来源：中国科学网2020-08-19

为此，葛子义团队开发了低温酸处理pedot/pss电极替代需要高温溅射且昂贵的ito电极。...此外，还有无机半导体薄膜太阳能电池、染料敏化太阳能电池、钙钛矿太阳能电池、有机聚合物太阳能电池等。

来源：中国电池联盟2020-07-08

所以，薄膜型固态电池产品多采用真空镀膜、磁控溅射、脉冲激光沉积、化学气相沉积等方法生产，对设备要求极高，制备工艺也很复杂，不利于大规模生产，导致生产效率低下，成本高昂。...例如，制备固态电解质或正极材料，需要采用射频溅射、射频磁控溅射等各种溅射技术，甚至用3d打印技术；制备金属锂负极需要采用真空热气相沉积技术。而这些技术如何实现大规模应用，目前也是重大挑战。

来源：河北省发改委2020-06-03

产品覆盖平板显示、led、光伏电池、芯片制造等诸多领域，涉及溅射、蒸发、多弧离子镀等多种pvd技术以及pecvd、lpcvd、mocvd 等多种cvd 技术用单体和连续化生产高技术装备。...六、中方合作单位概况：北京四方创能光电科技有限公司是a股上市公司北京四方继保自动化股份有限公司的子公司，主营业务是研发和生产铜铟镓硒薄膜太阳能电池及薄膜太阳能电池成套生产设备的专业公司，公司2011年开始与清华大学开展合作

来源：维科网2020-05-28

上文提到的研究成果100微米厚的设备是通过在透光率超过80%、每平方电阻为13欧姆、弯曲度在20.5mm曲率下超过1600道弯曲工序的超薄柔性玻璃上涂覆铟锡氧化物的滚对滚溅射技术制造的。...增加10美元对于简单的塑料薄膜封装和40美元一片灵活的玻璃-所需的应用程序需要的最长寿命的成本完全封装光伏电池对超薄柔性玻璃室内使用78 - 108美元/每平方米。

来源：每日财报2020-05-21

目前制备薄膜电池较为常用的溅射靶材包括铝靶、铜靶、钼靶、铬靶以及 ito 靶、azo 靶(氧化铝锌)等，hit电池主要使用ito靶材作为其透明导电薄膜。...另一方面，贸易保护主义也给国内企业带来了一定的机遇，溅射靶材组件的进口普通税率为17%，增值税率为13%，如果加征关税，将会提高海外靶材供应成本，有利于国产化靶材的发展和渗透率提升。

来源：纳米人2020-05-12

现有报道的所有二端硅基太阳能电池均需要一层额外制备的中间层（隧穿或者复合层），中间层通常需要高真空如磁控溅射或者pecvd等制备，这样便增加了制备的成本及难度。...采用复制玫瑰花瓣制备的pdms减反薄膜应用在叠层太阳电池上，使得基于双面抛光的底硅电池的叠层电池短路电流得到很大的提升。

来源：北极星太阳能光伏网2020-05-11

“每克重量(w/g)的特定功率(瓦特)比塑料聚对苯二甲酸乙二醇酯(pet)薄膜高出40-55%，比刚性玻璃高出一个数量级，”欧洲-哥伦比亚小组说。...这款100微米厚的设备是通过在透光率超过80%、每平方电阻为13欧姆、弯曲度在20.5mm曲率下超过1600道弯曲工序的超薄柔性玻璃上涂覆铟锡氧化物的滚对滚溅射技术制造的。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-03-16

相比之下，薄膜电池的产业链则短的多，甚至可以用集约来形容，采用pecvd、磁控溅射等方法沉积，生产自动化程度高，制作工艺可以连续在多个真空沉积室或多片在一个沉积室内完成，企业自身可以掌握生产和技术的脚步

来源：pvmagC2020-03-04

这种cigs电池基于轻量型不锈钢箔，采用了高通量的卷对电池溅射工艺。其开发商是位于美国的薄膜专家miasolé hi-tech——陷入困境的中国制造商汉能集团的一家子公司。...曾经的标杆在宣布这个消息之后，荷兰-比利时薄膜光伏研究机构solliance于去年1月进一步确认，已将效率为21.5%的双薄膜电池组合成单个四端子串叠太阳能电池堆。

