来源：光伏制造2012-04-09

待沉积的样品在等离子区域之外，等离子体不直接打到样品表面，样品或其支撑体也不是电极的一部分。...（2）直流法：使用直流源激发等离子体，进一步离化氨气和硅烷气。样品也不与等离子体接触。这种设备由荷兰的otb公司生产。

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-31

3 冶金法物理法等离子体法据资料报导，日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已在世界上最大的太阳能电池厂(sharp公司)应用，现已形成800吨/年的生产能力，全量供给sharp公司。...主要工艺是：选择纯度较好的工业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-27

主要工艺是：选择纯度较好的工业硅进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：北极星太阳能光伏网2012-03-19

2012年3月，东方集成在上海某研究所成功安装了sentech si500d等离子体沉积系统。...本次的安装，体现了东方集成为客户考虑，将工作做完美的一贯宗旨;也标志着，sentech中国区等离子体刻腐蚀和沉积系统业务在与东方集成的合作中进入了飞速、稳定的发展。

来源：北极星太阳能光伏网2012-02-27

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积（pecvd）、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能光伏电池片生产线设备和pecvd等薄膜太阳能光伏电池生产设备

来源：中商情报网2012-02-24

支持多槽制绒清洗设备、全自动平板式等离子体增强化学汽相沉积(pecvd)、激光刻蚀机、干法刻蚀机、离子注入机、全自动印刷机、快速烧结炉等晶硅太阳能电池片生产线设备和pecvd等薄膜光伏电池生产设备。

来源：德州新闻网2012-01-31

该公司采用自主研发的等离子体化学气象沉积技术，产品光电稳定转换效率达到10%以上，今年太阳能电池产能将达到118万片，目前太阳能电池的订单已排到明年，产品直接出口欧美市场。

来源：PV-Tech2012-01-18

汉能采用等离子体化学气相沉积技术，其生产的薄膜太阳能电池的稳定转换效率保持在9%以上，处于国际领先水平。

来源：中电新闻网2012-01-12

技术薄膜太阳能电池关键生产设备成功下线２０１１年１月８日，中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备（ｐｅｃｖｄ）在上海成功下线。

来源：PV-Tech2011-11-10

莱宝光电表示系统和等离子体增强化学气相沉积(pecvd)共同运作使工具有相同的可扩展过程室布局，此外还提供薄膜电池和三结电池连接处的串联电池以及个体层。...此外该公司还指出，个别的气相沉积在单独进程室中会阻止进程室中的交叉污染。玻璃衬底以持续和稳定的温度保持在不间断的真空中。

来源：北极星电力网2011-10-20

当前要重点加强太阳能级硅材料提纯，加强高效太阳电池、光伏系统以及多晶硅浇铸炉、线切割机、等离子体增强化学气相沉积设备(pecvd)等关键设备的研制，提高晶硅原材料的自给率。

来源：PV-Tech2011-09-06

centrothermphotovoltaics的全资子公司fhranlagenbau将在此次展会上展示其专为cigs和非晶硅薄膜太阳能电池设计的物理气相沉积和等离子体增强化学汽相沉积卷式生产设备。

来源：全球光伏网2011-09-05

通过使用等离子体沉积实现了最长正常运行时间和最佳整体性能。此外，与市场中其他类型的pecvd相比，它具有优化的结构设计，故无需定期停机清洁腔体，确保了最长的连续运行时间。

来源：普乐2011-09-02

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...作为锗的原料气体锗烷在等离子场中比硅烷更容易分解，这样在大面积制作薄膜时因为锗的含量分布不均匀严重的影响了器件的转换效率，尤其是在第三结子电池上为了更好的吸收红外光波必须增加锗的含量势必加重锗的分布不均匀的情况

来源：北极星太阳能光伏网2011-09-01

如今年1月，中国首台代表国际尖端水平的薄膜太阳能电池关键生产设备等离子体增强型化学气相沉积设备就在张江高科技园区的理想能源设备公司成功下线，这被视为中国在新能源高端装备领域取得的零的突破，结束了我国薄膜太阳能制造设备全部依赖巨额进口的历史

来源：中国能源报2011-08-31

众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。...作为锗的原料气体锗烷在等离子场中比硅烷更容易分解，这样在大面积制作薄膜时因为锗的含量分布不均匀严重的影响了器件的转换效率，尤其是在第三结子电池上为了更好的吸收红外光波必须增加锗的含量势必加重锗的分布不均匀的情况

来源：21IC电子网2011-08-10

sih4和nh3气体分别用于等离子体增强型化学气相沉积法沉积sin薄膜，为安全起见，sih4由氮气稀释至10％，nh3浓度为99．999％。...在实验前经过硅片清洗和制绒，磷扩散，等离子刻蚀，去除磷硅玻璃等工艺。实验用到的气体有sih4，nh3，n2。腐蚀溶液为hf酸。

来源：OFweek2011-07-05

主要工艺是：选择纯度较好的产业硅(即冶金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，往除硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清洗，在等离子体融解炉中往除硼杂质，再进行第二次水平区熔单向凝固成硅锭，往除第二次区熔硅锭中金属杂质聚集的部分和外表部分

来源：中国能源报2011-06-23

据了解，该电容整体由一组与底座垂直的石墨烯基片构成：石墨烯基片只有一个原子厚，由等离子体化学沉积而成；其基座由10纳米厚的石墨制成。米勒形象地称其为“一组600纳米高的土豆片并排站在一起”。

来源：中国科学院上海微系统与信息技术研究所新能源技术中心 孟凡英2011-06-15

目前硅基薄膜太阳能电池，无论单结、双结还是三结电池，制造工艺都是采用等离子体增强的化学气相沉积(pecvd)方法，真空腔的清洗基本是氟化物(sf6或nf3)，排出物是含氟气体。