来源：电新产业研究2020-01-07

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。...除pecvd等核心设备外，低温银浆、靶材研发也有较大的突破与进展。

来源：光伏测试网2019-12-30

（来源：微信公众号“光伏测试网”id：testpv）hwcvd vs. pecvdhwcvd vs. pecvd一次8片；可实现 in、ip、双面tco的不破真空连续镀膜自行设计、国内公司生产热丝加工新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝

来源：高工锂电2019-12-20

12月5日，金辰股份发布公告称，公司拟发行不超过3.74亿元的可转债，用于“年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目”。

来源：中信建投2019-12-17

12 月6 日，金辰股份公告可转债发行预案，拟募集资金3.7 亿元用于年产40 台套光伏异质结高效电池片用pecvd 设备项目，标志着异质结核心设备国产化进程更进一步。...设备选型稳健，后续国产化空间大设备选型方面，爱康第一条线较为稳健，仍以海外设备为主，清洗制绒、pecvd 镀膜、丝网印刷、自动化均选用海外主流供应商，仅第三道镀透明导电膜选用捷佳国产的rpd 设备。

来源：电新产业研究2019-12-16

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。...除pecvd等核心设备外，低温银浆、靶材研发也有较大的突破与进展。

来源：上海证券报2019-12-06

12月5日晚，金辰股份发布公告，拟发行不超过3.74亿元的可转债，扣除发行费用后将投资于“年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目”，以及补充流动资金。...根据公告，该项目旨在开发研制光伏异质结（hjt）高效电池用pecvd工艺装备并形成年产40台（套）该设备的生产能力，该设备是hjt电池片生产线的核心工艺设备，用于制备p型非晶硅、n型非晶硅和本征非晶硅薄膜

来源：摩尔光伏 中信证券2019-12-04

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：太阳能杂志2019-11-27

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳电池与光伏组件的生产，到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力；部分产品，如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：光伏测试网2019-11-15

行业专家认为，技术上看，目前隆基、晶科等公司的perc技术产品采用的是pecvd技术，与涉案韩华专利采用的ald技术技术方法并不一致；此外韩华诉讼使用的专利是通过从其他研究机构经多次转移购买所得，其专利权与其他公司共有

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-10-24

第一台国产软着陆扩散炉、第一台管式pecvd，业内首条高效perc电池智能制造生产示范线……拥有如此多“第一”的湖南红太阳光电科技有限公司（简称“红太阳光电”）是怎样做到的？...也许正是基于对技术设备的大量研发投入，与涵盖光伏全产业链设备的绝对实力，在今年九月份，红太阳光电公司才能获得全球市值最高光伏企业的青睐，成功收获pecvd、氧化退火设备大单，提前奠定了红太阳光电在2020

来源：PV兔子2019-10-18

传统的电池生产流程，包括从硅片出发经历清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去除磷硅玻璃、pecvd镀反射膜、丝网印刷、烘干烧结、分类检测等工艺，完成电池的制造。...非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。住友重工拥有rpd的专利，而pvd技术发展成熟，提供给设备的厂家较多。

来源：厚济天下2019-10-17

单独来看，背钝化投资额最大，1gw投资额为1.08亿元；管式pecvd第二，1gw需要设备数量为11台，投资额0.46亿元；制绒1gw需要设备5台，投资额0.34亿元；印刷线1g需要设备5台，投资额为0.58...具体到细分设备，2019-2021年市场空间：制绒设备21.4亿元、扩散设备13.9亿元、刻蚀设备9.5亿元，退火设备13.9亿元，背钝化设备63亿元、pecvd设备28.4亿元、印刷线36.5亿元、激光开槽设备

来源：挖贝网2019-10-17

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：上海证券2019-10-17

目前hjt电池设备以国外为主，国产企业加速布局，在其中最重要的pecvd、rpd和pvd设备，国内企业都已经有产品推出，并且在下游客户应用。

来源：电新产业研究2019-10-15

2.hjt降本的理论空间较大，具体进展需要再跟踪：hjt电池生产只有四步，清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结。...理论上分析，hjt电池生产流程简单，制备过程只有清洗制绒、pecvd镀本征和掺杂非晶硅薄膜、pvd镀金属导电膜、丝印烧结等步骤（较现行路线少了3-4个步骤），未来hjt生产也将更智能化，长期降本可能主要集中在耗材

来源：摩尔光伏2019-10-14

为方便pecvd开腔pm的需要，"灰区"内也可设置可移动式微环境工作罩（mini environment），配置按需使用的排风装置，从而大大减轻pecvd工艺设备对厂务环境的要求，降低生产成本。

来源：雪球2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...王玉明认为，提升pecvd m6大硅片产能，需要增大反应管内径、加长恒温区以及提升单管产能三方面进行设计改进；同时他预测，单管产能504片或630片m6大硅片将成为未来pecvd的主流。

来源：光伏头条2019-09-24

的pecvd来说并无障碍。...王玉明认为，提升pecvd m6大硅片产能，需要增大反应管内径、加长恒温区以及提升单管产能三方面进行设计改进；同时他预测，单管产能504片或630片m6大硅片将成为未来pecvd的主流。