来源：电子产品世界2010-10-28

到2020年，传感器及仪表元件领域应争取实现三大战略目标： ---以mems工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平

来源：中国传动网2010-10-14

; 以mems工艺为基础，以集成化、智能化和网络化技术为依托，加强制造工艺和新型传感器和仪表元器件的开发，使主导产品达到和接近国外同类产品的先进水平; 以增加品种、提高质量和经济效益为主要目标，加速产业化

来源：中华工控网2010-09-26

微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述ejx变送器)。...(注：mems 技术还完成了微电动机或执行器等产品，将另作文介绍)网络化方面，目前主要是指采用多种现场总线和以太网(互联网)，这要按各行业的特点，选择其中的一种或多种，近年内最流行的有ff、profibus

2010-07-13

据相关数据统计显示，半导体传感器市场份额会继续增加，估计2008年达到43%，而以mems为基础的智能化传感器和具有总线能力的传感器将会成为市场的主流。...此外，像mems（micro-electro-mechanical systems，微机电系统）等新技术的广泛应用，在提高产品性能的同时，也会带动传感器产品价格的下降。

来源：国际新能源网2010-06-12

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。　　　　在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。...格雷格说　　　　这种新型技术对于大型发电站也有好处，因为使用该技术可以减少发电站设备的安装成本。

来源：仪器仪表行业协会2009-10-12

被列为美国“对国家安全及繁荣有重大影响”的22项重大技术之一的传感器及信号处理技术，主要是依托微型化技术。...mems产品在国外发达国家已产业化，年增长率高达10%-20%，预计2001年mems产品将形成高于80亿美元的潜在市场。

来源：中国电子元件行业协会2009-09-28

一批基于mems(微机电系统)技术的新型传感器正在进入市场。传感器设计技术、材料控制技术、生产技术、可靠性技术和测试技术不断发展成熟，量产能力逐步提高。

来源：中国电子元件行业协会敏协分会2009-09-27

传感器由传统向新型转变 　　我国在传感器技术研究方面，正在逐渐缩小与国外的差距，一批基于mems技术的新型传感器正在进入市场，在各领域中不断拓宽应用范围，设计技术、材料控制技术、生产技术、可靠性技术和测试技术不断发展成熟

2006-11-09

来自日本奈良先端科学技术大学院大学、清华大学、上海交大、西安交大等高校的教授也分别从多传感器融合技术、知识与信息处理技术、mems(微机电系统)、视觉传感技术及光电波传感技术、多传感器网络在汽车安全中的应用等角度介绍了他们的最新研究成果

2006-09-14

等以及今后将大力开发的网络化传感器(mems网络技术的结合)、纳米传感器(纳米技术与传感技术的结合)均是多学科、多种学科技术交叉融合的新一代传感器。...例如：当前我国正在重点开发的mems(微电子与微机械的结合)、momes(mems与微光学的结合)、智能传感器(mems与cpu、信息控制技术的结合)、生物化学传感器(mems与生物技术、电化学的结合)

2006-09-07

　　欧姆龙在2006年9月1月召开的“mems技术在生命科学领域的应用”交流会上，常务董事、技术本部长今仲行一介绍了压力传感器与流量传感器等mems技术在医疗领域的应用事例。 　　

2006-09-07

微电子机械系统（mems）技术是在微电子器件制造工艺技术基础上进一步融入微机械加工技术，并把两者结合起来的微制造技术，加工尺度在微米、纳米级。

2006-08-30

作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用mems技術研制出隔热性很高的微加热器。...该传感器在热电转换式mems元件上形成了以陶瓷支撑材料的铂触媒图案。与过去的传感器相比，更能发挥铂触媒的性能，因而具有良好的灵敏度和耐用性。

2006-08-28

我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作微传感器等，这些新产品逐步实现了cad设计、全部实现可靠性设计，质量分析及质量信息管理均采用计算机化

2006-08-25

作为维持触媒温度的加热器集成技术，采用mems技術研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上，制成了尺寸为4×4mm2的传感器芯片。 　　

2006-08-21

传感器 　(1) mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺;新型传感器：如用微硅电容传感器...(2) 光学元件开发先进工艺：非球面光学元件设计、制造技术、光学多层测射镀膜技术和新型离子辅助镀膜技术。

2006-08-03

3.发展重点 3.1 传感器技术 （1）mems工艺和新一代固态传感器微结构制造工艺：深反应离子刻蚀（drie）工艺或igp工艺;封装工艺：如常温键合倒装焊接、无应力微薄结构封装、多芯片组装工艺

2006-07-17

世界各国对微型电子机械系统给予极高重视，美国宇航局很早就给予支持，美国国防部高级研究计划局等机构每年投资2000万美元，德国每年投资 7000万美元，日本通商产业省则拟订了一个十年 内投资2亿美元的计划，美国的硅谷已成为当今世界上mems

2006-06-15

　　传感器技术是现代科技的前沿技术，是现代信息技术的三大支柱之一，其水平高低是衡量一个国家科技发展水平的重要标志之一。...　　mems传感器技术发展展望 　　传感器市场分析 　　征文起止时间 　　2006年5月1日—2006年8月30日 　　投稿方式 　　参赛者请将稿件以e-mail附件方式发送，并务必在主题及文章标题上方注明

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。...ti主要销售micro-mirror显示组件，hp则是mems喷墨式印表头的领导厂商。排名第三的是德国的robert bosch，该公司是全球最大的solid-state传感器供货商。