来源：招商证券机械团队2020-02-04

国内的理想万里晖率先研发出用于hjt的pecvd设备，打破了长期以来国外厂商的垄断，并且在2019年成功竞标某标志性百兆瓦级hjt项目的pecvd设备供应，并陆续升级pecvd推出配套工艺。

来源：光伏测试网2020-01-31

在电池生产中，隆基认为m6能与现有的主要设备兼容，包括扩散、退火、pecvd和其他工艺。由于旧设备的自然冗余，工艺改造成本也很有限，大多数相关设备的升级改造无论是技术上还是经济上都是可以接受的。

来源：光大证券2020-01-20

（来源：光大证券 作者：殷中枢 菅成广 王威 马瑞山）非晶硅薄膜沉积、tco膜沉积是hjt生产核心步骤，pecvd和pvd国产化、规模化将推动降本。...当前，hjt单gw设备投资额大约为8-10个亿，大概是perc投资的2.5-3倍左右，未来设备国产化后，设备投资将逐步减少40%以上，有望降低至5-6亿元；如果进一步规模化，降低幅度的可能性将更大，如常规

来源：中国改革报2020-01-15

直到2017年，爱旭科技对技术持续不断投入得到了回报，成功研发出单晶perc的管式pecvd量产技术，光电转换效率比普通单晶电池提升了10%，成本却与单晶电池相当，一下子实现了逆袭。...而在追求技术领先的同时，爱旭还与设备厂和材料厂通力合作，不停地做设备和工艺的创新与升级，通过先进设备和工艺流程生产出先进电池产品。

来源：越声理财2020-01-13

设备端迈为股份、捷佳伟创(52.470,1.67,3.29%)、金辰股份(25.550,-0.10,-0.39%)全部转向hit设备研发，聚焦pecvd。...2019年12月，爱康科技(1.680,-0.02,-1.18%)一期200mw中试线开始采购设备，预计2020年5-6月投产。

来源：光伏每日头条2020-01-10

图表2：hit太阳能电池工艺流程资料来源：ofweek行业研究中心制备的核心工艺是非晶硅薄膜的沉积，其对工艺清洁度要求极高，量产过程中可靠性和可重复性是一大挑战，目前通常用pecvd法制备。...hit电池的制备工艺步骤简单，且工艺温度低，可避免高温工艺对硅片的损伤，并有效降低排放，但是工艺难度大，且产线与传统电池不兼容，设备资产投资较大。

来源：OFweek太阳能光伏2020-01-10

据了解，目前主流的电池设备为pecvd，而pecvd设备仅占异质结产线价值量的一半，相较于上述其它两种电池技术来说，hit所需pecvd设备和现有设备差别较大，而国内技术并不成熟。

来源：大众证券报2020-01-08

规模化是设备成本下降的主要路径之一。目前，hit电池设备的单机产能相对较低，清洗机、pvd、丝网印刷机单机产能大约在200mw/台左右，pecvd只有100mw/台左右的产能。

来源：电新邓永康团队2020-01-08

但是pecvd里面有一些专利，所以要想做的话是绕不开专利这一块的。...现在每个公司做出来也不一样，但是目前来看用国外的设备做出来控制的好一点，国内设备相对波动要大一点。后面设备这一块突破以后，我们认为市场占有率这一块会急剧上升。

来源：华尔街见闻2020-01-08

设备环节，国产化正在加速，hit设备价格已经下降到7-8亿/gw，pecvd仍是难点。耗材方面，低温银浆国产化基本成功，第二大耗材靶材的国产化也已完成，静待需求放量。

来源：电新产业研究2020-01-07

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。

来源：高工锂电2019-12-20

12月5日，金辰股份发布公告称，公司拟发行不超过3.74亿元的可转债，用于“年产40台（套）光伏异质结（hjt）高效电池片用pecvd设备项目”。...12月7日，先导智能发布公告称，拟发行可转债募集资金总额10亿元，用于年产2000台电容器、光伏组件、锂电池自动化专用设备项目、先导研究院建设项目、信息化智能化升级改造项目、以及补充流动资金。

来源：中信建投2019-12-17

12 月6 日，金辰股份公告可转债发行预案，拟募集资金3.7 亿元用于年产40 台套光伏异质结高效电池片用pecvd 设备项目，标志着异质结核心设备国产化进程更进一步。

来源：电新产业研究2019-12-16

设备端清洗制绒、pvd/rpd、丝网印刷都已突破，唯一的难点在于pecvd，海内外众多企业都在集中攻关以提高pecvd的节拍、稳定性、均匀性，并降低设备价格，明年可能会有较大突破。

来源：摩尔光伏 中信证券2019-12-04

与perc工艺的区别在于：1）非晶硅薄膜沉积环节，使用pecvd或rpd沉积本征氢化非晶硅层和p型/n型氢化非晶硅层；2）镀膜环节使用pvd沉积tco导电膜；3）印刷电极方面需使用低温银浆；4）烧结过程需控制低温烧结

来源：太阳能杂志2019-11-27

已经具备成套供应能力；部分产品，如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd、印刷机、单晶炉、多晶铸锭炉、层压机、检测及自动化设备等，已有不同程度的出口。...光伏设备方面，受益于我国良好的半导体产业发展基础，我国光伏设备企业从硅材料生产、硅片加工、太阳电池与光伏组件的生产，到相应的纯水制备、环保处理、净化工程的建设，以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2019-10-24

也许正是基于对技术设备的大量研发投入，与涵盖光伏全产业链设备的绝对实力，在今年九月份，红太阳光电公司才能获得全球市值最高光伏企业的青睐，成功收获pecvd、氧化退火设备大单，提前奠定了红太阳光电在2020

来源：PV兔子2019-10-18

非晶硅沉积主要使用pecvd方法。tco薄膜沉积目前有两种方法：rpd(反应等离子体沉积)和pvd（物理化学气象沉积）。住友重工拥有rpd的专利，而pvd技术发展成熟，提供给设备的厂家较多。

来源：厚济天下2019-10-17

具体到细分设备，2019-2021年市场空间：制绒设备21.4亿元、扩散设备13.9亿元、刻蚀设备9.5亿元，退火设备13.9亿元，背钝化设备63亿元、pecvd设备28.4亿元、印刷线36.5亿元、激光开槽设备

来源：挖贝网2019-10-17

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化（配套）设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售