来源：江苏省发展和改革委员会2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：江苏省发改委2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：中国标准化协会城镇基础设施分会2022-04-06

为此，中国标准化协会【2022】109号文件立项批复了《mems氢气传感器技术规范》由城镇基础设施分会及其服务机构组织实施编制工作。...本规范由国家电投集团中央研究院主编，适用于各类氢能应用场景中检测氢气泄漏的传感器。主要内容包括：氢气传感器的基本性能指标、安装、检测方法等，具有一定的创新性。

来源：河南省发改委2022-03-16

mems中试平台2 河南郑新林业高新技术试验场黄河流域林木育种创新中心3 郑州大学超短超强激光平台建设项目4 清洛基地高端装备中试基地平台建设项目5 洛阳天久科技研发平台建设6 洛阳中南高科智能装备创新港项目...镇平国家宝玉石产业链数字化科创中心项目8 中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器

来源：河南省发改委2022-03-16

mems中试平台2 河南郑新林业高新技术试验场黄河流域林木育种创新中心3 郑州大学超短超强激光平台建设项目4 清洛基地高端装备中试基地平台建设项目5 洛阳天久科技研发平台建设6 洛阳中南高科智能装备创新港项目...镇平国家宝玉石产业链数字化科创中心项目8 中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器

来源：河南省发改委2022-03-16

mems中试平台2 河南郑新林业高新技术试验场黄河流域林木育种创新中心3 郑州大学超短超强激光平台建设项目4 清洛基地高端装备中试基地平台建设项目5 洛阳天久科技研发平台建设6 洛阳中南高科智能装备创新港项目...镇平国家宝玉石产业链数字化科创中心项目8 中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器

来源：正星科技2021-05-18

2020年，日立信股份牵头成功申报了国家重点研发计划，专项研制新型mems氢气传感器，为新能源汽车提供更可靠的氢气检测模块。双方将在加氢站氢气安全及品质分析相关技术与产品研发领域开展深入合作。

来源：中国能源报2021-03-10

南方电网数字电网研究院有限公司智能传感与芯片技术负责人李鹏在接受本报记者采访时表示：“目前我国智能传感领域在新材料、磁阻芯片、微型传感器集成技术、低功耗mems技术等方面，已具备重要的研究基础和核心优势

来源：国家电网报2020-11-03

）自取能振动传感器等一系列高性能传感设备，以及全自主不间断5g无人机巡视系统，使故障综合诊断准确率达到85%以上。...建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

）自取能振动传感器等一系列高性能传感设备，以及全自主不间断5g无人机巡视系统，使故障综合诊断准确率达到85%以上。...建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：国家电网报2020-11-03

）自取能振动传感器等一系列高性能传感设备，以及全自主不间断5g无人机巡视系统，使故障综合诊断准确率达到85%以上。...建成兆瓦级港口岸电无线供电系统，提高船舶岸电安全性及灵活性；全面形成“安全智能”的园区高可靠能源保障业态，建成源网荷储协调调控体系，实时控制策略单次计算时间小于3秒，部署首套具备自主知识产权的微机电（mems

来源：中商产业研究院2020-06-01

纳米、薄膜、厚膜技术等新材料制备技术的成功应用为气体传感器实现新功能提供了条件；同时，凭借mems技术，国际先进智能气体传感器已能够在一个小型封装内集成气体传感、信号采集、信息处理、校准数据存储、温度补偿以及数字接口等功能

来源：北极星输配电网2020-04-22

重点针对泛在电力物联网关键技术及典型应用开展研究， 具体包括： 泛在电力物联网体系架构； 高频局部放电传感器、 超声波局部放电传感器、 mems 微纳振动传感器、 变压器内部环境多参量光学传感器等新型传感技术

来源：北极星储能网2020-03-24

传感器设计，光芯片设计，人工智能芯片设计（2）晶圆制造：4吋、5吋、6吋、8吋、12吋晶圆制造，硅基半导体晶圆制造和化合物半导体晶圆制造，成熟工艺晶圆制造（28nm以上技术节点）和先进工艺晶圆制造（28nm...新用地项目扶持资金的审批和拨付流程3.关于新用地项目“七通一平”的落实标准附件1淄博高新区产业鼓励发展指导目录一类项目一、智能制造1、电子信息产业（1）芯片设计：集成电路设计，分立器件设计，功率器件及模块设计，mems

来源：国家电网报2020-03-16

该项目全面深入开展无源光纤传感、低功耗mems（微机电系统）传感等新型光机电传感器技术研究，整体达到国际先进水平，在传感器微型化设计、抗电磁干扰选型、现场优化部署等方面取得实质性突破。...3月9日，由中国电力科学研究院承担的“面向电网关键设施设备的新型光机电传感器关键技术及应用”项目顺利通过中国电力企业联合会科技成果鉴定,为深入开展智能感知跨专业联合攻关、攻克电力传感器“卡脖子”技术奠定基础

来源：与非网2020-03-06

在 mems 传感器应用前景良好和国产化进程提速背景下，未来我国 mems 传感器市场前景广阔。...图片来源：omdia·mems 传感器2019 年中国 mems 传感器市场规模达到 597.8 亿元，同比增长 18.3%。

来源：中国电气传动网2020-01-16

在中国，资本更加关注自主研发的核心技术、垂直的企业，以mems传感器厂商为主。...主要体现在这十大方面：1、mems传感器2019年，物联网、智能汽车、工业4.0等新产业风靡全球，而中国传感器市场依旧规模小、没有大品牌，以进口为主的尴尬境况。

来源：北极星电力网2019-11-15

万吨高性能锂离子电池负极材料项目30．德清中南高科开发有限公司新建年产10万台工业机器人、20万台（套）精密机械设备、30万台(套)节能环保材料及设备智造基地项目31．浙江星祥益精密制造有限公司航空、航天结构件及传感器研发制造项目

来源：电子工程专辑2019-10-17

“从物联网的角度来看，整个泛在电力物联网系统涉及到的现实世界数据采集，对各类传感器的需求巨大，可以说是宇宙级的。”张松刚提到。...mems技术发展早在上个世纪70年代就开始了，而adi是最早介入该领域的公司之一，目前adi聚焦于mems的惯导技术在各个行业的应用，以超低噪声、超低功耗以及高温性能实现各种更加鲁棒性的应用场景。

来源：太阳能发电网2019-07-16

mems传感器是物联网的关键技术之一。...mems工艺技术是各种类型传感器的共性基础工艺技术，目前主要是围绕不同封装结构的各种传感器产品开展创新。低功耗广域网(lpwan)将广泛应用。