来源：中国科学院2016-03-18

针对力学柔性问题，熊宇杰课题组对商用硅片进行薄化和纳米线刻蚀处理，进而结合银纳米片的等离激元热电子注入效应，制造出了具有力学柔性的近红外太阳能电池。

来源：北极星太阳能光伏网（独家)2016-03-02

这些专利申请主要是与正银的配方有关，涉及刻蚀剂的配方和制造工艺，有机载体的配方和制作工艺等。

来源：科普中国微平台2016-02-25

④现代半导体微加工工艺都是二维平面工艺，即在一个平面上进行掺杂、刻蚀、连电极等基本加工。石墨烯的二维结构与之恰好匹配，传统的微加工工艺完全适用石墨烯微、纳米尺度结构的加工。

来源：烯碳资讯2016-01-13

微机械剥离法石墨烯首次是由一种叫微机械剥离的方法被制备出来的，科学家们先高定向热解石墨，再在石墨表面离子刻蚀出微槽，并将其粘到玻璃衬底上，随后用普通胶带在石墨上反复剥离，得到粘附在胶带上约10m厚的石墨烯薄膜

来源：cnbeta网站2016-01-04

2015年，北京大学采用氢辅助法在４ｈ－ｓｉｃ表面外延生长出高质量石墨烯，其中氢充当了碳刻蚀剂的作用，产生的石墨烯层面积更大，厚度更均匀。

来源：MaterialsViews中国2015-12-17

化学气相沉积法通过前驱体在真空高温下反应直接沉积在基底上，虽然制备的产品晶体质量高、厚度可控，但是制备成本较高，在转移时需要刻蚀基底易引入杂质，并且产量较低。

来源：MaterialsViews中国2015-12-07

然而，这些生长基底都需要通过使用刻蚀剂刻蚀的方法才能去除，这一方面增加了基底的损耗，另一方面也会引入杂质，从而造成石墨烯晶体质量的严重降低。

来源：化工7072015-12-02

电子光伏：浸渍、真空镀膜、离子刻蚀、分子束外延等。航天航空：钎焊、真空镀膜、电子束焊、风洞试验、空间环境模拟等。冶金行业：浸渍、挤出、真空镀膜、离子刻蚀、泥料脱气、钢水脱气、分子束外延等。

来源：北极星太阳能光伏网2015-11-24

加快高效电池用平板式pecvd、离子注入机、刻蚀机、原子层沉积镀膜设备（ald）等关键工艺设备研发领域均有入围。

来源：电子工程2015-09-14

他对这两个工艺进行了分析比较，mems演进需要新的工艺，包括深硅刻蚀、晶园级绑定、高精度晶园减薄、真空封装以及tsv与wlp封装;而cmos演进则是需要新的材料，包括cr/au/ti/cu/al等金属化物

来源：价值中国2015-09-07

京瓷产业化17.2％~17.7％的多晶硅电池就是采用等离子刻蚀工艺的一个成功典范。2.2发射区扩散pn结特性决定了太阳能电池的性能！

来源：中国电子报2015-06-24

二是led(照明)生产线关键设备mocvd、刻蚀机、pvd、cvd等2014年销售51台，实现了产业化。

来源：Graphene石墨烯快讯2015-04-07

加州大学洛杉矶分校的加州纳米技术研究院已经成功地结合激光刻蚀的石墨烯和二氧化锰(这是目前碱性电池中使用最多的材料，因为它拥有大量的电能，并且来源丰富廉价)，以发展一种新型储能装置。

来源：中国投资2015-04-03

2014年，国内光伏制造设备水平仍处于快速提升阶段，在晶体硅太阳能电池生产线的十几种主要设备中，8种以上国产设备已在国内生产线中居主导地位，其中单晶炉、扩散炉、等离子刻蚀机、清洗制绒设备、组件层压机、太阳模拟仪等已达到或接近国际先进水平

来源：通用电气集团2014-12-31

adts542f采用了先进的ge德鲁克第二代沟槽刻蚀硅谐振压力传感器terps技术以及创新性的德鲁克成熟的压力控制技术，精度指标在12个月内优于0.1mbar，若选用其内部校准组件，还可将校准周期延长至

来源：Solarzoom2014-09-05

原材料（多晶硅片、单晶硅片、铝框架、接线盒等）；③产成品（太阳能电池组件、低瓦值组件、多（单）晶硅电池片等）；④高效太阳能电池及组件技术改造项目涉及的在建机器设备，印刷设备、减反射膜制造设备、分选设备、湿刻蚀绝缘机

来源：昆仑海岸2014-07-21

溅射薄膜压力液位变送器是采用原子纳米薄膜应变电阻通过溅射、刻蚀特殊工艺技术制作的压力传感器和高性能的数字放大电路一体化设计，它克服了传统传感器的蠕变、滞后、老化等不稳定因素，提高变送器在高温高压恶劣环境下的长期稳定性和可靠性

来源：中国光伏测试网2014-07-15

组件的生产是经过电池片的生产，包括硅锭，线切割，硅片清洗，扩散制结，等离子刻蚀，去磷硅玻璃，减反射膜制备，丝网印刷，烧结，检测分级，这期间由于通过单片功率测试和删选，隐裂的几率比较小。

来源：中国储能网2014-07-10

pnnl的科学家使用michael sailor的方法制作多孔硅通过化学浴在薄片上刻蚀微孔，然后包裹上一层薄的碳层制作电极。

来源：中国能源报2014-07-02

2013年又研制出的一批新的晶硅太阳能电池设备(在线湿法刻蚀设备、减压扩散炉、ald原子层沉积al2o3钝化膜设备、超细栅印刷设备、全自动太阳能电池测试分选机等)，2014年这批新设备将进入市场，这不仅使太阳能电池片生产线的产能和转换效率得到明显的提高