来源：上海电气2023-12-04

设备搬入现场本次首批搬入的设备包括pecvd主设备及其自动化设备，是异质结电池片生产核心设备，将助力上海电气生产出高效率、高功率、高可靠性的行业领先异质结电池及组件产品，为上海电气集团新旧动能的转换与“

来源：捷佳伟创2023-11-27

发布会下半场，捷佳伟创各事业部研发负责人发布了最新的机台设备，包括硅片清洗一体机、plus系列湿法设备、hjt电池大产能pecvd设备、5in1钙钛矿电池镀膜设备、钙钛矿电池涂布设备以及钙钛矿电池激光划线设备

来源：北极星太阳能光伏网2023-10-11

据悉，晶盛光子主营管式pecvd、lpcvd、硼扩和退火，以及单腔室多舟ald和舟干清洗等多种太阳电池工艺设备。

来源：北极星太阳能光伏网2023-09-08

9月7日晚间，福建钜能电力官方微信公众号发布了一则5gw高效异质结太阳能电池生产pecvd、pvd设备采购公告。...拥有自主知识产权的pecvd、pvd等核心生产设备技术。2020年计划总投资约80亿元的10gw异质结太阳能电池片项目落户浙江省舟山。

来源：通威股份2023-09-08

在topcon技术还没有大规模开始量产前就有1gw topcon中试线，并在此基础上不断论证lpcvd、pecvd、pea

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-08-28

如topcon存在多技术路线，lpcvd、pecvd等，lpcvd每三个月石英轴和石英管会破碎必须更换，石英耗量大；pecvd技术解决了石英问题，但工艺窗口相对比较窄，需要企业具备强大的研发能力。

来源：北极星太阳能光伏网2023-08-08

光伏电池片生产线和5gw光伏组件生产线，主要建构筑物包括电池片生产车间、组件生产车间、固废暂储存区、化学品仓库、硅烷站、特气站、氢气房、cda房、氮气站、废水处理站、综合楼等，主要设备包括制绒清洗机、pecvd

来源：爱康科技2023-08-07

1.微晶硅工艺导入，效率提升先行一步爱康微晶工艺是通过vhf - pecvd技术在异质结电池表面形成微晶硅薄膜。

来源：北极星太阳能光伏网2023-08-03

主机台、pecvd自动化设备、pecvd镀舟机、丝网双轨机、退火双轨机、离线测试分选一体机、离线el测试机、成品热缩膜机、超声波清洗机、石英管-石英舟清洗机、石墨舟-石墨舟清洗机、返工片清洗机、烘箱、插片机

来源：北极星太阳能光伏网2023-08-03

射频(rf)微晶p的高速高质量沉积，一直是困扰异质结大产能板式pecvd的技术难点，通过本次技术突破，捷佳伟创的大产能射频板式pecvd预计将比市面上主流设备减少1-2个微晶p腔体。

来源：北极星太阳能光伏网2023-07-17

此次进场设备包括pecvd主机及其自动化，以国内先进性设备为引领，起步即与未来同步。

来源：中国光伏行业协会2023-07-04

、管式pecvd、印刷机、单晶炉、串焊机、层压机、检测及自动化设备等已基本实现全国产化，并进行不同程度的出口。...我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉、氧化退火炉、lpcvd

来源：中国光伏行业协会CPIA2023-07-03

、管式pecvd、印刷机、单晶炉、串焊机、层压机、检测及自动化设备等已基本实现全国产化，并进行不同程度的出口。...我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、光伏电池片、组件设备的生产到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如清洗设备、制绒机、扩散炉、氧化退火炉、lpcvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-28

249,988.80 万元（含本数），扣除发 行费用后的净额拟投资于以下项目：本募投项目的产品应用领域为光伏行业，主要产品为 hjt 电池 4 道工序中的核心 设备、光伏组件及光伏自动化设备，具体包括制绒清洗机、pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-25

合同标的为topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式扩散氧化退火炉等。设备交付时间为2023年7月10日开始到货，60天完成设备全部到货。

来源：江苏省工业和信息化厅2023-06-20

新一代光伏技术与装备：围绕高转换效率、高功率电池发展方向，重点研发适用于下一代太阳能电池技术的新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：北极星太阳能光伏网2023-06-14

topcon电池设备，包括但不限于ald设备、peald设备、pecvd设备、管式氧化退火炉、管式扩散炉等，设备交付时间为2023年6月30日，第一台设备进厂，后续按照双方约定陆续交付。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2023-06-05

正猛攻组件市场的通威太阳能，在 topcon 技术路线方面，基于自主研发成功的行业首条大尺寸 pecvd poly 技术产线，全面推出 tnc 电池产品，预计2023年下半年产能将达到 25gw。

来源：英孚康2023-05-30

目前已经实现包括生长炉、泛线切类设备、清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd、电池片自动化设备、串焊机、层压机等设备的全面覆盖。

来源：集微网2023-05-19

而与普通pid温控器不同，半导体生产设备中许多环节，比如扩散、氧化、刻蚀、pecvd等过程使用的串级温控器需要高端复杂调节算法，以此来应对半导体设备中温度控制滞后较大且扰动多等问题。