来源：美国菲力尔公司2021-03-09

声像仪通常采用mems（微机电系统）型麦克风，因其性能出色、稳定性强、功耗较低，并且尺寸较小。

来源：粉体网2020-11-05

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积（pvd/cvd）制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems（微机电系统）领域中。...目前商用的锂离子电池，在短路情况发生时会释放大量热量，会引燃有机电液，产生爆炸隐患，即使是目前被认为最安全的特斯拉汽车，使用了复杂的电池管理系统和防护措施，仍在问世短短的几年内发生多次着火爆炸事故。

来源：国家电网报2020-11-03

辅助运维等功能，建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电

来源：国家电网报2020-11-03

辅助运维等功能，建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电

来源：国家电网报2020-11-03

辅助运维等功能，建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电

来源：by白羽科技2020-07-07

3、机电一体化技术机械元素与电子元素相融合的nsk独自的机电一体化技术，被有效应用于高功能电机、控制技术、感应技术、以及高耐热、高密度、高可靠性的实装技术、生物医学微机电系统技术等领域。

来源：新华网等2020-06-05

发动机新工厂建设项目 10亿元9.东风汽车集团有限公司东风越野车军民融合产业园 10亿元10.国家能源投资集团有限责任公司荆州和随州热电联产项目 10亿元 其他部分项目一览 中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：新华网 等2020-06-04

发动机新工厂建设项目 投资10亿元东风汽车集团有限公司 东风越野车军民融合产业园 投资10亿元国家能源投资集团有限责任公司 荆州和随州热电联产项目 投资10亿元中国信科武汉移动通讯技术项目中国信科智能微机电系统产业项目华润电力襄阳宜城市

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。...3月9日，由中国电力科学研究院承担的“面向电网关键设施设备的新型光机电传感器关键技术及应用”项目顺利通过中国电力企业联合会科技成果鉴定,为深入开展智能感知跨专业联合攻关、攻克电力传感器“卡脖子”技术奠定基础

来源：北极星电力网2020-03-04

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守)原则设计，采用计算机监控系统。

来源：环球电镀网2020-02-19

当前，随着3d芯片、微机电系统（mems）和物联网等新的需求不断递增，未来电镀行业将在这些新的高端领域发挥更加突出的作用。...随着电镀工艺的进步和其他行业需求的增长，近年来电镀技术逐渐向电子、微机电系统和钢铁等行业发展。这对电镀的要求更高，也促进了电镀行业向集约化、规模化方向发展，并推动电镀行业技术不断进步。

来源：北极星电力网2019-07-16

机组调速系统选用具有pid调节规律的微机电液调速器。电站按“无人值班”（少人值守）原则设计，采用计算机监控系统。

来源：国家电网报2019-04-09

重庆大学电气工程学院陈伟根教授认为，基于微机电结构的传感器具有微型化、集成化、低成本、低功耗的特征，能够满足新一代电力系统传感器多参量、智能化、高精度、高可靠的要求。...近年来，中国电科院高度重视智能传感专业方向的布局，在光纤传感、微机电传感、电力物联网、感知大数据等领域开展了关键技术攻关，并取得阶段性科研成果。但泛在电力物联网对智能传感技术提出了更高需求。

来源：中国科学报2018-07-11

近年来，可穿戴、便携式电子设备及微机电系统朝着轻薄短小、多功能集成方向快速发展，急需开发与其相配套的高能量密度、柔性化、微型化储能器件。研究团队发展了一种绿色环保的电化学剥离法一步制备出氟掺杂石墨烯。

来源：大连化学物理研究所2018-06-15

大连化物所全固态柔性平面锂离子微型电容器研究获进展近年来，可穿戴、便携式电子设备以及微机电系统(如微型机器人、微型传感器)正朝着轻薄短小、多功能集成的方向快速发展，极大地促进了现代社会对于高功率密度、高能量密度

来源：新华日报2018-04-28

中科院大学泰州大健康产业研究院10、哈工大机器人集团扬州科创研究院11、中科院物理所常州天目湖储能研究院12、常州国科微电子存储芯片设计研发中心（二）科创园区（8个）1、丹阳鱼跃生命科学产业园2、扬州清华微机电智能科技创业创新基地

来源：新华日报2018-04-28

中科院大学泰州大健康产业研究院10、哈工大机器人集团扬州科创研究院11、中科院物理所常州天目湖储能研究院12、常州国科微电子存储芯片设计研发中心（二）科创园区（8个）1、丹阳鱼跃生命科学产业园2、扬州清华微机电智能科技创业创新基地

来源：雷锋网2018-03-19

不仅如此，很多经过物理/化学气相沉积(pvd/cvd)制备的全固态电池，其整体厚度可能只有几十个微米，因此就可以制成非常小的电源器件，整合到mems(微机电系统)领域中。

来源：国家知识产权局2018-02-02

国家知识产权局2018年1月17日一、智能制造产业部分：3.3光电子制造关键装备3.3.1新型光通信器件制备3.3.2半导体照明制备3.3.3高效光伏电池制备3.3.4微机电系统传感器制备二、有关于可再生能源部分