来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-02-20

，2种(管式pecvd、快速烧结炉)与进口光伏设备并存但份额正逐步增大。...pecvd（管式）的工艺结果已接近世界先进水平，这是这种设备的优势。

来源：中电新闻网2012-01-12

技术薄膜太阳能电池关键生产设备成功下线２０１１年１月８日，中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海成功下线。

来源：光明日报2012-01-04

集团还自主创新开发了全自动槽式多晶植绒设备,高方阻软着陆扩散炉,大尺寸高均匀性pecvd,高分辨率全自动印刷机等核心设备,拥有多项技术专利和完全自主知识产权,2010年被国际权威审计机构德勤评为,中国高科

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-21

pecvd等薄膜电池生产设备的研制、生产，将光伏生产设备成本降低30%。...在未来3-5年内，进一步支持大尺寸、全自动单晶炉，吨级多晶硅铸锭炉，大尺寸、多线切割机，硅片自动分选机等太阳能硅片关键生产设备的国产化，支持多槽制绒清洗设备，全自动平板式pecvd，激光刻蚀机，全自动印刷机等晶硅电池生产线设备和

来源：《光伏信息报》2011-11-14

、全自动硅料清洗设备、全自动硅片清洗设备、全自动单晶制绒酸洗综合设备、多晶链式制绒设备、湿法刻蚀设备、等离子体刻蚀机、pecvd、非晶硅玻璃基片清洗设备等。

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-01

为光伏制造大国，但在电池片生产核心设备如pecvd，烧结炉等关键设备依然未能很好实现国产化，也一直制约着我国电池片的生产成本。...太阳能光伏作为北方微电子的一大重要产业部门，得益于企业雄厚的财力支持，太阳能部门今年虽然在市场普遍萧条之下受到一定影响，但并未动摇北方微电子加快推动pecvd技术的研发脚步，已建成的新厂房内包括了50mw

来源：北极星电力网2011-10-20

当前要重点加强太阳能级硅材料提纯，加强高效太阳电池、光伏系统以及多晶硅浇铸炉、线切割机、等离子体增强化学气相沉积设备(pecvd)等关键设备的研制，提高晶硅原材料的自给率。

来源：Solarbe2011-10-13

该集团的光伏研究院的技术创新及成果包括：业内首创多晶槽式制绒、高方阻扩散、高均匀管式pecvd、高精度se工艺电极对位印刷以及双排烧结炉。还有更多企业的精彩发言，在此就不一一列出。

来源：中国能源报2011-10-12

如从pecvd到pvd这些设备，从设计到制造都已经实现国产化，在北京就可以制造非晶锗硅电池的核心设备pecvd、pvd，而且从图纸到设计制造都是由汉能控股的上市公司持有其产权。

来源：《瞭望》新闻周刊2011-10-09

在汉能控股四川双流一期300兆瓦薄膜太阳能电池研发制造基地，本刊记者9月22日换上工装走进全球单厂产能最大的单体厂房一个月前，国家副主席习近平在这里考察了汉能研发、拥有自主知识产权、居世界先进水平的pecvd...在四川双流薄膜太阳能电池研发基地，本刊记者就业界普遍关心的薄膜转化率问题，咨询四川汉能光伏有限公司设备部经理胡尚智，他以坚定的口气回答：转化率已达10%，量产后这一指标还会提高。

来源：志趣网2011-09-29

总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于国产化替代进口阶段，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...先后对扩散炉温度控制系统、推舟控制系统、pecvd压力控制系统、清洗机自动补液系统、高温烧结炉网带自纠偏系统、丝网印刷机压力自适应系统等一系列关键技术进行了重要的改进，取得了重大技术突破，扩散炉、pecvd

2011-09-28

目前，强生光电公司自行研发和制造pecvd等核心设备，生产成本仅为进口的20%；非晶硅薄膜电池产能、转换率、销售量均居中国非晶硅薄膜电池工厂前列，已在欧洲等地建有20多处光伏电站。

来源：易恩孚2011-09-16

3)电池设备与生产自动化专场新一代缺陷检测技术先进制造执行系统解决方案太阳能全产业链解决方案最新pecvd技术会场二：1)光伏产业投融资专场光伏电站投资机遇及风险分析2011年中国光伏产业投资机遇及热点晶硅电池与薄膜电池行业投资优势及亮点分析解析中国光伏产业发展相关规划

来源：新华社2011-09-16

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。

来源：新华网2011-09-07

十二五期间，我国应继续通过863、973等科研计划，支持多线切割机、pecvd镀膜设备、自动丝网印刷机等高端光伏电池生产设备和电子浆料、石英制品等基础材料的技术攻关。

来源：《中华工商时报》2011-09-07

二是以首台中国造太阳能薄膜制造装备lpcvd、pecvd,在正泰集团理想公司下线为标志，实现了产业结构由传统制造领域向光伏太阳能及半导体高端装备制造的方向转型。...对其企业组织架构与价值链核心流程进行了优化再造，通过体系认证；有效地促进了供应商企业向规范化、精细化管理方式转变；帮助其推动技术与工艺装备改造。积极引导供应商企业开展技术创新，淘汰落后生产工艺设备。

来源：全球光伏网2011-09-05

法特博士：例如我们新开发c.niteinline设备，是将我们具有多年实践经验的管式pecvd的优点和连续在线生产的创新技术完美结合。通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。

来源：《成都商报》2011-09-02

不怕温度高不怕光照低在成都也能广泛应用在整洁的车间里，成都商报记者参观了汉能控股集团薄膜太阳能电池生产线，这条生产线采用汉能自主研发的pecvd核心装备和工艺技术，已达到全球领先水平。...汉能光伏全产业链布局带动一批成都中小企业2009年以来，汉能控股集团先后在四川双流、广东河源、浙江长兴、海南海口、江苏武进、山东禹城等地完成了薄膜太阳能电池产业基地的选址、规划，总计启动240亿元投资，

来源：中国电子报2011-07-14

/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)则完全依赖进口。