来源：电气自动化技术网2011-05-18

重点抓好微机电系统和机器人技术、核心单元技术和传感器技术，特别是数控机床技术。”...十二五规划中的高端装备制造业重点发展工控领域：“积极发展以数字化、柔性化及系统集成技术为核心的智能装备；大力发展光机电一体化技术。

来源：上海仪器仪表协会2011-03-14

重点抓好微机电系统和机器人技术、核心单元技术和传感器技术控制工程网版权所有，特别是数控机床技术。”...十二五规划中的高端装备制造业重点发展工控领域：“积极发展以数字化、柔性化及系统集成技术为核心的智能装备;大力发展光机电一体化技术。

来源：中国化工仪器网2010-12-28

flashdsc的心脏是基于mems(micro-electro-mechanicalsystems微机电系统)技术的芯片传感器，可以实现超快速的升温和降温实验。

来源：许继电气2010-07-15

会上，鉴定委员会听取了产品汇报，审查了相关技术资料，经过质疑和讨论后,许继电气研制完成的“wbh-810a系列微机变压器保护装置”、“wkb-800a系列微机电抗器保护控制装置”、“wxh-810a系列微机线路保护控制装置

2010-07-13

此外，像mems（micro-electro-mechanical systems，微机电系统）等新技术的广泛应用，在提高产品性能的同时，也会带动传感器产品价格的下降。

来源：国际新能源网2010-06-12

这种太阳能电池采用晶体硅制成，在制造中加入了当今电子器件厂广泛使用的微机电系统（mems）。　　　　在同等条件下能产生同样多的电能，新型电池所需硅只有普通太阳能电池的1%。

来源：中国电子元件行业协会2009-09-28

一批基于mems(微机电系统)技术的新型传感器正在进入市场。传感器设计技术、材料控制技术、生产技术、可靠性技术和测试技术不断发展成熟，量产能力逐步提高。

来源：北极星电力新闻网2009-07-10

（北极星电力新闻网） 　　包含专业 　　机械类下面的专业包括机械设计制造及其自动化、材料成型及控制工程、车辆工程、机械电子工程、汽车服务工程、制造自动化与测控技术、微机电系统工程、制造工程、工业设计...包含专业 　　涉及民航运输、空中乘务、航空服务、航空特种车辆维修、空中交通管理、空中乘务、飞行技术、民航商务、航空通信技术、空中交通管理、飞行制造技术、航空机电设备维修、民航安全技术管理等专业。

2006-11-20

在重要传感器件方面，自主开发了mems（微机电系统）振动传感器、mems声响传感器、mems红外传感器、光纤传感器、声阵列传感器，形成了以mems传感器为主、复合多信息探测的小型化传感器系列。

2006-11-09

来自日本奈良先端科学技术大学院大学、清华大学、上海交大、西安交大等高校的教授也分别从多传感器融合技术、知识与信息处理技术、mems(微机电系统)、视觉传感技术及光电波传感技术、多传感器网络在汽车安全中的应用等角度介绍了他们的最新研究成果

2006-09-07

微型化 　　仪器仪表产品微型化主要归结于超大规模集成（vlsi）新器件、微机电系统（mems）、圆片规模集成（wsi）和多芯片模块（mcm）等；采用微控技术、微加工技术、微检测技术、微光源、微分光光学系统...微电子机械系统（mems）技术是在微电子器件制造工艺技术基础上进一步融入微机械加工技术，并把两者结合起来的微制造技术，加工尺度在微米、纳米级。

2006-08-16

　　　飞思卡尔半导体(freescale)推出三款具备高感应度的传感器，采用微机电(mems)制程的mma6270q (xy-轴)、mma6280q (xz-轴)和mma7261q (xyz-轴)传感器

2006-04-27

ic insights并且估计大约80%的传感器/制动器采用微机电系统(mems)技术来执行转换(transducer)的功能。

2003-11-03

当前急需重点进行设计开发与占领的市场有(1)嵌入式微处理器和数字信号处理器(dsp) (2)信息安全和ic卡芯片(3)移动通信芯片组(4)数字音／视频产品专用集成电路(5)与网络紧密相关的集成电路(6) mems(微机电系统

2003-04-09

倍强为国内的光电、半导体产业相关制程设备专业设计／制造商，以自行设计／生产表面声波组件、微机电（mems）组件及提供晶圆制程服务为主。...针对业界在制程应用的需求，该公司设有三个部门：（1）真空设备部门，负责光电／半导体产业的真空电浆制程设备；（2）组件制造部门，负责表面声波组件及微机电代工服务；（3）代理营业部门，负责无尘室建厂规划及平面显示器的制程及检测设备