来源：仪表网2012-01-12

多晶硅生长炉、扩散炉、清洗机、分选机等工序上，也都能看到研祥的模块板卡、组态软件、人机界面、交换机等自动化设备。...从硅料、铸锭、硅片、电池、组件到太阳能应用产品，各道工序的自动化运转必不可少。

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

据董秘徐加力表示："七星电子光伏设备源于公司核心的半导体集成电路设备工艺技术，产品的技术水平和工艺稳定性方面具有很强的竞争力，并且产品并不局限于单晶炉等长晶设备，而是以扩散炉、pecvd、清洗机等工艺设备为主...提高单机自动化水平和效率，增加批次装片量；设备间自动化装置的应用，减少人工干预，提高整线生产效率；配合用户进行新工艺的探索实验，进一步提高电池的光电转换效率；进一步发展适合大尺寸、薄硅片的工艺技术设备，

来源：《光伏信息报》2011-11-14

、多线切割机、脱胶、硅片插入、清洗机等。...清洗方法多种，超声波清洗法领衔太阳能硅片生产线因单、多晶的不同而分为两条生产线：单晶硅片的生产设备包括单晶炉、切断机、滚圆切方机、多线切割机、清洗机等；多晶硅片的生产设备包括多晶铸锭炉、切方机、去头尾机

2011-08-24

奥克阳光新能源项目计划引进的生产设备包括切片机74台，抛光机5台，多晶铸锭炉64台，以及切方机、清洗机等附属设备70台套，目前多晶铸锭车间的部分生产设备已经开始进场安装。

来源：中国电子报2011-07-14

/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式pecvd、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大，3种(全自动丝网印刷机、自动分捡机、平板式pecvd)则完全依赖进口。

来源：搜狐IT2011-06-16

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。

来源：工业和信息化部电子信息司副司长 刁石京2011-06-15

在生产设备方面，已能提供晶硅电池生产整线设备，单晶炉和多晶硅铸锭炉国产设备市场占有率不断提高，清洗机、扩散炉和刻蚀机等已批量出口，开方机和切方机已规模化生产，多线切割机已有样机生产。

来源：中国电子信息产业网2011-06-14

/制绒机、扩散炉、等离子刻蚀机、管式pecvd、石英管清洗机、丝网印刷机、高低温烘干烧结炉、自动分选测试仪等，并能为国内外光伏企业提供晶体硅太阳能电池制造成套装备和工艺解决方案。

来源：新华报业网2011-01-05

省光伏产业协会秘书长魏启东介绍，目前我省已能生产单晶炉、清洗机、甩干机等部分设备，而生产线的关键设备绝大部分来自国外供应商，进口设备费用约占企业设备费用的50%至80%；还原炉、电池及组件等生产核心技术方面已接近世界先进水平

来源：环球光伏网2010-09-08

进口多晶铸锭炉、开方机等主要工艺设备309台（套），采购清洗机、多晶倒角机、表面抛光机等国产设备180台（套）。...、单晶硅片、太阳能电池及组件等光伏研究、生产、销售的公司。

来源：互联网2010-09-08

进口多晶铸锭炉、开方机等主要工艺设备309台（套），采购清洗机、多晶倒角机、表面抛光机等国产设备180台（套）。...、单晶硅片、太阳能电池及组件等光伏研究、生产、销售的公司。

来源：中国电子报2009-03-19

，可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线上占据主导地位，2种(管式化学气相淀积设备pecvd、快速烧结炉)与进口设备并存且份额正逐步增大

2006-09-05

王俊朝告诉中国电子报记者，自2002年开始，通过和一流企业合作并引进先进的工艺技术，历经多次技术换代及升级，国产的太阳能电池片关键生产设备，如制绒机、硅片清洗机、8英寸扩散炉、刻蚀机、psg祛除机、低温烘干炉

2004-10-15

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企

2004-08-30

、石英管清洗机、硅片腐蚀清洗系统、旋转冲洗甩干机等。...电子信息产业发展基金安排的8英寸快速热处理设备、8英寸多工位硅片清洗腐蚀设备、8英寸硅片自动划片机、集成电路自动封装系统、vxi数模混合集成电路测试系统等，以及一部分企业自行安排的材料制备设备和后工序设备的研制也已进入尾声