来源：电力网新闻中心2011-01-11

新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：新华每日电讯2011-01-11

但是,在高端的非晶微晶叠层薄膜太阳电池生产领域,我国企业的生产装备一度依赖进口。关键的生产设备pecvd完全被国外企业垄断,一台设备进口动辄数千万美元。

来源：新华网2011-01-10

不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备pecvd，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。...2011年1月8日，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备--等离子体增强型化学气相沉积设备（pecvd）在上海理想能源设备公司（下文简称"理想能源"）成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

，2种(管式pecvd、快速烧结炉)和进口设备并存，但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd)则依赖进口。...作为设备企业，我们要和客户密切保持联系和沟通，加强新工艺、新技术的研制开发，不断提升设备的适应性，开展技术创新，提高设备工艺物化，从设备和工艺两方面来提高转换效率、降低光伏成本。

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：中国电子报2009-03-19

此外，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。...天威英利新能源公司是目前国内唯一一家具备从原材料到终端产品的完整产业链的光伏企业。

来源：《IT经理世界》2007-03-12

前半段工艺流程的设备包括清洗机、蚀刻机、扩散设备基本可以实现国产化，而后半段的pecvd涂膜设备、丝网印刷机则采用进口设备，这样成本较低，而且效果不错。