来源：池州市人民政府2022-10-17

针对电动汽车充电桩、尘埃粒子计数器、标准电阻、静电放电发生器、示波器校准仪等计量需求，在晶圆制造、封装与测试技术、mems红外热电堆温度传感器芯片等半导体产业以及轻合金材料产业等方面开展计量测试技术研究和成果转化

来源：无锡国家高新技术产业开发区2022-09-29

有限公司和海太半导体（无锡）有限公司分列2018年中国半导体封装测试企业的第7和第9名；无锡华润华晶微电子有限公司位列2018年中国半导体功率器件企业的第3名；美新半导体（无锡）有限公司位列2018年中国半导体mems

来源：北极星电力网2022-09-26

；mems加速度传感器采用微加工的方式，用于采集质点加速度，可用于电力系统振动环境的监测。...例如，通过采用微型红外传感器来检测气体和温度，即根据红外光谱吸收原理，可以用于检验gis器件的sf6泄露情况；利用mems纤毛式矢量水听器，可用于架空线路风向、风速监控，杆塔倾斜以及导线舞动等环境状态的监控

来源：南方电网报2022-09-21

接下来，电力行业企业要紧紧抓住mems传感器等高端传感领域技术工艺自主创新、人才培养与引进、产业聚集有序发展等关键工作，重点突破核心产品设计、制造工艺和集成应用等关键技术，做好电力领域的本地化定制适配，

来源：江苏省人民政府2022-07-29

开展集成电路、光刻机、刻蚀机、微机电系统（mems）传感器、北斗卫星等关键参数计量测试技术研究，加快关键技术攻关、计量测试平台建设和示范应用，服务整装和零部件企业协同发展。

来源：深圳市人民政府2022-06-30

聚焦智能传感器设计、制造、封测、装备材料等环节，加快新型传感器材料、cmos-mems集成技术、先进封装工艺等核心技术攻关，建设mems中试线、mems传感器产业基地，丰富智能传感器在消费电子、汽车电子

来源：深圳市工业和信息化局2022-06-21

到2025年，建设一条兼具量产能力的mems中试线，为高端mems传感器企业提供定制化、规模化加工服务，构建涵盖研发、中试及规模生产的完整mems产品技术创新链。（四）生态体系基本完善。

来源：江苏省发展和改革委员会2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：江苏省发改委2022-06-17

（mems）精密电子零部件扩产项目（微机电（mems）精密电子零部件专利布局与产业化项目）江苏长龄液压股份有限公司液压回转接头项目扩建项目苏州迈为科技股份有限公司年产40条异质结太阳能电池片设备整线项目纽威数控装备

来源：北极星风力发电网2022-06-08

上海拜安传感技术有限公司（以下简称“拜安科技”）创始于2004年，是注册在上海张江自由贸易试验区的国家高新技术企业，拜安科技主营产品是以光纤光栅传感、分布式光纤传感以及mems光纤传感为主的智能光纤传感大数据存算一体系统

来源：北极星环保网2022-05-20

兆驰光电器件及相关配套项目38 南昌大学国际材料创新研究院项目39 兆驰半导体rgb小间距显示模组项目40 江西美晨年产3000万台手机南昌生产基地建设项目（二期）41 正邦大数据生物医药科技产业园项目42 中昌逸晟科技mems

来源：中国标准化协会城镇基础设施分会2022-04-06

为此，中国标准化协会【2022】109号文件立项批复了《mems氢气传感器技术规范》由城镇基础设施分会及其服务机构组织实施编制工作。...各相关单位：根据氢能产业发展中长期规划，随着氢能利用的不断成熟和完善的技术，开发和使用适宜的氢气传感器，对于实现快速准确有效的氢气泄漏监测有重要意义。

来源：北极星能源网2022-04-02

——油气工程技术 （10）地震探测智能化节点采集技术与装备 开展 mems 数字传感技术、基于 lora 架构的陆 上节点自适应组网技术研究，研制陆上、海洋智能化节点地震采 集系统，实现百万道级全数字地震探测和深海稳定可靠采集

来源：北极星环保网2022-03-24

天文学创新中心项目9.承德木兰围场文化旅游产业园项目10.承德隆化中药材加工仓储物流及交易中心项目11.承德隆化风电光伏水电解制取绿氢项目12.承德高纯 oled 发光材料和光阻材料生产项目13.承德 mems...张家口桥东区零碳源现代农业产业园项目19.张家口张北智能机器人生产项目20.张家口宣化冰雪产业园项目21.张家口尚义全民冰雪体验乐园项目22.张家口察北管理区风机叶片生产项目23.张家口康保中药材现代产业园项目24.张家口怀来信息技术产业集聚区项目

来源：河南省发改委2022-03-16

中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器mems...中试平台2 河南郑新林业高新技术试验场黄河流域林木育种创新中心3 郑州大学超短超强激光平台建设项目4 清洛基地高端装备中试基地平台建设项目5 洛阳天久科技研发平台建设6 洛阳中南高科智能装备创新港项目7

来源：河南省发改委2022-03-16

中国长城（郑州）自主创新基地9 恒固达高速铁路智能化电气设备研发与生产中心项目10 平顶山市祥羽固体光气下游产品研究院11 南乐县生物基中试基地及产业转型升级项目开工项目（30）1 河南省智能传感器mems...中试平台2 河南郑新林业高新技术试验场黄河流域林木育种创新中心3 郑州大学超短超强激光平台建设项目4 清洛基地高端装备中试基地平台建设项目5 洛阳天久科技研发平台建设6 洛阳中南高科智能装备创新港项目7

来源：江苏省发改委2021-11-18

2021年度省级战略性新兴产业发展专项资金拟立项项目江苏金晓电子信息股份有限公司基于智能主动管控技术的车路协同系统研发及产业化项目华天科技（南京）有限公司集成电路先进封测产业基地mems技术攻关及产业化项目南京国兆光电科技有限公司年产

来源：正星科技2021-05-18

2020年，日立信股份牵头成功申报了国家重点研发计划，专项研制新型mems氢气传感器，为新能源汽车提供更可靠的氢气检测模块。双方将在加氢站氢气安全及品质分析相关技术与产品研发领域开展深入合作。

来源：北极星输配电网2021-03-30

公司获评国家技术创新示范企业，推出hz-ces储能系统、升级hz3000-mems能量管理系统；打造多能物联数据中心，上线水电及新能源集控服务平台、hznet-cp充电站运维管理服务平台、hzsw3000

来源：中国能源报2021-03-10

南方电网数字电网研究院有限公司智能传感与芯片技术负责人李鹏在接受本报记者采访时表示：“目前我国智能传感领域在新材料、磁阻芯片、微型传感器集成技术、低功耗mems技术等方面，已具备重要的研究基础和核心优势