来源：国信证券2020-02-18

相较常规光伏电池的工艺流程新增了两个重要工序，只需在传统电池产线 上额外增加钝化膜沉积设备（pecvd 设备或 ald 设备）和激光开槽设备即 可。perc 核心产品为 pecvd 设备、丝网印刷等。

来源：广发证券2020-02-12

hjt 工艺所需的核心设备包括：（1）湿法设备；（2）非晶硅沉积所需的pecvd 设备；（3） tco 制膜设备的pvd（rpd）设备；（4）金属化设备。

来源： 光伏领跑者创新论坛2020-02-11

其中，捷佳伟创是电池片设备商龙头（核心产品包括制绒清洗设备、扩散设备和管式pecvd），迈为股份是丝网印刷设备龙头，罗伯特科是自动化设备的领先企业。

来源：评安机械PAJX2020-02-11

公司率先突破：1）开拓适用于hjt电池的丝网印刷设备；2）研制hjt非晶硅镀膜的核心设备板式pecvd，并具备整线供应能力。...2016年海外收入大增，主要是因为国内光伏生产企业天合光能、阿特斯

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-02-10

主流上，hit产线共涉及四项设备：用于清洗制绒的rca、用于非晶硅薄膜沉积的pecvd、用于tco膜沉积的pvd、和用于电极金属化的丝网印刷，在这四条赛道上，中国的设备企业已经蓄势待发。

来源：光大证券2020-01-20

hjt作为未来高效光伏产品，有望引领技术变革，是面向国际光伏中高端市场企业；国内涉及能源转型、欲弯道超车企业比较好的选择。...（来源：光大证券 作者：殷中枢 菅成广 王威 马瑞山）非晶硅薄膜沉积、tco膜沉积是hjt生产核心步骤，pecvd和pvd国产化、规模化将推动降本。

来源：中国改革报2020-01-15

直到2017年，爱旭科技对技术持续不断投入得到了回报，成功研发出单晶perc的管式pecvd量产技术，光电转换效率比普通单晶电池提升了10%，成本却与单晶电池相当，一下子实现了逆袭。...刚刚正式登陆资本市场不久的光伏电池龙头企业——广东爱旭科技有限公司（以下简称“爱旭科技”）不断给予市场新的想象空间。

来源：光伏每日头条2020-01-10

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。...hit电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工艺难度大，且产线与传统电池不兼容，设备资产投资较大。

来源：OFweek太阳能光伏2020-01-10

据了解，目前主流的电池设备为pecvd，而pecvd设备仅占异质结产线价值量的一半，相较于上述其它两种电池技术来说，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而国内技术并不成熟。

来源：大众证券报2020-01-08

规模化是设备成本下降的主要路径之一。目前，hit电池设备的单机产能相对较低，清洗机、pvd、丝网印刷机单机产能大约在200mw/台左右，pecvd只有100mw/台左右的产能。

来源：华尔街见闻2020-01-08

设备环节，国产化正在加速，hit设备价格已经下降到7-8亿/gw，pecvd仍是难点。耗材方面，低温银浆国产化基本成功，第二大耗材靶材的国产化也已完成，静待需求放量。

来源：电新产业研究2020-01-07

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。

来源：高工锂电2019-12-20

12月5日，金辰股份发布公告称，公司拟发行不超过3.74亿元的可转债，用于“年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目”。...12月7日，先导智能发布公告称，拟发行可转债募集资金总额10亿元，用于年产2000台电容器、光伏组件、锂电池自动化专用设备项目、先导研究院建设项目、信息化智能化升级改造项目、以及补充流动资金。

来源：中信建投2019-12-17

12 月6 日，金辰股份公告可转债发行预案，拟募集资金3.7 亿元用于年产40 台套光伏异质结高效电池片用pecvd 设备项目，标志着异质结核心设备国产化进程更进一步。

来源：电新产业研究2019-12-16

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。

来源：摩尔光伏 中信证券2019-12-04

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：太阳能杂志2019-11-27

已经具备成套供应能力；部分产品，如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd、印刷机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测及自动化设备等，已有不同程度的出口。...光伏设备方面，受益于我国良好的半导体产业发展基础，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳电池与光伏组件的生产，到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-10-24

也许正是基于对技术设备的大量研发投入，与涵盖光伏全产业链设备的绝对实力，在今年九月份，红太阳光电公司才能获得全球市值最高光伏企业的青睐，成功收获pecvd、氧化退火设备大单，提前奠定了红太阳光电在2020

来源：PV兔子2019-10-18

非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。住友重工拥有rpd的专利，而pvd技术发展成熟，提供给设备的厂家较多。

来源：厚济天下2019-10-17

具体到细分设备，2019-2021年市场空间：制绒设备21.4亿元、扩散设备13.9亿元、刻蚀设备9.5亿元，退火设备13.9亿元，背钝化设备63亿元、pecvd设备28.4亿元、印刷线36.5亿元、激光开槽设备