支持传感技术。基于mems的传感器产品提供感应、处理、甚至控制周围环境的接口。飞思卡尔基于mems的传感器将非常小的机械和电子元件组合在单一芯片上。

来源：工信部2013-09-22

上海波汇通信科技有限公司 14 基于mems 技术的工业生产过程现场信息采集设备及产业化...湖北迅迪科技有限公司 11 周界围栏监控专用mems温度与振动复合传感器研发及产业化

来源：中国传动网2013-08-27

意法半导体mems技术营销经理郁正德则表示，整合mcu的智能传感器其成本势必也会较高，是否能受到oem厂商青睐也是业界关注的问题。...不过，郁正德也分析说，由于目前mcu与mems的产能都在逐年快速成长，市场竞争相当激烈，导致价格一路下滑，因此未来高整合度mems在价格上的竞争力并不会输给传统单颗的设计，且可减少印刷电路板的占用空间，

来源：工控网(百站)2013-08-19

微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，已成功应用在硅器件上做成硅压力传感器。...第三代传感器是以后刚刚发展起来的智能型传感器，是微型计算机技术与检测技术相结合的产物，使传感器具有一定的人工智能。由此可见，传感器技术在发展经济、推动社会进步方面的重要作用，是十分明显的。

来源：工控网(百站)2013-08-16

mems传感器技术随着信息技术发展要求变得更加严格，全球的mems传感器市场随着平板电脑以及手机的强劲增长变得缓慢下来。...在此背景下，以mems为代表的智能传感器技术得到了快速的发展。

来源：中国物流产品网2013-08-05

mems技术属于物联网的信息采集层技术。4.gps技术gps技术又称为全球定位系统，是具有海、陆、空全方位实时三维导航与定位能力的新一代卫星导航与定位系统。

来源：中国教育装备采购网2013-03-11

近年来随着红外传感技术的不断进步，采用微机械系统(mems)技术制作的非致冷热电堆红外探测器以其能耗低，重量轻，体积紧凑、开机预热时间短和成本低等优点而倍受关注。

来源：中国高新技术产业导报2012-03-22

8.特种工艺与精密制造技术多维精密加工工艺，精密成型工艺，焊接、粘接、烧结等特殊连接工艺，微机电系统(mems)技术，精确可控热处理技术，精密锻造技术等。

来源：中国行业研究网2012-02-23

，mems技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。十二五将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：中国传动网2011-07-12

，mems技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。