来源：临沂市兰山区人民政府2024-12-25

通知还指出，围绕建链成群开展招商引资工作，依托已经招引落地的钙钛矿太阳能电池项目，梳理产业上下游，重点围绕电池材料（钙钛矿材料、ito靶材、tco导电膜等）、生产设备（pvd真空离子镀膜设备、涂布设备、

来源：北极星太阳能光伏网2024-12-17

此项目总投资23亿元，项目主要用于自主研发、设计、制造由迈为股份自主创新、行业首创的双面微晶异质结高效电池整线设备，包括pecvd真空镀膜设备、pvd真空镀膜设备、自动化设备等，可实现年产值近200亿元

来源：北极星太阳能光伏网2023-11-21

7月2日，捷佳伟创发布公告称，公司拟募资用于钙钛矿及钙钛矿叠层设备产业化，两项目拟利用募资金额分别为6.86亿元和2.75亿元，项目建成完全达产后可实现年产160台磁控溅射镀膜设备（pvd）、119台反应式等离子镀膜设备

来源：北极星太阳能光伏网2023-08-21

本项目建设周期拟定为2.5年，项目建成完全达产后可实现年产160台磁控溅射镀膜设备（pvd）、119台反应式等离子镀膜设备（rpd）及60台真空蒸镀设备（mar），显著提升公司钙钛矿及钙钛矿叠层电池核心设备相关产品的生产能力和技术优势

来源：北极星太阳能光伏网2023-07-03

具体来看，捷佳伟创7月2日发布公告称，公司拟募资用于钙钛矿及钙钛矿叠层设备产业化，两项目拟利用募资金额分别为6.86亿元和2.75亿元，项目建成完全达产后可实现年产160台磁控溅射镀膜设备（pvd）、119

来源：北极星太阳能光伏网2023-07-03

该项目建设周期拟定为2.5年，项目建成完全达产后可实现年产160台磁控溅射镀膜设备（pvd）、119台反应式等离子镀膜设备（rpd）及60台真空蒸镀设备（mar），显著提升公司钙钛矿及钙钛矿叠层电池核心设备相关产品的生产能力和技术优势

来源：晟成光伏2023-05-26

此外，晟成也携钙钛矿大面积多源共蒸团簇式蒸镀机、hjt制绒清洗机、立式旋转腔pvd镀膜设备等电池工艺设备模型来到现场，展示前沿电池装备创新工艺。

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-21

、钙钛矿叠层电池制造整体解决方案；半导体领域pvd、ald镀膜设备等。...公司拥有一支技术精湛、经验丰富的技术研发团队，成员均为博士、硕士在内的高科技人才，与诸多行业龙头、知名高校、工艺专家及科研院所等建立长期战略合作关系，主要提供高效硅基电池用清洗制绒设备、真空镀膜设备；钙钛矿电池组件

来源：集邦新能源网2022-10-28

主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是lpcvd+磷扩；pecvd工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；pvd法主要是中来在布局，peald主要是通威、微导在主导。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2022-09-13

镀膜设备。...核心设备，捷佳伟创实现perc+/topcon/hjt设备全覆盖，晟成光伏在hjt异质结领域，可提供制绒、清洗制等湿法工艺设备，供制绒、清洗制等湿法工艺设备；在topcon领域，公司可提供pecvd&pvd

来源：苏州晟成光伏2022-07-26

晟成光伏高效节能topcon电池镀膜设备，基于智能制造设计理念，采用具有自主知识产权的硅片清洗技术、pecvd&pvd结合的新型工艺路线及动态镀膜技术，实现topcon电池生产工艺中的界面氧化物生长、本征多晶硅沉积及磷元素原位掺杂三大核心环节高效低能耗生产

来源：苏州晟成光伏2022-06-23

针对市面上其他topcon光伏电池背钝化镀膜设备的优缺点进行深入分析，晟成光伏决定采用pecvd镀膜与低损伤pvd镀膜相结合的技术方式来制备topcon电池的背面隧穿二氧化硅膜层和掺杂非晶（碳化）硅膜层

来源：高工氢电2022-05-09

在此形势下，来自国外的上游供应商金属板生产商法因图尔、pvd真空镀膜技术公司impact coatings也开始在国内展开布局。这些都将加快金属板电堆在国内的应用进程。

来源：北极星太阳能光伏网2022-03-28

据了解，这条生产线选用了迈为独立研发的hjt3.0设备，该设备具有大尺寸、半片、薄片化等优点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中可实现全程无行车，并且支持连续镀膜，可以有效提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-10

4个环节的设备均选用迈为独立研发的hjt3.0设备，具有大尺寸、半片、薄片化等特点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中全程无行车，并支持连续镀膜，可以有效降低成本、提高转化效率。

来源：PVInfoLink2021-09-17

总体来说，pecvd+pvd已然成为hjt最主流的路线组合。...hjt 因为没有良率问题的困扰，当前技术路线已经较明确，pecvd法其中主要以rfcvd因为技术成熟度较高且镀膜均匀性较好已经成为制备非晶硅层的主流工艺路线，热丝cvd因为其沉积速率高和对硅片钝化效果好的优势

来源：集邦新能源网2021-02-02

（3）hjt：hjt的生产工艺只有四步，对应的设备包括清洗制绒设备、非晶硅薄膜沉积设备（pecvd或者cat-cvd）、tco膜沉积（pvd或者cvd）、丝印与烧结设备等，目前对应设备投入约4.5亿/gw...在perc中用来沉积sinx薄膜与钝化alox薄膜，在topcon中用来钝化氧化硅薄膜与沉积本征多晶硅薄膜，在hjt中用来沉积非晶硅薄膜，因为沉积的薄膜不同，设备的构成、镀膜速度、投入等存在巨大差别。

来源：捷佳伟创2020-09-17

基于我们厂内样品测试数据，采用至少正面新型rpd镀膜的hjt技术装备和工艺方案，在同等条件下将比现有的常规hjt装备和工艺，高出至少0.6%的效率增益。...捷佳伟创还即将推出二合一设备par5500，正面采用新型rpd，背面采用pvd，完美整合为一台设备与一套自动化，占地面积减少一半，并大幅降低了设备成本。

来源：摩尔光伏2020-09-08

据介绍，该1gw高效hjt异质结电池是目前国内首家采用国际最先进的清洗制绒机、pecvd非晶镀膜机、pvd沉积导电膜机和电极印刷机，匹配自主研发的高效工艺技术路线，产品三十年无光衰，项目为黑灯柔性智能无人车间

来源：北极星太阳能光伏网(独家)2020-06-27

中科院电工所王文静表示，光注入退火、mbb、rpd镀膜是业内目前已探索出的三类可支撑hjt提效至24%的关键技术。...迈为在异质结的布局从丝网印刷设备拓展至薄膜沉积环节，并积极布局包括清洗设备、cvd设备、pvd设备、丝网印刷设备在内的hjt整线解决方案。