北极星
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      来源:中国新能源网2008-10-29

      化学刻槽 应用掩膜(si3n4或sio2)各向同性腐蚀,腐蚀液可为酸性腐蚀液,也可为浓度较高的氢氧化钠或氢氧化钾溶液,该方法无法形成各向异性腐蚀所形成的那种尖锥状结构。

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