来源：光伏测试网2020-02-26

再采用磁控溅射法在空穴选择层上沉积氧化铟锡对电极，并作为顶电池的后接触电极。研究人员声称已经找到了理想厚度的对电极，能减少反射光损耗。这两个电池的有效耦合，确保了成品电池75.6%的高填充系数。...这种新型异质结电池兼具有薄膜钙钛矿生产工艺和硅基异质结电池的性能。双端结构让电极数量更少，减少了电池本体吸收损失的光，比四终端电池的生产成本更低。

来源：北极星太阳能光伏网2020-02-17

问题时表示，“本次交易最终标的soleras的主要产品为磁控溅射镀膜设备及磁控溅射靶材，产品和服务主要应用于节能玻璃、消费电子视窗防护玻璃、薄膜太阳能(3.720,-0.05,-1.33%)电池制造过程中的物理气相沉积工艺

来源：招商证券机械团队2020-02-04

hjt电池优于perc电池的之处在于非晶硅薄膜的沉积，故也导致了两者制备工艺上最大的不同。...，部分厂家引入了射频磁控溅射工艺。

来源：中国科学院2019-12-17

最近，该团队开展了ir-ni-ta非晶合金催化性能的研究，该团队博士生王子鉴在研究员柳延辉、汪卫华和西南石油大学副教授葛性波的共同指导下，通过离子束溅射沉积方法制备了ir25ni33ta42非晶合金薄膜

来源：宁波晚报2019-12-11

“有机太阳能电池的光电转化效率与硅基、薄膜太阳能电池的效率仍有较大差距。”...“目前广泛使用的传统金属或化合物界面材料，空气稳定性差，且需通过蒸镀、溅射方法成膜，能耗高，不利于有机太阳能电池的低成本大面积制备。”

来源：光伏测试网2019-09-18

该电池具有双面对称结构，n型硅衬底两侧两层薄本征非晶硅层，正面一层p型非晶硅发射极层，背面一层n型非晶硅膜背表面场；在两侧非晶硅薄层上用溅射法沉积透明导电氧化物薄膜，最后制备金属栅极。...低温制造工艺可以有效减少热应力对膜产生的变形影响，加上两侧对称的非晶硅薄膜构造，电池基底的热损伤大大降低，有利于实现晶片的轻薄化和高效化。

来源：光伏前沿2019-07-22

（2）非晶硅沉积①工艺介绍②量产信息汇总非晶硅沉积主要考虑为薄膜均匀性、氢含量、光敏性。...，部分厂家引入了射频磁控溅射工艺。

来源：证券日报网2019-07-12

汉能miasole拥有目前全球转换效率最高的柔性溅射cigs薄膜太阳能技术，其电池具有柔性、轻质等特点，可为发电绿建、移动能源等应用场景提供高效解决方案。...薄膜技术支撑移动能源产业如今，汉能在薄膜太阳能——铜铟镓硒、砷化镓等多条技术路线上均保持全球领先。

来源：北极星氢能网2019-05-13

公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射多弧离子复合镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、cvd和pecvd化学气相沉积设备、icp刻蚀设备和

来源：清新电源2019-01-07

对于li/ausi/lps/siau/li电池，在lps颗粒的两侧依次溅射20nm的si，为了防止溅射后空气暴露引起的si氧化另外30nm的溅射au封装si层。...（a）在0.2mv/s下获得的li/lialo/lps/lialo/li电池的循环伏安法（cv）和（b）在相同电池之前（红色空心圆）和cv循环之后的奈奎斯特图另一中间层是由ald形成的lialo薄膜。

来源：新材料产业2018-11-13

硅纳米级薄膜作为二维纳米化负极材料具有高3500mah/g的超高可逆容量，但是纳米薄膜采用的磁控溅射等方法，由于制作成本高，因此无法大规模量产。