类别：来源：中国机械工业集团公司2011-08-24 09:22:29
国机集团所属沈阳仪表院承担的沈阳市高新技术产业发展计划项目高性能硅电容压力传感器近日顺利通过验收。...该项目采用先进的微电子和微机械加工相结合的工艺技术，在硅电容传感器设计、制造工艺技术、传感器封装结构等方面具有创新性，解决了硅电容传感器研制的工艺技术难题，开发研制出完全拥有自主知识产权的新型高性能硅电容差压传感器产品
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