来源：宏源证券2011-03-03

solarfrontier近日开始量产,作为世界上最大的cigs薄膜电池项目,将大幅提升该技术的市场份额;而正泰集团投资的张江理想能源1月下线了国内首台薄膜电池关键生产设备——pecvd,预计年内可以实现薄膜电池生产设备的全套国产化

来源：索比太阳能2011-03-01

在这种坚守之下，今年1月，首台“中国造”代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在正泰下属企业成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：西门子工业自动化与驱动技术集团2011-02-25

太阳能生产线设备解决方案主要包括pecvd控制方案、层压机控制方案、湿台清洗设备控制方案、单晶硅/多晶硅炉控制方案。目前全球最大的太阳能市场是欧洲。...自动化系统部在该展会上的展出有三大亮点，分别为太阳能生产线设备解决方案，太阳能跟踪器解决方案和基于simatic pcs7的太阳能原料生产解决方案。

来源：中国电子报2011-02-17

在极大规模集成电路制造关键设备方面，我认为还应重点发展能够带动其他产业技术升级的关键设备以及先进封装的关键设备;在太阳能光伏设备方面，应重点发展现在还制约整线配套能力的全自动丝网印刷系统、平板式pecvd

来源：中国电子报2011-01-11

国内的硅基薄膜电池项目很多采用基于美国epv公司的低成本生产技术，但由于epv公司的pecvd功率较低，一条生产线的产能不大，电池效率也不高，约在6%～7%左右。...8%以上，但设备的购置成本较高，约为国产设备的2～3倍。

来源：电力网新闻中心2011-01-11

新设备带来转机 1月8日，首台代表着国际尖端技术水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海张江理想能源设备公司正式下线，该设备的研制成功打破了薄膜太阳能电池设备市场一直被国外厂商垄断的局面

来源：新华每日电讯2011-01-11

pecvd首次“国产化”:薄膜太阳能电池产业化有望加速 创造这一突破的是注册在浦东张江高科技园区的理想能源设备公司。...首台“中国造”高端薄膜太阳能电池关键生产设备在上海下线 8日,中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备——等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在上海成功下线,这被视为中国在新能源高端装备领域取得的

来源：新华网2011-01-10

不过，薄膜太阳能电池生产设备复杂昂贵，尤其是关键设备pecvd，更是高达上千万美元，长期以来一直被欧洲、美国和日本的企业垄断。...2011年1月8日，我国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备--等离子体增强型化学气相沉积设备（pecvd）在上海理想能源设备公司（下文简称"理想能源"）成功下线，打破了高端薄膜太阳能电池设备一直被国外厂商垄断的局面

来源：中国能源信息网2010-12-28

将pecvd装置、tco和激光划片装置等的生产量均提高了50％以上，因而大幅削减了必要的装置数量和设置面积（图9）。...图9改进制造装置欧瑞康太阳能将通过改良pecvd装置、透明导电膜（tco）成膜装置、激光切割装置，来实现€0.5/w的制造成本。

来源：招商证券2010-12-17

我们预计明年公司扩散炉和pecvd产值4-5亿(占国内市场25%份额)，按30%净利润率计算，可贡献1.2-1.5亿净利润，约0.2元eps。...在这种产业背景下，我们认为大族激光(21.25,1.82,9.37%)的光伏设备业务价值被低估，有必要对其进行重新评估。

来源：中国能源信息网2010-11-10

部分关键设备仍然无法国产化，完全依赖进口。多晶硅浇铸炉、线切割机、pecvd等设备几乎完全依赖进口。这些设备的单价都在人民币千万元以上，购买者负担沉重。其次，设备与工艺研究脱节。

来源：赛迪网-中国电子报2010-10-26

，2种(管式pecvd、快速烧结炉)和进口设备并存，但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd)则依赖进口。...国内对于薄膜太阳能电池生产设备的研究基本上还处于空白状态，目前有部分设备厂商已开始投入对该类设备的研发。

来源：北极星电力网新闻中心2010-10-15

、快速烧结炉和进口设备并存但份额在逐步增大，全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd则基本依赖进口。...中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造整线装备能力，部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等开始少量出口，扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，管式pecvd

来源：中国新能源网2010-10-13

在各类光伏设备中，pecvd是最昂贵的，而appliedmaterials是pecvd霸主，市场占有率接近90%.2010年7月底，appliedmaterials重组了连续出现营业赤字的能源及环境解决方案部门

来源：中国电子报2009-03-19

此外，全自动丝网印刷机、自动分拣机、平板式pecvd则完全依赖进口。组件生产用的层压机、太阳能模拟器等在行业获得广泛应用。...，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

2006-09-05

特别是2003年七星华创以及2004年中国电子科技集团公司第48研究所研制成功的电池片制造用最关键设备之一——热壁式生产型pecvd设备，使我国设备业已基本具备太阳能电池制造设备整线供给能力。 　　

2005-01-28

在平板显示器件(fpd)方面，tft-lcd的生产中采用了大面积制版、大面积光学曝光、多室磁控溅射、多室pecvd等诸多半导体设备；led的生产设备则包括mocvd、lpe在内的全套半导体设备；此外，pdp

2004-12-22

其次，增加一套世界先进的全自动太阳电池生产线，包括大型pecvd设备、扩散炉和丝网印刷机等，产量可达每小时1400片，年产多晶硅电池片50兆瓦。...但是由于太阳能光伏行业的高额投入（如一台多晶硅铸锭炉设备的价格高达几十万美元），且设备采购周期长，生产技术复杂等门槛的限制，又制约了这一产业的快速普及。 　　

2003-04-09

基于长期与iii-v族及硅晶圆产业伙伴的密切配合，并积极投入oled制程设备之研发，主要产品包括电浆辅助化学气相沉积设备（pecvd）：p100c／p200c；电子枪蒸镀设备（e-beam）：e850／

来源：《IT经理世界》2007-03-12

前半段工艺流程的设备包括清洗机、蚀刻机、扩散设备基本可以实现国产化，而后半段的pecvd涂膜设备、丝网印刷机则采用进口设备，这样成本较低，而且效果不错。