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      2004-08-30

      2003年10月,铜陵三佳(集团)有限责任公司和韩国丰山微电子株式会社共同出资组建的铜陵丰山三佳微电子有限公司正式开业,一期注册资金2000万美元,生产具有国际竞争力的“半导体集成电路引线框架”及“引线框架模具...这14种设备包括电子束曝光机、分步重复投影曝光机、m-rie金属刻蚀设备、rie介质刻蚀设备、imd-cvd设备、lpcvd、大束流离子注入机、磁控溅射系统、氧化扩散系统、ecr-cvd、硅片匀胶显影处理系统

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