来源：北极星电力网2012-08-15

国际高热原子核实验反应堆研究小组将会尝试在一个名叫托卡马克的圆环状受控热核反应装置中，利用强大磁场的帮助将高温等离子体约束在反应堆中间，而不让它们接触到反应器的墙壁，从而希望借此方法解决核聚变超热温度的控制问题...核聚变正是使太阳发光发热的能量来源，而科学家在能够完全利用核聚变能源之前，首先必须解决的问题是如何控制超热的核聚变燃料温度产生核聚变的条件是需要创造1.5亿摄氏度的高温等离子区。

来源：中文业界资讯站2012-07-30

这样高温度的等离子体，显然用什么材料做容器都承受不了。...不过，国际高热原子核实验反应堆研究小组将会尝试在一个名叫托卡马克的圆环状受控热核反应装置中，利用强大磁场的帮助将高温等离子体约束在反应堆中间，而不让它们接触到反应器的墙壁，从而希望借此方法解决核聚变超热温度的控制问题

来源：ne21.com2012-07-05

微电子仪器与设备创新团队以技术优势，吸引美国硅谷研究团队来嘉兴开展原子层技术合作，强强联合，加快了国内开发原子层沉积设备的研制和在嘉兴市的产业化，推出了一系列的拥有自主知识产权和创新的原子层沉积设备产品，包括热型设备、等离子体增强型设备和适于光伏产业应用的批量型设备

来源：中国能源报2012-06-20

环形托卡马克装置外部的磁体能产生强烈的螺旋型磁场，能够约束热核聚变中产生的超高温等离子体。...活动剧烈的等离子体会发射出x射线，溢出带电粒子。而且，聚变反应将产生电中性且不受磁力吸引的高能中子。

来源：solarzoom2012-06-11

因为大功率可以增大硅烷的分解率，这样氢等离子体的数量相对增多，硅表面以及非晶硅体内的悬挂键得到很好的饱和，少子寿命提高。...但当工作压强进一步上升到较高值时，等离子体密度增加不大，使反应气体活性变弱，电子或离子的平均自由程比较短，将会发生大量电子或离子与原子团(包括sih4、sih3、sih2、sih、h2、h)之间的碰撞，

来源：北极星太阳能光伏网2012-06-04

中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室在有关项目的支持下，发展了量子点敏化太阳电池中量子点制备的新方法。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-30

光伏技术：pecvd技术难点1.等离子体的不稳定性。等离子体的稳定性是一个复杂的问题。等离子体本身是由电子、离子等带电电荷组成的准中性气体,因此,它的状态容易受到外界条件的影响而发生变化。

来源：科技部网站、中央政府门户网站2012-05-24

近日，科技部基础司在四川绵阳组织召开国际热核聚变实验堆(iter)计划专项2012年国内研究项目启动会，正式启动聚变堆燃烧等离子体诊断关键技术研究等6个项目。...会议特别邀请了国家磁约束核聚变专家委员会两位召集人、中国科学院等离子体物理研究所李建刚所长和中国核工业集团西南物理研究院刘永院长分别介绍了全超导托卡马克装置东方超环和中国环流器二号装置的最新物理实验成果和下一步工作设想

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-24

其化学反应方程式为利用高频电源辉光放电产生等离子体对化学气相沉积过程施加影响的技术被称为等离子体增强cvd。电子和离子的密度达109～1012个/cm3，平均电子能量可达1～10ev。

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-23

直到六十年代人们才发现等离子体可用于去除残留碳化物，并可成功地用于等离子体去胶工艺中，随后很快发展了半导体器件工艺中的干法刻蚀技术。...2.干法刻蚀干法刻蚀是把材料的被刻蚀表面暴露于等离子体中，等离子体通过光刻胶中开出的窗口与材料发生物理或化学的反应，从而去掉暴露的材料。干法刻蚀又可分为物理性刻蚀与化学性刻蚀。

来源：PV-Tech2012-05-23

中国科学院等离子体物理研究所太阳能材料与工程研究室通过对有机金属螯合物作为量子点敏化剂前驱体的可能性的研究，发展了量子点敏化太阳电池(qdscs)中量子点制备的新方法。

来源：中国能源报2012-05-23

据理想能源设备(上海)有限公司展台工作人员介绍，由该公司研发制造的国内首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备，在去年成功下线后已实现产业化，并因其质优价廉特性而赢得国内企业追捧

来源：北极星太阳能光伏网2012-05-18

由于太阳风暴中的成分主要是带电等离子体，并以每小时150万～300万公里的速度冲向地球和其他行星。因此，它会对地球的空间环境产生巨大的冲击。

来源：ne21.com2012-05-15

太阳能电池就是以tco薄膜为衬底生长的，用等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）生长的太阳能电池层也称为有效层。有效层包括两个pin串联的双结结构。

来源：中国钢材网2012-05-10

目前，多晶硅薄膜常用的制备方法有等离子体增强化学气相沉积，热丝化学气相沉积，准分子激光晶化，固相晶化，快速热处理等。现有研究采用真空蒸镀法制备非晶薄膜后经铝诱导晶化得到多晶硅薄膜。...采用普通玻璃为衬底，先用去离子水清洗，再分别用丙酮、无水乙醇超声清洗5min，最后用去离子水清洗干净，表面皿中烘干。

来源：中国科学院2012-05-10

微电子所微电子设备研究室（八室）夏洋研究员带领的研究团队原创性地提出利用等离子体浸没离子注入技术制备黑硅材料。...该团队利用自行研制的等离子体浸没离子注入机（国家自然科学基金委、中科院装备项目、方向性项目支持）制备了多种微观结构的黑硅材料，在可见光波段黑硅的平均反射率为0.5%，与飞秒激光制备黑硅的反射率相当。

来源：中国能源报2012-05-09

这些孤立个体会冷却下来，从而导致等离子体消失不见。这些孤立个体很容易识别，可以选择性地用微波将其加热，这有可能使等离子体保持稳定状态。...等离子体又叫做电浆，是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，常被视为是物质的第四态。等离子体具有很高的电导率，与电磁场存在极强的耦合作用。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-27

对于这种情况，可以下调等离子体的功率，但是同时也会降低等离子体的稳定性。...pecvd法制备a-si:h薄膜利用等离子里中丰富的活性粒子来进行低温沉积一直是a-si:h制备的重要方法。在真空状态下给气体施加电场，气体在电场提供的能量下会有气态转变为等离子体状态。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2012-04-25

采用等离子体增强气相沉积法制备了双层氮化硅作为多晶硅太阳电池的减反膜，理论模拟了双层氮化硅的光学参数，实际测试情况和理论模拟吻合良好。...1引言等离子增强气相沉积(pecvd)制备氢化非晶氮化硅(sinx：h)已经成为工业太阳电池的标准工艺中一道工序。

来源：北极星太阳能光伏网2012-04-19

在用等离子体形成的氮化硅膜的折射率与致密性没有必然的联系，并不是折射率越高致密性就一定高。这点与用lpcvd所形成的氮化硅膜是有差异的。...1.2pecvd过程中的微观过程（1）气体分子与等离子体中的电子发生碰撞，产生出活性基团和离子。其中，形成离子的几率要低得多，因为分子离化过程所需的能量较高。（2）活性基团可以直接扩散到衬底表面。