来源：北极星电力网2022-09-26

；mems加速度传感器采用微加工的方式，用于采集质点加速度，可用于电力系统振动环境的监测。...例如，通过采用微型红外传感器来检测气体和温度，即根据红外光谱吸收原理，可以用于检验gis器件的sf6泄露情况；利用mems纤毛式矢量水听器，可用于架空线路风向、风速监控，杆塔倾斜以及导线舞动等环境状态的监控

来源：南方电网报2022-09-21

在mems传感器方面，工业控制、消费电子、汽车电子等领域应用十分广泛，早在2019年国内mems传感器市场规模就达到了597.8亿元。...但高端传感器领域的研发、设计、制造加工企业较少，我国从事传感器的研制、生产和应用的企事业单位共2000多家，从事高端传感器产品mems工艺研发、制造的企业仅50多家。

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。...引导仪器仪表企业集聚发展，建设色谱仪、质谱仪、穿戴智能设备、传感器、在线分析仪表、流量仪表、新型电力仪表等10个左右省级仪器仪表产业园。

来源：深圳市人民政府2022-06-30

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：深圳市工业和信息化局2022-06-21

到2025年，建设一条兼具量产能力的mems中试线，为高端mems传感器企业提供定制化、规模化加工服务，构建涵盖研发、中试及规模生产的完整mems产品技术创新链。（四）生态体系基本完善。

来源：江苏省发展和改革委员会2022-06-17

光模块光缆及芯片重大产业化项目捷捷半导体有限公司功率半导体6英寸晶圆及器件封测生产线建设项目中天射频电缆有限公司5g高端通信电缆建设项目中国船舶重工集团公司第七一六研究所通用视觉加速处理芯片技术研究项目江苏奥力威传感高科股份有限公司汽车传感器智能化生产线建设项目苏州和林微纳科技股份有限公司微机电

来源：江苏省发改委2022-06-17

光模块光缆及芯片重大产业化项目捷捷半导体有限公司功率半导体6英寸晶圆及器件封测生产线建设项目中天射频电缆有限公司5g高端通信电缆建设项目中国船舶重工集团公司第七一六研究所通用视觉加速处理芯片技术研究项目江苏奥力威传感高科股份有限公司汽车传感器智能化生产线建设项目苏州和林微纳科技股份有限公司微机电

来源：中国标准化协会城镇基础设施分会2022-04-06

为此，中国标准化协会【2022】109号文件立项批复了《mems氢气传感器技术规范》由城镇基础设施分会及其服务机构组织实施编制工作。...本规范由国家电投集团中央研究院主编，适用于各类氢能应用场景中检测氢气泄漏的传感器。主要内容包括：氢气传感器的基本性能指标、安装、检测方法等，具有一定的创新性。

来源：河南省发改委2022-03-16

镇平国家宝玉石产业链数字化科创中心项目8 中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器

来源：河南省发改委2022-03-16

镇平国家宝玉石产业链数字化科创中心项目8 中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器

来源：北极星环保网2022-02-22

压力传感器52 扬州航宇碳纤维航空核心部件53 邗江天平原料药及制剂54 邗江鹍远癌症早筛研发制造55 邗江力品药品固体制剂56 扬州礼邦肾脏疾病领域新药研发生产基地57 邗江尚鼎环保设备研发制造58...毫米以上无缝管线管46 江都三药抗肿瘤片剂等47 江都博智机器人智能制造48 江都福润药品高端制剂及精细原料49 邗江杰利新能源汽车电子及大功率半导体晶圆50 邗江揽坤高低压成套智能电气装备51 扬州奥力威汽车mems

来源：正星科技2021-05-18

2020年，日立信股份牵头成功申报了国家重点研发计划，专项研制新型mems氢气传感器，为新能源汽车提供更可靠的氢气检测模块。双方将在加氢站氢气安全及品质分析相关技术与产品研发领域开展深入合作。

来源：中国能源报2021-03-10

南方电网数字电网研究院有限公司智能传感与芯片技术负责人李鹏在接受本报记者采访时表示：“目前我国智能传感领域在新材料、磁阻芯片、微型传感器集成技术、低功耗mems技术等方面，已具备重要的研究基础和核心优势

来源：国家电网报2020-11-03

）自取能振动传感器等一系列高性能传感设备，以及全自主不间断5g无人机巡视系统，使故障综合诊断准确率达到85%以上。...建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

）自取能振动传感器等一系列高性能传感设备，以及全自主不间断5g无人机巡视系统，使故障综合诊断准确率达到85%以上。...建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

）自取能振动传感器等一系列高性能传感设备，以及全自主不间断5g无人机巡视系统，使故障综合诊断准确率达到85%以上。...建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：中商产业研究院2020-06-01

纳米、薄膜、厚膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器实现新功能提供了条件；同时，凭借mems技术，国际先进智能气体传感器已能够在一个小型封装内集成气体传感、信号采集、信息处理、校准数据存储、温度补偿以及数字接口等功能

来源：北极星输配电网2020-04-22

重点针对泛在电力物联网关键技术及典型应用开展研究， 具体包括： 泛在电力物联网体系架构； 高频局部放电传感器、 超声波局部放电传感器、 mems 微纳振动传感器、 变压器内部环境多参量光学传感器等新型传感技术

来源：北极星储能网2020-03-24

传感器设计，光芯片设计，人工智能芯片设计（2）晶圆制造：4吋、5吋、6吋、8吋、12吋晶圆制造，硅基半导体晶圆制造和化合物半导体晶圆制造，成熟工艺晶圆制造（28nm以上技术节点）和先进工艺晶圆制造（28nm...新用地项目扶持资金的审批和拨付流程3.关于新用地项目“七通一平”的落实标准附件1淄博高新区产业鼓励发展指导目录一类项目一、智能制造1、电子信息产业（1）芯片设计：集成电路设计，分立器件设计，功率器件及模块设计，mems

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。