来源：NE时代2018-09-17

根据太田先生的说法，因为溅射需要太多的时间来形成薄膜所以大规模生产很困难。本次的研究能够表明的是，通过导入上述结构，组合硫化物基固态电解质和si负极制造的全固态电池可以工作。...通过溅射形成多孔结构在nims中，通过溅射形成这种非晶si的纳米多孔结构。在一般的溅射工艺中通常采用氩(ar)作为放电气体，但是本例中一个要点是采用了氦(he)气替代。

来源：锂电联盟会长2018-03-29

.pvd是材料从凝聚态转变为气态，然后再转变为凝聚态薄膜的一个过程.最常见的pvd过程是溅射和蒸发.pvd常用于制造具有机械、光学、化学或电学性能的薄膜 .1.2高温固相合成高温固相合成是一种在高温(1

来源：中新网2018-03-19

同时，汉能制造的玻璃基大面积铜铟镓硒薄膜组件转化率达到18.7%；依靠溅射法制造的柔性铜铟镓硒薄膜组件，转化率达到17.88%，均为目前全球最高水平。...汉能作为全球薄膜太阳能发电领导者，经过长期市场调研与技术论证，在城市建设上提出了绿水青山与金山银山兼顾的综合解决方案汉能生态城市。

来源：能源学人2018-03-13

放入溅射沉积仪中，通过溅射沉积得到厚度为200 nm, 400 nm 和800 nm的铜膜。...该文章发表于国际顶级期刊《自然.能源》(nature energy)图一，软基电极失稳和锂枝晶抑制示意图金属电化学沉积产生压应力是一个被广泛观测到的事实(例如锌，锡等)，同时软基材料上的金属薄膜在压应力下会失稳产生褶皱得以释放应力有着大量的研究

来源：高工锂电技术与应用2017-11-20

lipon型电解质1992年，美国橡树岭国家实验室(ornl)在高纯氮气气氛中采用射频磁控溅射装置溅射高纯li3p04靶制备得到锂磷氧氮(lipon)电解质薄膜。...射频磁控溅射的方法可以制备出大面积且表面均匀的薄膜，但同时存在着较难控制薄膜组成、沉积速率小的缺点，因此，研究者尝试采用其它方法制备lipon薄膜，如脉冲激光沉积、电子束蒸发以及离子束辅助真空热蒸发等。

来源：新能源前线2017-09-07

lipon型电解质1992年，美国橡树岭国家实验室（ornl)在高纯氮气气氛中采用射频磁控溅射装置溅射高纯li3p04靶制备得到锂磷氧氮(lipon)电解质薄膜。...射频磁控溅射的方法可以制备出大面积且表面均匀的薄膜，但同时存在着较难控制薄膜组成、沉积速率小的缺点，因此，研究者尝试采用其它方法制备lipon薄膜，如脉冲激光沉积、电子束蒸发以及离子束辅助真空热蒸发等。

来源：中国网2016-12-27

汉能的铜铟镓硒组件也拥有两项世界纪录：一项是其美国子公司global solar energy所创造的17.2%，采用多元素共蒸发的方式；另一项是其美国子公司miasol所创造的17.3%，采用多元素溅射的方式...截至目前，汉能在薄膜发电领域的技术专利已达到1319项，其中60%为发明专利，关键专利均已转化应用。

来源：新华网2016-10-27

这些产品的核心是汉能全球领先的薄膜太阳能发电技术。...以及美国子公司global solar energy创造的铜铟镓硒电池组件17.2%的世界纪录（采用多元素共蒸发方式）和另一家海外公司miasol创造的铜铟镓硒电池组件17.3%的世界纪录（采用多元素溅射方式

来源：北极星环保会展网2016-10-18

、贵金属靶材、稀有金属靶材;低温超导薄膜：低熔点超导薄膜：低熔点超导薄膜，合金薄膜;高熔点超导薄膜：难熔金属，合金薄膜;化合物超导薄膜;镀膜设备：真空镀膜机、真空蒸镀设备、光学镀膜机、溅射镀膜机、眼镜镀膜机

来源：中国新能源网2016-09-14

ruo2纳米复合物是通过在mwc-nt阵列上直接溅射ru.x射线光电子能谱(xps)、高分辩透射电镜(hrtem)和选区电子衍射(saed)测试表明，制得的纳米颗粒是由结晶ru为核，ruo2为外壳组成。...lee等报道了mwcnt和钌氧化物形成的复合薄膜的超电容特性。ruo2涂饰的mwcnt三维纳米孔结构，促进了mwcnt薄膜的电子和离子传递。测试了负载不同ruo2

