2006-08-25

今后将向有关机构提供传感器样品，力争将其应用于氢气设施中。 　　该传感器在热电转换式mems元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。...作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用mems技術研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上，制成了尺寸为4×4mm2的传感器芯片。 　　

2006-08-21

传感器 　(1) mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器

2006-08-16

虽然mems产业传统上与汽车应用相关，但是随着微型传感器变得越来越灵敏且价格便宜，该产业也开始在消费市场中占据一席之地。...　　　飞思卡尔半导体(freescale)推出三款具备高感应度的传感器，采用微机电(mems)制程的mma6270q (xy-轴)、mma6280q (xz-轴)和mma7261q (xyz-轴)传感器

2006-08-03

3.发展重点 3.1 传感器技术 （1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺

2006-07-17

世界各国对微型电子机械系统给予极高重视，美国宇航局很早就给予支持，美国国防部高级研究计划局等机构每年投资2000万美元，德国每年投资 7000万美元，日本通商产业省则拟订了一个十年 内投资2亿美元的计划，美国的硅谷已成为当今世界上mems

2006-06-15

　　纳米及新材料传感器设计技术 　　mems传感器技术发展展望 　　传感器市场分析 　　征文起止时间 　　2006年5月1日—2006年8月30日 　　投稿方式 　　参赛者请将稿件以e-mail附件方式发送

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。...ic insights指出2005年度传感器/制动器市场的领导者是texas instruments，其次为hp。ti主要销售micro-mirror显示组件，hp则是mems喷墨式印表头的领导厂商。

2006-04-19

美国kionix公司将把3轴加速度传感器的产能提高到现在的3倍。该公司是使用mems技术生产3轴加速度传感器的第一大厂商，增产的目的是要扩大该产品在便携终端领域的应用。

2006-04-04

青鸟元芯的mems传感器系列2004年实现量产，目前有mems压力传感器、湿度传感器、加速度传感器以及气体传感器系列产品。

2006-01-18

多传感器及阵列传感器研究 西安交通大学 蒋庄德 300 2005aa404290 面向服务机器人的mems传感器集成化应用研究 哈尔滨工业大学 孙立宁 130

2005-10-28

； 　　以mems工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平； 　　以增加品种、提高质量和经济效益为主要目标

2005-09-12

日前，威海高新区一家企业承担的高精度mems （数字地震检波器） 被再次列入2005年度国家863计划重点项目。这家企业就是威海双丰科技集团。...一方面双丰公司将继续在其主导的石油勘探等高新技术领域有所突破，在mems方面加大研发力度。该项目2004年和2005年都被列为国家863重点支持项目。

2005-07-21

发展重点 传感器技术 （1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺；封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺；新型传感器

2005-06-24

技术角速率传感器(陀螺) 　　西安石油勘探仪器总厂era2000c数控测井系统 　　兰州金科洋科技有限公司gs-c型热量表 　　吴忠仪表宁光电表有限公司dt(s)sd22型0.5s级电子式三相多功能电能表...流量测试仪 　　贵州省都匀市智能水表有限责任公司、贵州鑫淼科技有限责任公司tm卡智能预付费冷水表 lxstm-15～25b 　　中国科学院水利部水土保持研究所自动在线泥沙测量仪 　　西安中星测控有限公司mems

2005-04-26

　　中国汽车配件厂商中国汽车系统公司（china automotive systems, inc.）与美国mems传感器厂商传感器系统解决方案公司（sensor system solutions, inc

2005-02-18

例如：当前我国正在重点开发的mems(微电子与微机械的结合)、momes(mems与微光学的结合)、智能传感器(mems与cpu、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(mems与生物技术、电化学的结合)

2005-01-26

　　为了保护硬盘，mems技术的三轴加速度传感器日前首次应用到了笔记本电脑上。东芝1月19日上市的“dynabook ss”系列首次采用了该传感器。...过去，ibm曾经在笔记本电脑上配备过mems双轴加速度传感器。不过，双轴有时无法完全检测到下落的情况。

2004-12-31

工业过程控制传感器市场1998年为60亿美元，2008年将达到91亿美元，在新型传感器中，mems传感器是全世界增长最快的产品之一，近年来，mems市场销售年增长率为20%~30%，预计2005年的销售额将达到

2004-09-22

高新技术备受关注 　　更值得注意的是，全球传感器高技能化技术的发展现在越来越引起全球各生产商的关注。 　　目前，mems技术已经被广泛地应用于全球各类传感器的开发工作中。

2004-07-26

对于能够生产陀螺仪的一些小型微电机系统(mems)供应商来说，这是好消息。但是，一些大型传感器制造商和系统制造商则感到失望，因为普及率低于预期。...有些厂商原来期望，侧翻传感器模块市场将重现轮胎压力传感器市场的型态。 在这个新兴市场赚钱可能不会轻而易举。据资深分析师：“侧翻传感器可以增加乘员的安全，特别是对于乘坐非常容易发生侧翻的汽车的人来说。