北极星

搜索历史清空

  • 水处理
您的位置:电力输配电保护与控制企业正文

金升阳:半导体要高精尖,设备电源得高精度、低纹波、高可靠

2023-12-13 11:51来源:金升阳关键词:金升阳电源电力设备收藏点赞

投稿

我要投稿

全球芯片短缺状况反复出现,半导体制造行业备受瞩目。该行业产业链长,从工艺上可分为三大道工艺:单晶硅片制造—前道工艺—后道工艺,这三大制造工艺里涉及设备众多,如单晶炉、光刻机、晶圆检测等等。受半导体高精尖要求和市场格局影响,这些设备电源需要满足高可靠、高性能、瞬态带载能力强、国产化等要求。

1696830628769808.jpg

(一)标准导轨电源:高可靠性、EMC优异

单晶硅片制造的生产环境相较于后两道工艺的要恶劣一些,生产过程中产生粉尘和废水等,因此对设备电源的可靠性,防护能力提出了更高的要求。

单晶炉的电源方案可简化如下图,工厂用电给到两个主电源,一路由480W标准导轨电源给电给到控制板、显示屏、传感器等,另一路由150W机壳开关电源给电到摄像机等辅助设备。

1696830646822213.jpg

以标准导轨LIF480-10B24R2为例,该产品满足宽输入电压85-264VAC/120-370VDC,宽工作温度-40℃ to +70℃,高隔离耐压3000VAC,高PF值>0.99,低纹波噪声50mV等;而且具备可承受305VAC输入电压5s、体积小(48mm宽度)、保护功能齐全的优势,可应用于半导体制造等领域。

1696830660554008.jpg

(二)高端导轨电源:高精度、低纹波

经过单晶硅片制造后,进入薄膜沉积、光刻、离子注入等前道工艺。这时设备的工艺环境相对好一些,其设备电源更看重精度、纹波等参数。

以光刻机为例,光刻机的电源方案如下图,工厂用电大致分两路,一路通过超大功率电源给电到照明系统,一路可用240W/480W的导轨电源给电到各分系统。

1696830683907746.jpg

240/480W电源可选用金升阳高端导轨LIMF系列,该系列性能强大,满足高精度、低纹波噪声的需求;而且具备150%峰值功率、ModBus通讯功能等特点。另外,其可靠性和使用寿命大幅提升,比如满足防爆认证,60℃可满载工作,提供5年质保,兼具防盐雾、5G抗震、三防漆保护等优势。

1696830697242941.jpg

(三)中大功率机壳开关电源:高效低耗、高功率密度

后道工艺主要包括减薄、划片、引线缝合、成塑等,设备电源可用中大功率机壳开关电源,来解决大功率、低纹波等需求。

以晶圆检测设备为例,其设备电源方案可类似下图。用1个3000W电源或2个1500W电源并联升功率,给电到机柜、滑台等,再通过DC/DC模块URB2412ZP-6WR3降压到12V,再给电到后端MCU、通信模块。

1696830722664422.jpg

中大功率机壳开关电源以1500W的LMF1500-20B24来说,该产品体积小巧,功率密度高至19.18W/inch³,同时具备低功耗、高效率、高可靠性的优点。此外,还具备宽工作温度-40℃ to +70℃,主动式PFC,支持3+1并联冗余、均流,输出短路、5s恒流、过压、过温保护功能等优点,可良好用于如晶圆检测等半导体设备中。

1700121748383985.jpg

(四)配套模块:配套齐全、保护功能完善

半导体行业设备的电源方案不仅包括上述的导轨、壳架类供电侧电源,还包括冗余模块、UPS模块、EMC滤波器等配套模块,DC/DC模块、通信总线模块等板卡侧电源,射频电源、直流高压电源等特殊电源。

金升阳在关于半导体制造设备领域里有自己的一站式电源解决方案,从前端到后端均有产品可以匹配,可为广大用户带去高精度、低纹波、EMC特性好、瞬态带载能力强,使用寿命长的优质国产电源。

1696830754226821.jpg

(五)小结

随着 5G 的广泛部署以及物联网时代的发展,半导体制造极其重要,电源需求日益扩大,其要求也更加严格。金升阳作为一站式电源解决方案商,致力为半导体领域用户提供更多无忧的国产电源。


投稿与新闻线索:陈女士 微信/手机:13693626116 邮箱:chenchen#bjxmail.com(请将#改成@)

特别声明:北极星转载其他网站内容,出于传递更多信息而非盈利之目的,同时并不代表赞成其观点或证实其描述,内容仅供参考。版权归原作者所有,若有侵权,请联系我们删除。

凡来源注明北极星*网的内容为北极星原创,转载需获授权。

金升阳查看更多>电源查看更多>电力设备查看更多>