来源：北极星太阳能光伏网2016-03-30

汉能的铜铟镓硒组件也有两项世界纪录，一项是其美国子公司global solar energy所创造的17.2%，采用多元素共蒸发的方式；一项是其美国子公司miasol所创造的17.3%世界纪录，采用多元素溅射的方式

来源：高工锂电网2015-09-01

硅薄膜形态的变化硅薄膜是以物理溅射的方法在表面粗糙的铜箔上的。其表面形貌分析应用的是hrtem(feitecnai20)。...同时，以物理溅射方法使硅薄膜成功附着在表面粗糙的铜箔上，并且和licoo2材料组成的电池在0.2c(0.1ma/cm2)电流密度2.5--3.9v下，80周循环后达到最大放电容量0.55mah/cm2(

来源：PV-Tech2015-04-13

瑞典薄膜设备专家midsummer表示，其duo量产柔性cigs(铜铟镓硒)薄膜太阳能电池溅射设备收到一份数百万美元的订单。...我们专注于轻量级柔性组件对于市场的吸引力，同时我们对于所有层使用溅射，生产过程中采用真空干燥工艺。根据有关报告，建立柔性cigs生产厂的唯一跨国薄膜生产商是汉能薄膜(hanergythinfilm)。

来源：中国证券报2015-03-04

资料显示，自2012年起，汉能薄膜发电完成了针对全球领先薄膜发电技术知识产权的一系列收购，包括德国solibro的铜铟镓硒共蒸发技术；美国miasol的铜铟镓硒溅射制造技术；美国globalsolarenergy

来源：solarzoom2015-03-02

卢森堡大学与tdk科研小组对制作薄膜的工艺进行了一系列调整，以令纯氧化铅更具导电性。受益于各国学术交流，我们多学科专家组萌发在溅射工艺中添加额外物质气体等离子的想法。...报告显示，本次改进的部件是一种导电性氧化薄膜，如今在红外区可更具透明性。尽管先前已有科学家做出类似尝试，但这是导电性氧化薄膜首次凭借一步工艺实现更高的透明性，且整个流程处于稳定的空气环境中。

来源：证券日报2015-02-10

目前的情况是，在国内乃至全球范围内，进行cigs研究的科研机构有很多，细分技术路线也很多（真空工艺：共蒸法、溅射后硒化等；湿法工艺：电镀法等）。但每家都有优势，也都...不过，在中国光伏界，由于坚定拥护小众的薄膜路线，汉能总是显得有点另类；李河君把晶硅比作台式机，将薄膜比作笔记本的言论，更是不经意间得罪了绝大多数选择晶硅路线的光伏同行。

来源：中国日报网2014-12-12

据记者了解，自2012年起，汉能薄膜发电完成了针对全球领先的薄膜发电技术知识产权的一系列收购，包括德国solibro的铜铟镓硒共蒸发技术;美国miasol的铜铟镓硒溅射制造技术;美国global solar

来源：OFweek太阳能光伏网2014-09-29

2014年一月，midsummer的研发团队开发了高速制造cigs太阳能电池片在真空状态溅射沉积所有材料，据称，这将提供许多发展中国家生产低成本高...汉能：cigs组件打造薄膜帝国根基2013年十二月，汉能太阳能曾公布了其cigs薄膜太阳能技术继达到18.7%光伏组件效率后，0.5平方厘米面积的cigs薄膜太阳能实验室电池也又提升至19.6%转换效率

来源：昆仑海岸2014-07-21

溅射薄膜压力液位变送器是采用原子纳米薄膜应变电阻通过溅射、刻蚀特殊工艺技术制作的压力传感器和高性能的数字放大电路一体化设计，它克服了传统传感器的蠕变、滞后、老化等不稳定因素，提高变送器在高温高压恶劣环境下的长期稳定性和可靠性

来源：PV-Tech2014-07-01

唯一一家宣布计划在该国建设新生产厂的中国cigs制造商是汉能太阳能(hanergysolar)，其正计划建设交钥匙生产线，额定装机容量为300mw，启用miasol的cigs溅射工艺技术，第二条300mw...铂阳精工是汉能太阳能集团旗下的薄膜设备部门。汉能旗下子公司solibro据说已经在德国其现有生产厂启用singulus的缓冲层沉积技术。