来源：集邦新能源网2022-10-28

主要分歧在隧穿层及多晶硅镀膜工艺上有所区别，目前的主流工艺是lpcvd+磷扩；pecvd工艺优势明显，目前正处于产业化验证期；pvd法主要是中来在布局，peald主要是通威、微导在主导。

来源：金石能源2022-09-28

，并重点介绍了金石能源大腔室pecvd设备对于加速异质结（gw级）规模产业化的重要作用与意义。...经测算，金石能源7.0 pecvd设备与常规的600mw机型相比，设备能耗可省30%，特气耗量省25%，占地面积省17%，产线利用率高，厂房基建及厂务投资减少15%。

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-24

据了解，pecvd设备是异质结电池生产线中价值最高的设备，实现pecvd设备降本增效有助于加速异质结规模产业化应用。...经测算，金石能源7.0 pecvd设备与常规的600mw机型相比，设备能耗可省30%，特气耗量省25%，占地面积省17%，产线利用率高，厂房基建及厂务投资减少15%。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2022-09-13

如金辰股份具备topcon pecvd及hjt pecvd核心设备，捷佳伟创实现perc+/topcon/hjt设备全覆盖，晟成光伏在hjt异质结领域，可提供制绒、清洗制等湿法工艺设备，供制绒、清洗制等湿法工艺设备

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-05

问题八：公司目前 对于n型topcon电池的技术路线选择的是lp cvd路线，公司对于pecvd技术路线有没有相关方案？...公司也积极关注pecvd的技术研发情况，并进行相应的技术储备。问题九：公司上饶9.5gw的perc产线，未来是否可以通过技术改进升级为topcon产线？

来源：北极星太阳能光伏网2022-09-02

双方于2021年起研发高效hjt电池，迈为提供蓝膜片全部工艺制程，在其自主研制的异质结高效电池量产设备（包括清洗制绒、pecvd、pvd等）上完成。

来源：金辰股份2022-08-18

据悉，2020年，金辰股份组建团队开始研发hjt pecvd设备；2021年6月，金辰股份自主研发的首台hjt pecvd设备进驻晋能科技并成功通过设备工艺验证；今年首台基于微晶工艺的hjt pecvd

来源：苏州晟成光伏2022-06-23

针对市面上其他topcon光伏电池背钝化镀膜设备的优缺点进行深入分析，晟成光伏决定采用pecvd镀膜与低损伤pvd镀膜相结合的技术方式来制备topcon电池的背面隧穿二氧化硅膜层和掺杂非晶（碳化）硅膜层...该技术方式可以有效减少甚至避免目前行业内lpcvd设备出现的绕镀问题，以及管式pecvd容易出现的爆膜、石墨舟寿命低及量产不稳定的问题，同时又可以进一步规避采用大尺寸线性离子源依赖进口、造价昂贵和膜层均匀性较差的问题

来源：北极星太阳能光伏网2022-06-23

迈为股份表示，公司本次取得国有建设用地使用权，该地块为公司2021年度向特定对象发行股票的项目用地，将用于建设异质结太阳能电池片设备产业化项目，项目建设周期为3年，项目建成达产后可实现年产pecvd、pvd

来源：中国新能源发展论坛2022-06-22

“链式思维”崛起千亿产业集群碱制绒、pecvd镀膜、丝网印刷……走进天合光能（盐城）科技有限公司16gw电池项目生产车间，几百台自动化生产设备马力全开，agv运输小车来回穿梭。

来源：华晟新能源2022-04-27

据悉，华晟二期项目将主要生产异质结大尺寸半片电池和高功率组件，组件输出功率覆盖580w-700w区间，转换效率最高达22.5%，尤其适用于工商业分布式及地面电站项目；电池端采用单面微晶电池工艺结合大产能pecvd

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2022-04-22

详情点击相关阅读：北极星太阳能光伏网一周要闻回顾（4月11日-4月15日）企业篇隆基1.2gw电池项目环评公示 将用到pecvd等设备！

来源：工业水处理2022-04-22

1 水质及水量1.1设计水量及水质泰兴某光电建设规模为年产2.1 gw n型单晶双面太阳能电池，废水主要来自生产工序硅片制绒及清洗、扩散制结、湿法刻蚀、离子注入、退火、pecvd制氧化铝和氮化硅膜、丝网印刷

来源：北极星太阳能光伏网2022-04-20

采用激光切割机、制绒清洗机、pecvd、pvd、丝网印刷机等设备进行新型高效电池中试与研究开发，新型高效电池预计产能1200mw，配套建设辅助工程（动力站、特气站、酸库及碱库等）、公用工程（给水、排水、

来源：北极星太阳能光伏网2022-03-28

据了解，这条生产线选用了迈为独立研发的hjt3.0设备，该设备具有大尺寸、半片、薄片化等优点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中可实现全程无行车，并且支持连续镀膜，可以有效提高转化效率。

来源：湖南省工信厅2022-03-17

红太阳光电“新一代 m82200-11/um 型三合一管式 pecvd 光伏镀膜设备”，是业内唯一可以实现单台 200mw 以上产能的管式镀膜设备，达到国际领先水平，对光伏装备 pecvd 镀膜设备的发展具有重大推动作用

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-29

理想万里晖目前主要产品为用于hjt 电池生产的等离子体化学气相沉积 （pecvd）设备，未来根据客户需求提供hjt电池生产线整线交钥匙工程。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-10

4个环节的设备均选用迈为独立研发的hjt3.0设备，具有大尺寸、半片、薄片化等特点，尤其在pecvd和pvd两个关键设备中全程无行车，并支持连续镀膜，可以有效降低成本、提高转化效率。

来源：北极星太阳能光伏网2021-12-01

据悉，近日，迈为股份与rec集团签订了400mw hjt异质结电池整线设备订单，将供应pecvd、pvd、丝网印刷等hjt电池核心生产设备，用于rec位于新加坡的400mw hjt电池生产线，该产线将采用