来源：高工储能2022-07-21

另外钒电池石墨极板要被正极液刻蚀，如果用户操作不当，一次充电就能让石墨板完全刻蚀导致电堆报废。成本方面，钒电池目前的初装成本大概是锂离子电池的2倍以上，项目总投资成本集中在3.8-6.0元/wh左右。

来源：英格索兰2022-06-06

：对太阳能电池周边的掺杂硅进行刻蚀，以避免pn结正面所收集到的光生电子沿着边缘扩散有磷的区域流到pn结的背面，而造成短路。...可防止杂质污染，防止和其他气体的反应，提高拉晶纯度设备：单晶炉生长条件：必须在真空条件或保护气氛下才能避免氧化组成：总体由炉体、电气部分、热系统、水冷系统、真空 系统和氩气供给装置六部分组成太阳能电池生产 – 刻蚀工艺

来源：工业水处理2022-04-22

1 水质及水量1.1设计水量及水质泰兴某光电建设规模为年产2.1 gw n型单晶双面太阳能电池，废水主要来自生产工序硅片制绒及清洗、扩散制结、湿法刻蚀、离子注入、退火、pecvd制氧化铝和氮化硅膜、丝网印刷

来源：正泰新能源2022-03-14

正泰新能源此次获奖的“super perc 2.0电池”项目，在开发过程中积累了大量实验经验，获得发明专利《一种perc双面电池和光伏组件》1项，实用新型专利《太阳能电池刻蚀装置和制备系统》《一种晶硅电池

来源：ABB中国2022-02-09

中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称“中微公司”）致力为全球集成电路和led芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案，其开发的电容耦合等离子体（ccp）刻蚀设备、电感耦合等离子体（icp）刻蚀设备

来源：人民网2022-01-10

可再生能源装机规模持续扩大表面制绒、刻蚀清洗、丝网印刷……在陕西西安隆基乐叶电池工厂的车间内，一片片墨蓝色的太阳能电池片正等待出厂。“投产以来，我们的产能不断提升。”隆基乐叶总经理邵爱军说。

来源：北极星环保网2021-10-29

积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（mocvd）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（pecvd）、固晶机、光谱分析仪等核心设备 研发生产项目。

来源：相章分享VOCs治理技术2021-09-24

1.2 工艺简介array生产车间负责阵列基板的生产，包括玻璃基板清洗、化学气相沉积、溅射、光刻、刻蚀、剥离等工序。...然后对栅电极及引线、有源层孤岛、源漏电极及引线、接触过孔、像素电极，经光刻胶涂敷、光刻胶曝光、显影等光刻工艺并经湿法刻蚀、干法刻蚀后，剥离掉多余的光刻胶，经热处理把半导体特性作均一化处理后即做成阵列玻璃基板

来源：相章分享VOCs治理技术2021-08-09

优化光刻、刻蚀等环节的洁净室设计，形成封闭式操作环境，更多地采取自动化设备实现高效操作，提高原材料的使用效率，最大程度减少vocs的挥发，提高废气的收集效率。...这些有机污染物主要来源于清洗、刻蚀、沉积、镀膜、光刻、显影等频繁使用有机溶剂的工序。半导体生产制造过程中产生的vocs污染物成分复杂，主要有各类烷烃、烯炔烃类、芳族化合物以及酮、醚类等。

来源：北极星太阳能光伏网2021-08-05

精益求精 成效显著经过客户测试，首批产出的柔性钙钛矿薄膜基板，运用优化的超短激光脉冲工艺，有选择性地除掉吸收层，划掉背电极层，且不损坏基底，在pen-ito上做了高效刻蚀，精度超高，极大地降低了钙钛矿薄膜电池死区宽度

来源：北极星风力发电网2021-07-23

一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：上海市人民政府2021-07-22

一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：北极星氢能网2021-07-21

一批关键核心技术实现突破，集成电路先进工艺实现量产，7纳米和5纳米刻蚀机进入国际先进生产线，桌面cpu、千万门级fpga等关键产品达到国际主流水平，12英寸大硅片实现批量供应。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2021-06-25

据了解，晟成光伏电池智能装备包含制绒上下料机、扩散上下料机、刻蚀上下料机、退火/氧化插片机、pevcd上下料机等，硅片智能装备主要是硅片检测分选机。

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售

来源：光伏联播2021-02-22

晶硅提纯从工业硅粉中提取太阳能级晶硅，然后将硅晶体切割加工、刻蚀清洗、印刷电极制成光伏电池片，再由电池片封装制成最终的光伏组件。所谓的“高污染”主要针对这一环节。

来源：集邦新能源网2021-02-02

（2）topcon：图中黄色色块为topcon在perc基础产线上改变或者增加的工艺，可以最大化的利用现有perc产线和工艺经验积累，增加的设备包括lvcvd/pecvd、离子注入机、退火炉、刻蚀设备等

来源：集邦新能源网2021-01-22

perc电池的制作流程主要为：清洗制绒、扩散制结、边缘刻蚀和去磷硅玻璃、背面沉积氧化铝、双面沉积氮化硅、背接触、丝网印刷、烧结和分选。

来源：中安在线2021-01-12

中国科大团队受三维立方体向四维超立方体演变的启发，将钯铂均匀合金立方体进行氧化刻蚀，通过精准调控钯原子去除和余下钯原子、铂原子重排，得到钯铂合金超立方体框架结构。

来源：集邦新能源网2020-12-22

设备布局方面，topcon技术主要在原有产线上增加了沉积设备，硼扩设备及湿法刻蚀设备，三类设备均已实现了较高的国产化程度。