来源：光伏标准及技术2015-07-30

待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。...（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的otb公司生产。

来源：人民邮电报2015-06-10

国家科技支撑计划王占国院士及验收专家组对该项目取得的7项自主创新技术成果给予高度评价，包括：无损隔热等离子体谐振腔，沉积和成棒旋转密封装置(磁流体轴向密封技术，真空状态下的泄漏率达到10-10pa/m3

来源：新材料网2015-04-23

对原始的氢等离子体技术进行改进后，这项技术将为电子制造业敞...博伊德使用了 20 世纪 60 年代所发明的一种用于控制氢等离子体的系统使氢气电气化，从而将其中的电子与氢核分开以实现在更低的温度下移除铜表面的铜氧化物。

来源：技术在线2015-03-23

第一个理由是由氢等离子体将铜箔上的氧化铜还原并去除掉。...第二个理由是氢等离子体与cvd真空腔内残留的氮气发生反应，形成了化学活性较高的分子氰自由基(cyano radical)，可以彻底地清洁铜箔。第三个理由是由于采用室温工艺，铜箔没有出现膨胀收缩。

来源：PV-Tech2015-02-09

系统订单涵盖扩散、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)和离子注入系统，预计将在未来三至九个月出货。...最近，应用材料(applied materials)日前看到台湾和韩国客户吸收锂离子注入设备，尤其是用于n型单晶硅双面太阳能电池，预计启用离子注入技术的逾500mw新产能投入使用，用于高端太阳能电池。

来源：现代储能网微信2014-12-25

最后他们使用温和的电感耦合等离子体使之柱状纳米管变成锥形结构，最后他们将非晶硅沉积在上面。...应用这种结构的阳极的锂离子电池在快速充放电循环中也表现出了极高的稳定性，阳极能达到1954mah/g(是传统阳极的五倍性能)。在230次充放电循环后仍保留有1200mah/g的比容量。

来源：金融投资报2014-08-19

，公司收购wtd(即武汉电信器件有限公司)完成了对有源光器件的产业整合，从此公司产品覆盖了有源、无源以及光电混合的全系列各类光器件和模块;2013年上半年，公司收购了丹麦ipx，获得了基于pecvd(等离子体增强化学气相沉积法

来源：科学网2014-08-15

该课题组利用甲烷等离子体实现了氧化石墨烯薄膜的高效还原，结合微加工光刻技术和电容器组装技术制备出超薄、柔性、全固态平面型微超级电容器。...阐述了以石墨烯为代表的碳基材料在平面微型超级电容器方面的电极结构设计与组装构建基本原理，并重点介绍了典型的芯片储能用石墨烯材料(包括还原氧化石墨烯薄膜、cvd石墨烯、掺杂石墨烯、石墨烯量子点、及其复合材料)的控制制备与结构设计，代表性微型超级电容器的微纳加工技术(包括光刻、电化学沉积

来源：pv-tech2014-07-31

材料专家akzonobel正在与新加坡太阳能研究所(seris)在新加坡国立大学合作，旨在为氧化铝钝化层工艺提供更低成本的原子层沉积(ald)与等离子体增强化学气相沉积(pecvd)前体。

来源：中国环境报2014-07-15

据他介绍，这项技术包括等离子体反应器、合成气冷却和净化设备、热电联产机组、汽轮机等设备，其中核心设备是等离子体反应器。...在日前召开的新型等离子垃圾焚烧技术研讨会上，这项技术的专利持有者、白俄罗斯国家科学院a.v. luikov传热传质研究所khvedchyn ihar介绍说，这种技术还可以使用各种生物质、废水处理的沉积物

来源：PV-Tech2014-05-20

最后，通过等离子体增强化学沉积技术在涂层表面共价接枝一单分子短链硅烷层，从而赋予背板中等表面能，使之与eva具有长期的绝佳粘合性。...扫描电镜(sem)显示，等离子体表面刻蚀和活化显著增加了pet与涂层之间的相容性，使它们之间得到十分紧密而强有力的整合。

来源：OFweek太阳能光伏网2014-03-25

辉光放电法是将一石英容器抽成真空，充入氢气或氩气稀释的硅烷，用射频电源加热，使硅烷电离，形成等离子体。非晶硅膜就沉积在被加热的衬底上。若硅烷中掺人适量的氢化磷或氢化硼，即可得到n型或p型的非晶硅膜。

来源：新华社2014-03-14

据了解，光伏产业链运用到的主要装备有三氯氢硅系统、多晶硅炉、单晶硅炉、多线切割机、等离子体气相沉积设备、等离子刻蚀机、制绒机、激光划切机、丝网印刷机，自动分拣机等。

来源：PV-tech2014-02-28

amtech表示，多笔订单包括扩散炉和一个用于加工更高效率太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积(pecvd)系统。...等离子体增强化学气相沉积用于钝化和抗反射涂层工艺，是电势诱发衰减(pid)保护的一个关键流程。amtech预计未来六个月内按订单出货。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2013-12-27

pecvd法按沉积腔室等离子源与样品的关系上可以分成两种类型：直接法：样品直接接触等离子体，样品或样品的支撑体就是电极的一部分。间接法：或称离域法。...待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。北极星太阳能光伏网编辑按照已知销售商数量(非静态指标)列出了国内前十名光伏pecvd设备企业，仅供参考。

来源：ICCSZ2013-10-18

(管内cvd(化学汽相沉积)法、棒内cvd(化学汽相沉积)法、pcvd(等离子体化学汽相沉积)法以及vad(轴向汽相沉积)法都是正确的光纤制作方式。

来源：中自网2013-08-30

然后研究人员用pmma热塑性塑料填充纳米线之间的空隙，再用氧等离子体蚀刻掉多余的pmma热塑塑料，暴露出纳米管的顶端。...最后的步骤包括形成欧姆接触，底部的氮化镓薄膜使用镍金电极，阵列顶部沉积透明的铟锡氧化物薄膜作为公共电极。更灵敏的机器人?更好的假肢?

来源：中国科学报2013-08-13

强强结合 应势而生2011年9月28日，由中科院合肥物质科学研究院(以下简称合肥院)和中国科学技术大学联合共建的中科院核能安全技术研究所正式揭牌成立，时任合肥院等离子体物理研究所副所长兼中科大核科学技术学院副院长的吴宜灿

来源：研华（中国）公司2013-05-28

为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd)。...项目背景pecvd即借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

来源：同花顺2013-04-22

2月中旬，一种薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备(pecvd)在上海张江理想能源设备公司正式下线。