来源：互联网2010-05-18

“目前，国内很多做硅片和电池片的企业都在加班加点生产，有的企业今年全年的订单都已经订满了。”...虽然单晶炉、多晶硅铸锭炉以及一些清洗设备国内企业已经能做了，但多线切割机、刻蚀机等关键设备仍以国外公司的产品为主。

来源：中国电子报2009-03-19

，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

来源：北极星电力新闻2008-11-11

20公斤 单晶硅,多晶硅,清洗用高纯水山东淄博市博山区20000.00/套1套 单晶硅、多晶硅、非晶太阳能电池板山东茌平县23.50/瓦100瓦 多晶硅、单晶硅棒、硅片、ic片等浙江衢州市2500.00

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备

2004-10-15

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企

2004-08-30

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企业自行安排的材料制备设备和后工序设备的研制也已进入尾声

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。...对用量较大的光刻胶、清洗、刻蚀试剂化学抛光液等，力争在“十一五”期间实现产业化。 　　“十一五”期间，建立完善的集成电路产业链是产业持续健康发展的核心任务。