来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

随着工艺技术的发展、硅片尺寸的加大、劳动力成本的提高，更适宜整线自动化的连续式设备应给予重视。...将先进的生产工艺及时物化在新设备中1.国产晶硅太阳能电池设备的发展不够平衡从整个晶硅太阳能生产产业链来看，国产单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉、线切方机、单晶槽式清洗/制绒机等设备已经接近或达到国际先进水平，

来源：北极星电力新闻网2011-05-23

： 硅棒硅块硅锭生产设备：全套生产线、铸锭炉、坩埚、生长炉、其他相关设备 硅片晶圆生产设备：全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备 电池生产设备：全套生产线、蚀刻设备、清洗设备、扩散炉、

来源：国际新能源网2011-05-10

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。 美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：互联网2011-03-14

、扩散炉、覆膜设备/沉积炉、节丝网印刷机、其他炉设备、测试仪和分选机、其他相关设备;硅片 晶圆 生产 设备:全套生产线、切割设备、清洗设备、检测设备、其他相关设备;电池板 组件生产设备:全套生产线、测试设备

来源：慧聪化工网2011-02-24

陶氏聚二醇醚硅片切削液能够实现更高质量的硅片切割。enlight清洗、制绒、成像和金属化解决方案，可改进太阳能电池的制造性能。...太阳能电池的效率是设备性能的首要衡量指标。电池的效率越高，成本就越低，从而实现可再生替代能源的大规模应用。

来源：新华报业网2011-01-05

省光伏产业协会秘书长魏启东介绍，目前我省已能生产单晶炉、清洗机、甩干机等部分设备，而生产线的关键设备绝大部分来自国外供应商，进口设备费用约占企业设备费用的50%至80%；还原炉、电池及组件等生产核心技术方面已接近世界先进水平

来源：环球光伏网2010-09-08

进口多晶铸锭炉、开方机等主要工艺设备309台（套），采购清洗机、多晶倒角机、表面抛光机等国产设备180台（套）。...、单晶硅片、太阳能电池及组件等光伏研究、生产、销售的公司。

来源：互联网2010-09-08

进口多晶铸锭炉、开方机等主要工艺设备309台（套），采购清洗机、多晶倒角机、表面抛光机等国产设备180台（套）。...、单晶硅片、太阳能电池及组件等光伏研究、生产、销售的公司。

来源：新华报业网2010-06-22

据悉，协鑫硅材料硅片项目使用了世界最先进的硅锭硅片生产成套设备，实现了清洗与检测生产线的全部自动化，硅片出片率稳定在98.5%以上。

来源：互联网2010-05-18

设备方面也大同小异。虽然单晶炉、多晶硅铸锭炉以及一些清洗设备国内企业已经能做了，但多线切割机、刻蚀机等关键设备仍以国外公司的产品为主。...“目前，国内很多做硅片和电池片的企业都在加班加点生产，有的企业今年全年的订单都已经订满了。”

来源：中国电子报2009-03-19

，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

来源：北极星电力新闻2008-11-11

20公斤 单晶硅,多晶硅,清洗用高纯水山东淄博市博山区20000.00/套1套 单晶硅、多晶硅、非晶太阳能电池板山东茌平县23.50/瓦100瓦 多晶硅、单晶硅棒、硅片、ic片等浙江衢州市2500.00

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备

2004-10-15

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企

2004-08-30

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企业自行安排的材料制备设备和后工序设备的研制也已进入尾声

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。