来源：今日自动化2011-07-07

，mems技术，全自动微量、痕量样品分析与处理技术等。...目前新型传感器技术包括固态硅传感器技术、光纤传感器技术、生物芯片技术、基因芯片技术、图像传感器技术、全固态惯性传感器技术、多传感器技术等。“十二五”将以智能传感器作为重点，进行关键技术攻关。

来源：仪器仪表交易网2011-06-30

此外，一些前沿产品如新型mems振荡器、基于mems技术的存储器、mems电池也正处于研发阶段中，并有望在未来三到五年实现良好的经济效益。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

日前，飞思卡尔半导体宣布推出用于测量海拔的高精度压力传感器，ihsisuppli研究公司的调查显示，消费电子产品和移动电话对mems技术的需求将在2011年增长25.6%。。...飞思卡尔xtrinsicmpl3115a2压力传感器基于微机电系统(mems)技术，补充了xtrinsic产品组合中的加速计和磁力计，可以满足智能移动设备中对这类组件的日益增长的需求。

来源：仪器仪表交易网2011-06-29

此外，一些前沿产品如新型mems振荡器、基于mems技术的存储器、mems电池也正处于研发阶段中，并有望在未来三到五年实现良好的经济效益。

来源：益登科技2011-04-12

wispry利用公司在rf-mems技术上的核心专长，打造了革命性的rf-mems系统单芯片，目前产品已出货给多家一线手机制造商。...益登科技董事长曾禹旖表示：“wispry卓越的rf cmos mems技术能有效解决关键的前端性能问题，符合现今移动网络的广大需求。

来源：电子元件技术网2010-11-29

对于敏感元器件和传感器的发展，温学礼表示，目前，我国开发新一代的高、精、尖传感器已具备条件，如光纤、红外、超声波、生物、智能及模糊控制传感器，采用mems技术制作的微传感器等。...，与业界精英共同探讨了被动元件行业技术动向和市场趋势。

来源：中华工控网2010-09-26

微型化是建立在微电子机械系统(mems)技术基础上的，目前已成功应用在硅器件上形成硅压力传感器(如上述ejx变送器)。...mems的发展，把传感器的微型化、智能化、多功能化和可靠性水平提高到了新的高度。

2006-09-07

　　欧姆龙在2006年9月1月召开的“mems技术在生命科学领域的应用”交流会上，常务董事、技术本部长今仲行一介绍了压力传感器与流量传感器等mems技术在医疗领域的应用事例。 　　

2006-09-07

应用mems技术的微型仪器被称为芯片上的仪器，mems产品包括生物芯片，汽车加速计，压力、化学、流量计，微光谱仪等产品，广泛应用于生命科学、环境科学、航天、生物医疗、汽车工业、军事、工业控制等领域。

2006-08-28

”、“mems科技股份有限公司”，呈现出良好的发展态势。...全国已有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，其中从事mems研制生产的已有50多家。

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。...ti主要销售micro-mirror显示组件，hp则是mems喷墨式印表头的领导厂商。排名第三的是德国的robert bosch，该公司是全球最大的solid-state传感器供货商。

2006-04-19

该公司是使用mems技术生产3轴加速度传感器的第一大厂商，增产的目的是要扩大该产品在便携终端领域的应用。 该公司正在将产能由目前的年产3000万个扩大到1亿个。...该公司在纽约州伊萨卡镇的总部工厂生产mems传感器芯片，信号处理lsi则委托给硅代工厂商生产。然后再由专业封装公司进行组装。封装后的元件送回总公司，进行校正和检查。

2006-04-04

其工程部经理华亚平认为：“随着mems技术的发展，mems传感器将会越来越多地跨越价格的门槛走进消费电子市场。” 与青鸟元芯的mems加速传感器采用压阻原理不同，美新加速传感器采用

2005-06-24

流量测试仪 　　贵州省都匀市智能水表有限责任公司、贵州鑫淼科技有限责任公司tm卡智能预付费冷水表 lxstm-15～25b 　　中国科学院水利部水土保持研究所自动在线泥沙测量仪 　　西安中星测控有限公司mems...　　厦门厦大海通自控有限公司循环流化床（cfb）锅炉先进控制系统 　　廊坊开发区大地工程检测技术开发有限公司djgw-2a钢筋位置测定仪 　　廊坊开发区大地工程检测技术开发有限公司djlc-a楼板测厚仪

2004-09-22

高新技术备受关注 　　更值得注意的是，全球传感器高技能化技术的发展现在越来越引起全球各生产商的关注。 　　目前，mems技术已经被广泛地应用于全球各类传感器的开发工作中。

2003-11-05

系统级芯片(soc)技术、神经网络芯片、砷化镓(gａaｓ)、锗硅gｅsｉ 技术、纳电子技术(基于量子效应的单电子器件和量子集成电路)、真空微电子技术、微电子机械系统(mems)技术和生物芯片等，正在成为人们研究的热点

2006-12-13

”、“mems科技股份有限公司”，呈现出良好的发展态势。...全国已有1688家企事业从事传感器的研制、生产和应用，其中从事mems研制生产的已有50多家。

2007-04-13

icinsights表示：“约有80%的固态传感器和致动器有用微电机系统(mems)技术，以完成变换器功能。”