来源：北极星太阳能光伏网（整理）2020-09-28

中电科电子装备集团是我国以集成电路制造装备、新型平板显示装备、光伏新能源装备以及太阳能光伏产业为主的科研生产骨干单位。

来源：英才杂志2020-07-16

研究成果方面，公司期间通过承担国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”和“8英寸区熔硅单晶炉国产设备研制”两项课题，实现集成电路8-12英寸半导体长晶炉的量产突破

来源：pv-tech2014-09-23

日前，国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(即：国家02专项)电子级多晶硅材料研发工作在黄河公司新能源分公司启动。...此次黄河公司申报的国家科技重大专项《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)电子级多晶硅材料研发项目于今年5月26日由专项实施管理办公室正式批复同意，该项目将通过事后立项事后补助的方式，获得国家财政补助

来源：北极星电力网2013-10-23

联合早先成立的国内研发中心，组建了由丁荣军院士领衔的上百名全球性研发团队，专注新一代igbt芯片技术、新一代高功率密度igbt模块技术和下一代碳化硅功率器件技术等技术的开发与应用，依靠国家重大科技专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺等政策的支持

来源：北极星太阳能光伏网(独家)2012-07-18

本次，项目责任单位环欧公司于近日收到了极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项项目地方配套经费1432万元。...中环股份的全资子公司天津市环欧半导体材料技术有限公司，申请承担的《区熔硅单晶片产业化技术与国产设备研制》项目是国家科技重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺专项属于02专项2011年度项目。

来源：工信部网站2012-02-24

(二)创新能力显著提升在《核心电子器件、高端通用芯片及基础软件产品》和《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》等国家科技重大专项等科技项目的支持下，大部分设计企业具备0.25微米以下及百万门设计能力，先进设计能力达到

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

公司战略定位是以集成电路制造工艺技术为核心，不断培育集成电路装备的竞争能力，向集成电路、太阳能电池、tft-lcd和新型电子元器件等领域作产品拓展，尤其是太阳能电池制造（即光伏）、锂离子动力电池等新兴行业将作为公司重点产品领域

来源：电源在线2011-12-13

3)信息通信领域：重点关注的对象包括传感网、物联网，集成电路、平板显示、软件和信息服务，核心电子器件、高端通用芯片及基础软件产品，新一代宽带无线移动通信网，极大规模集成电路制造装备和成套工艺等专项。

来源：中国能源报2011-01-20

中国电子科技集团公司总经理王志刚1月１２日透露，由中国电科承担的国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”课题之一的３００毫米硅材料多线切割机近日研制成功，从而打破了国内生产线上运行的１２

来源：互联网2010-01-06

在建设过程中，要把联盟构建的基点放在产业发展和竞争力提升上，放在集成电路封装测试产业链技术创新的重大突破上，紧扣“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”重大专项已确定的重点任务。

2006-10-10

　　三年如白驹过隙，1100多个日日夜夜里，一支平均年龄不到35岁的中国科研团队，走完了发达国家15年才走完的路，使得国内主流的集成电路生产线上首次出现了国产核心制造装备。

2006-09-29

中国集成电路制造业的发展同时还为集成电路制造装备创造了可观的市场空间。据预测，到2010年，中国集成电路产业投资累计将达到3500亿元，其中大部分将用于集成电路制造装备投资。

2006-09-14

中国科学院微电子研究所常务副所长叶甜春表示，通过进行科技部“十五”863重大专项“100nm集成电路制造装备”，我国研制出100nm 8英寸高密度等离子体刻蚀机和大倾角注入机试生产样机，实现了我国高端集成电路核心设备零的突破