来源：中国电子科技集团公司第四十八研究所副所长 伍三忠2011-06-15

坚持走光伏装备国产化之路从总体上讲，目前我国光伏装备制造业处于“国产化替代进口阶段”，平板式pecvd、激光刻边机、湿法化学刻蚀机、链式扩散炉等少数设备还依赖进口。...回顾48所发展光伏装备的历程，是从本世纪初借国内晶体硅太阳能电池产业起步之机，凭借扩散炉和刻蚀机的技术优势成功打入市场，连续多年在国内市场占有率达80%，将晶体硅太阳能电池大型生产线上的同类进口装备挤出国门

来源：工业和信息化部电子信息司副司长 刁石京2011-06-15

在生产设备方面，已能提供晶硅电池生产整线设备，单晶炉和多晶硅铸锭炉国产设备市场占有率不断提高，清洗机、扩散炉和刻蚀机等已批量出口，开方机和切方机已规模化生产，多线切割机已有样机生产。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

中国电子科技集团公司第四十八研究所所副所长伍三忠表示，通过近几年的自主创新，他们已经成为国内最大的光伏装备制造商，能提供晶体硅体太阳能电池制造产业链上的硅片加工设备，如铸锭炉、多线切割机等;电池制造设备如清洗/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机

来源：国际新能源网2011-05-10

除前道的材料提纯、硅片加工和后道的组件生产外，电池制造工序涉及清洗、制绒、扩散、刻蚀、减反射膜制备、电极印刷、低温烘干、高温烧结、自动测试分捡等环节。 美国gtsolar公司在多晶硅设备行业耕耘多年。

来源：电源门户网2011-04-04

制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等。由于欧洲市场特别是德国市场的需求拉动，导致最近几年国内企业在该领域大规模投资。

来源：东莞日报2011-04-01

此外，在激光切割及刻蚀设备的要求方面，“我省鼓励开展激光刻蚀设备的自主生产，通过提高设备的机械精度，使太阳能电池的死区宽度下降到250微米以下，提升电池的有效发电区域，使1.5平方米单结非晶硅太阳能电池的初始功率不低于

来源：中国电子报2011-02-17

其中，mocvd、等离子刻蚀机等是技术含量很高的设备。在所有的led设备中，没有哪一种设备像mocvd一样，在整个led生产设备投资中占如此大的比重。...在led生产过程中需要很多设备，从蓝宝石衬底加工用的单晶炉、多线切割、研磨抛光等设备，到mocvd(金属有机化合物化学气相淀积)、退火炉等设备，再到与ic芯片工艺相类似的设备，如光刻机、刻蚀机、清洗机、

来源：中华工控网2011-01-26

太阳能电池模块中的各项工艺制程主要包括单多晶硅的生成、切片机、清洗机、扩散炉、刻蚀机、镀膜机、印刷丝网、包装等，而这些设备的组成架构大多数为人机界面通过网络交换机与下端的plc进行沟通。

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

郭永兴：经过数年的艰苦努力，我国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的9种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位

来源：索比太阳能2010-10-25

guideforselectionanduseofetchingsolutionstodelineatestructuraldefectsinsilicon mf1810-0304——硅中优先刻蚀或缀饰的表面缺陷的计量测试方法

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：环球光伏网2010-07-22

该所研发的高温扩散炉和等离子刻蚀机两种产品，多年在国内市场占有率高达80%。紧跟国际最新技术，该所还率先在国内研制成功首台八英寸程控扩散炉、icp等离子刻蚀机等光伏关键装备。 　　

来源：互联网2010-05-18

虽然单晶炉、多晶硅铸锭炉以及一些清洗设备国内企业已经能做了，但多线切割机、刻蚀机等关键设备仍以国外公司的产品为主。

来源：互联网2010-04-09

日前，东营光伏太阳能公司总投资2.1亿元、年产60mw光伏电池片项目开工建设，该项目主要以多晶硅晶片为原料，通过清洗、制备绒面、等离子刻蚀、去psg等低耗能、无污染的工艺，生产光伏电池片，目前公司是省内专业做太阳能发电的最大规模企业

来源：资源网2009-06-10

在新的4条se生产线现场参观中，笔者对偌大的生产车间里有条不紊的运作印象深刻，制绒、扩散、刻蚀、淀积、丝网印刷以及测试等环节井井有条。

来源：中国电子报2009-03-19

据了解，目前，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工到太阳能电池芯片的生产以及相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，已经初步具备成套供应能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机、单晶炉、多晶铸锭炉等开始少量出口...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

来源：中国新能源网2008-10-29

激光制作绒面存在的问题是在刻蚀中，表面造成损伤同时引入一些杂质，要通过化学处理去除表面损伤层。

2006-11-23

联华电子公司是利用浸液光刻技术来提高芯片刻蚀过程中的准确度，从而将静态ram芯片的生产工艺提高到45纳米水平上。 　　

2006-10-10

9月28日，芯片制造六大装备中的刻蚀机和离子注入机的采购合同在北京签订，这标志着国产100纳米制造装备初步实现了产业化。

2006-09-29

28日，业主企业北京北方微电子公司和北京中科信公司与中国最大的集成电路代工厂——中芯国际公司分别签订了刻蚀机和离子注入机的批量采购合同，这也是中国国产主流集成电路核心设备产品实现首次销售。