来源：摩尔光伏2020-02-05

通常是用cvd预淀积时氧化层厚度不均匀；有时也可能是扩散时气体管路泄漏引起气氛紊乱；气体还有杂质，使扩散过程中生长的氧化层不均匀，造成氧化层表面发花；5.硅片表面滑移线或硅片弯曲。...如cvd预淀积时源的浓度过高，液态源预淀积时通源的气体流量过大或在通气时发生气体流量过冲；（2）源温过高，使扩散源的蒸气压过大；（3）源的纯度不高，含有杂质或水份；（4）预淀积时扩散温度过高，时间太长；

来源：招商证券机械团队2020-02-04

非晶硅薄膜沉淀设备：hwcvd设备主要厂商为ulvac；pecvd设备主要供应厂商为梅耶博格、应用材料、理想万里晖、钧石。迈为股份和捷佳伟创已有cvd产品储备，仍在试验中。

来源：光伏测试网2020-01-31

在电池生产中，隆基认为m6能与现有的主要设备兼容，包括扩散、退火、pecvd和其他工艺。由于旧设备的自然冗余，工艺改造成本也很有限，大多数相关设备的升级改造无论是技术上还是经济上都是可以接受的。

来源：光大证券2020-01-20

（来源：光大证券 作者：殷中枢 菅成广 王威 马瑞山）非晶硅薄膜沉积、tco膜沉积是hjt生产核心步骤，pecvd和pvd国产化、规模化将推动降本。

来源：越声理财2020-01-13

设备端迈为股份、捷佳伟创(52.470,1.67,3.29%)、金辰股份(25.550,-0.10,-0.39%)全部转向hit设备研发，聚焦pecvd。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-01-10

近几年，国内外部分企业开始hit电池的商业化尝试与推广，当前的主要矛盾是pecvd等核心装备的可用性，再之后可能是继续提高效率与耗材降本。

来源：光伏每日头条2020-01-10

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。

来源：OFweek太阳能光伏2020-01-10

据了解，目前主流的电池设备为pecvd，而pecvd设备仅占异质结产线价值量的一半，相较于上述其它两种电池技术来说，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而国内技术并不成熟。

来源：大众证券报2020-01-08

目前，hit电池设备的单机产能相对较低，清洗机、pvd、丝网印刷机单机产能大约在200mw/台左右，pecvd只有100mw/台左右的产能。单机产能低是目前hit电池投资较高的主要原因之一。

来源：电新邓永康团队2020-01-08

但是pecvd里面有一些专利，所以要想做的话是绕不开专利这一块的。

来源：华尔街见闻2020-01-08

设备环节，国产化正在加速，hit设备价格已经下降到7-8亿/gw，pecvd仍是难点。耗材方面，低温银浆国产化基本成功，第二大耗材靶材的国产化也已完成，静待需求放量。

来源：电新产业研究2020-01-07

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。...除pecvd等核心设备外，低温银浆、靶材研发也有较大的突破与进展。

来源：光伏测试网2019-12-30

（来源：微信公众号“光伏测试网”id：testpv）hwcvd vs. pecvdhwcvd vs. pecvd一次8片；可实现 in、ip、双面tco的不破真空连续镀膜自行设计、国内公司生产热丝加工新热丝做的本征非晶硅的钝化效果明显优于对比热丝

来源：高工锂电2019-12-20

12月5日，金辰股份发布公告称，公司拟发行不超过3.74亿元的可转债，用于“年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目”。

来源：中信建投2019-12-17

12 月6 日，金辰股份公告可转债发行预案，拟募集资金3.7 亿元用于年产40 台套光伏异质结高效电池片用pecvd 设备项目，标志着异质结核心设备国产化进程更进一步。...设备选型稳健，后续国产化空间大设备选型方面，爱康第一条线较为稳健，仍以海外设备为主，清洗制绒、pecvd 镀膜、丝网印刷、自动化均选用海外主流供应商，仅第三道镀透明导电膜选用捷佳国产的rpd 设备。

来源：电新产业研究2019-12-16

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。...除pecvd等核心设备外，低温银浆、靶材研发也有较大的突破与进展。

来源：摩尔光伏 中信证券2019-12-04

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：高工氢燃料电池2019-11-29

从涂层的工艺路线来看，目前主要有4类不同的工艺路线，其一是电镀；其二是化学渡（热浸渡、涂料喷装、喷涂等）；其三是cvd（化学气相沉积）；其四是pvd（物理气相沉积），包含真空蒸镀、多弧离子镀、磁控溅射等

来源：太阳能杂志2019-11-27

我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳电池与光伏组件的生产，到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力；部分产品，如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd