来源：中国知识产权报2019-04-17

据了解，背钝化膜的制备，是perc电池最为核心的工艺步骤，产业化沉积薄膜的技术手段主要有以solaytec、韩华新能源等厂商为代表的原子层沉积（ald）方式，及以瑞士meyerburger为代表的板式（

来源：北极星太阳能光伏网2019-03-15

总部位于瑞士图恩的meyer burger认为，hanwha声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同。目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。

来源：亚化咨询2019-02-19

目前，用于perc电池量产的alox钝化膜沉积方法主要有原子层沉积法（ald）和等离子化学气相沉积法（pecvd）。...其中，根据设备形式的不同，pecvd沉积工艺设备包括板式pecvd和管式pecvd，ald沉积工艺设备也主要分为管式ald和板式ald，值得注意的是，在管式ald工艺下，还分为单插片与双插片的区别，即双面镀膜和单面镀膜的差异

来源：汽车之家2019-01-25

该公司目前正在研究一种名为缩放原子层沉积（ald）的工艺技术，该技术旨在增加电池单元的能量密度。近年来，大众对于电动汽车领域的关注越来越密切，并多次在公共场合表示其进军这一领域的决心以及动作。

来源：高工锂电2018-12-07

02正极材料美国恩创：90亿元/200条生产线美国恩创公司总投资90亿元的“原子层沉积技术产业园项目”落户南京经济技术开发区，该项目主要从事原子层沉积(ald)技术的研究与应用、大型粉末ald精密设备的生产销售以及锂电池正极材料加工等业务

来源：栖霞视点2018-11-12

其中，由美国恩创公司投资的“原子层沉积技术产业园项目”，作为江苏省五个重大项目之一亮相。...但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。简单来说，原子层沉积(ald)镀膜技术就是通过改变产品的表面属性，来提升产品的性能。

来源：盖世汽车2018-09-28

除了燃料电池，原子层沉积技术还可实现下一代锂离子电池等一系列需要高性能材料的应用。”不仅燃料电池，传统电池也可从研究人员的新发现中受益。

来源：高工锂电2018-08-20

项目总投资约50亿元，分两期建设，一期为基于原子层沉积(ald)技术的半导体装备，新能源汽车氢燃料电池装备的研发及产业化;二期为氢燃料电池汽车配套设施的研发及产业化项目，切入制氢、储氢等细分领域。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-07-27

目前先导集团正在研发半导体核心装备ald原子层沉积装备，今后将有望打破asm等进口装备的垄断地位。...项目总投资约50亿元，分两期建设，一期为基于原子层沉积(ald)技术的半导体装备，新能源汽车氢燃料电池装备的研发及产业化;二期为氢燃料电池汽车配套设施的研发及产业化项目，切入制氢、储氢等细分领域。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2018-05-28

江苏微导纳米装备股份有限公司首席技术官黎微明博士介绍了全球首发的kf6500原子层沉积（ald）钝化设备。...江苏微导全球首发的kf6500原子层沉积（ald）钝化设备是微导在自身技术基础上的全新突破，用于perc电池生产产能达6000片/小时以上，并可进一步突破到9000片/小时，同时其兼容性更强，安全性更好

来源：能见Eknower2018-03-28

针对传统全固态电池中固体电解质和licoo2之间界面电阻高，接触不良的缺陷，solid power公司的科学家们使用ald(原子层沉积技术)来解决这个问题。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-11-03

其最核心的ald原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到的条件，在核心技术上达到了国际第一梯队的领先水平。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-10-19

aldai203钝化膜全自动、高产能、高稳定性超低反应源耗量提升perc电池光电转换效率近1%最低的设备运营成本和综合成本后羿系列-板式化学气相沉积/原子层沉积镀膜系统板式空间cvd和ald技术完美结合高质量单面镀

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-08-30

微导自主知识产权的原子层沉积技术颠覆了沉积速度慢的传统观念，实现了太阳能晶硅电池的大批量生产。...这不仅仅超越了绝大多数晶硅电池工艺设备的产能瓶颈，也是原子层沉积技术实现真正意义上的大批量生产的重大突破，达到国际领先水平。

来源：能源新闻网2017-08-14

理想能源开发出原子层沉积（ald）法的alox膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片，与其他供应商采用的硅片直接传输方式相比，可以将碎片率降到最低；同时最大程度减少由于碎片造成的停机时间。

来源：中国光伏专委会2017-07-28

理想能源开发出原子层沉积（ald）法的alox膜沉积设备，采用托盘方式传输电池硅片，与其他供应商采用的硅片直接传输方式相比，可以将碎片率降到最低；同时最大程度减少由于碎片造成的停机时间。

来源：西屋核能2017-05-03

全球atf项目的合作伙伴与角色为了完成这些关键任务，西屋召集了一支世界级的团队，包括：爱达荷国家实验室先进实验反应堆辐照和测试阿贡国家实验室锆合金包壳涂层(原子层沉积)陶瓷管状产品碳化硅包覆涂层管ewi

来源：烯碳资讯2017-03-15

2009 年hong 等第一次在镍层上利用cvd法沉积出6～10 个原子层厚度的石墨烯。2013 年bharathi 等通过cvd 法制备出了直径约为1 cm的大尺寸单晶石墨烯。

来源：无锡先导智能装备股份有限公司2017-02-27

其最核心的ald原子层沉积工艺可以在薄膜厚度低至2纳米时依旧对电池表面提供良好的钝化，这是其它技术从原理上就无法达到的条件，在核心技术上达到了国际第一梯队的领先水平。

来源：北极星太阳能光伏网2016-05-24

与此同时，采用背钝化perc＋技术与原子层沉积技术的高效背钝化单晶组件（gold）新品则可有效减少电池及组件的lid光衰问题的发生，其转化平均效率可达到21%；在光衰减方面，相比常规单晶和常规perc，