来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

一.硅片的化学清洗工艺原理硅片经过不同工序加工后，其表面已受到严重沾污，一般讲硅片表面沾污大致可分在三类：a.有机杂质沾污：可通过有机试剂的溶解作用，结合超声波清洗技术来去除。

来源：《光伏信息报》2011-11-14

很多企业开发并生产硅片清洗设备，所以目前市面上有多种用于太阳能硅片清洗的工艺，比如超声清洗法、rca标准清洗、兆声清洗法、高压喷射法、离心喷射法、等离子清洗、气相清洗、激光束清洗等等，形成了百花齐放的势态

来源：北极星太阳能光伏网2011-11-10

此新款粘着剂在热水的浸泡下极易分解，避免了使用腐蚀性的脱粘解决方案，并将硅片清洗过程中的硅料耗损降到最小。...这款环氧基树脂所具备的优秀的粘结强度意味着这款粘着剂将不会在切割阶段过早地出现脱粘现象，保护了硅锭和太阳能硅片不出现破损状况。适宜买家：太阳能硅片切割厂家。

来源：21IC电子网2011-08-10

实验材料：材料采用p型(100)的直拉的125mmx125mm单晶硅片，电阻率约为0．5～3ω·cm，厚度200+50μm。在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。

来源：青海省科技厅2011-07-11

项目对现有多线切割及硅片清洗工艺进行技术改进，采用砂浆配比、变槽距切割等技术，优化了生产工艺，使产品成品率由65%提高到88%以上，增强了企业自主创新能力和产品市场竞争力。...同时，通过该项目的实施，制定出了太阳能级单晶硅片检测企业标准，并编制完成了青海省地方标准《太阳能级单晶硅片质量要求》。

来源：青海省科技厅2011-07-01

该工艺对现有多线切割及硅片清洗工艺进行技术改进，采用导向陶瓷条定位、变槽距切割等技术，优化了生产工艺，使产品成品率由70%提高到90%以上，单次切割产品率达到97%以上，增强了企业自主创新能力和产品市场竞争力

来源：青海省科技厅2011-06-29

为充分利用优势资源发展光伏产业，青海省科技厅和青海华硅有限公司共同承担完成了单晶硅片切割工艺技术研究，对现有多线切割及硅片清洗工艺进行技术改进，成果达到国内先进水平。

来源：电源门户网2011-04-04

把单晶硅棒或多晶晶碇切割成硅片，目前基本上采用的是多线切割技术。将硅棒或硅锭经表面整形、定向、切割、研磨、腐蚀、抛光、清洗等工艺，加工成符合特定要求的硅片。...制造太阳能晶硅电池需要经过很多工艺，其中包括硅片清洗、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜和丝网印刷等。由于欧洲市场特别是德国市场的需求拉动，导致最近几年国内企业在该领域大规模投资。

2006-09-05

北京七星华创电子股份有限公司微电子设备分公司总经理盛金龙告诉记者，我们国家的半导体设备尤其是主要设备，既要在诸如曝光、刻蚀和离子注入等关键设备上实现突破，也要关注诸如氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备

2004-10-15

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企

2004-08-30

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企业自行安排的材料制备设备和后工序设备的研制也已进入尾声

来源：《中国电子报》2007-03-14

在6-8英寸用光刻机、刻蚀机、离子注入机、立式扩散炉、快速热处理设备，氧化扩散设备、化学腐蚀设备、硅片清洗设备、划片机、键合机、集成电路自动封装系统等设备实用化的基础上，提供批量供应。...对用量较大的光刻胶、清洗、刻蚀试剂化学抛光液等，力争在“十一五”期间实现产业化。 　　“十一五”期间，建立完善的集成电路产业链是产业持续健康发展的核心任务。