来源：江苏省工业和信息化厅2023-06-20

《指南》明确，江苏省制造业创新中心“十四五”建设重点领域（第一批），其中包括：特高压输变电设备：围绕特高压输变电需求，重点突破特高压大功率半导体器件、直流输电关键设备和自主安全电力保护控制设备（系统），...新一代光伏技术与装备：围绕高转换效率、高功率电池发展方向，重点研发适用于下一代太阳能电池技术的新型高效大尺寸电池组件、高效光伏逆变器、高效导电银浆（银粉）制备及设备、电池等离子体增强化学的气相沉积（pecvd

来源：英孚康2023-05-30

目前已经实现包括生长炉、泛线切类设备、清洗机、扩散炉、刻蚀机、pecvd、电池片自动化设备、串焊机、层压机等设备的全面覆盖。...一直以来，英孚康工业在产品研发和服务客户的全过程中，始终秉持系统架构和产品性能对标欧美品牌，稳定性和可靠性对标日系品牌，快速市场响应能力对标国内品牌。我们努力汲取各家之长，全面助力龙头客户发展。

来源：广东省工业和信息化厅2022-09-05

重点支持大面积透明导电氧化物（tco）导电玻璃镀膜设备、多靶位磁控溅射系统、多线切割机、自动分选机等硅片生产设备；多槽制绒清洗设备、激光刻蚀机、全自动大面积等离子增强化学气相沉积装备（pecvd）、干法刻蚀机

来源：中国新能源发展论坛2022-06-22

“链式思维”崛起千亿产业集群碱制绒、pecvd镀膜、丝网印刷……走进天合光能（盐城）科技有限公司16gw电池项目生产车间，几百台自动化生产设备马力全开，agv运输小车来回穿梭。...依托资源禀赋，盐城坚持系统谋划，吸引国家电投、华能、国家能源、三峡、龙源、中广核等一批国字头资源开发企业，实施风光资源系统化、规模化、集中化开发。扛起“双碳”使命，强化“c位”担当。

来源：北极星环保网2021-10-29

积极引进金属有机化合 物化学气相沉积设备（mocvd）、刻蚀机、光刻机、等离子体增 强化学气相沉积设备（pecvd）、固晶机、光谱分析仪等核心设备 研发生产项目。...加快推进水环境治理与信息化产业融合，发展智慧化污水处理远程 运维装备和信息化系统，推动水环境治理产业实现数字化、网络化、智能化。 （三）固体废物处理及土壤污染防治。

来源：理想万里晖2021-09-30

理想万里晖在异质结领域积极延伸产业链，布局整线战略，现已有系列pecvd设备、pvd设备、整线集成及交钥匙服务，目前已有异质结客户12家，通过验收客户9家。...瑞硕科技自2015年成立以来，一直专注于光伏异质结自动化传输系统及半导体物流存储装置，在非标自动化行业积累丰富经验。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2021-06-25

pe插片机晟成光伏在snec展会上展出的pe插片机，属于光伏电池片生产设备，该设备对接管式pecvd石墨舟镀膜自动化生产线，具备花篮与石墨舟之间自动导片功能，以及对接信号处理功能。...通过系统可以得到更合理的长效解决方案，优化工作效率、精简人力、提升品质，是光伏组件产业真正实现智能化的最强助力。在巩固光伏组件设备领域优势地位的同时，晟成光伏还将业务延伸至光伏电池片和硅片制造领域。

来源：北极星太阳能光伏网2021-04-29

捷佳伟创的整厂自动化方案，通过对agv小车、货架、对接机构、mcs系统的优化，其调试时间大幅缩短，提高了市场竞争力。...报告期内，捷佳伟创自主研发的首台国产大产量rpd5500a设备和异质结关键设备板式pecvd先后出厂交付。

来源：pv-magazine2021-04-14

考虑到这一点，德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所（fraunhofer institute for solar energy systems）的研究人员努力改进p型高效topcon电池的生产工艺。...工艺步骤还包括高温退火并通过等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）在电池的两侧应用氮化硅（sinx）层。

来源：SOLARZOOM2021-01-13

而到了2020年上半年，则关于18x的讨论开始增多——硅片、电池片企业经过技术探索发现，单晶拉棒炉、管式pecvd等设备经过改造后最大可以满足18x的尺寸。...于是，各大龙头电池片企业意识到：通过尺寸升级，虽然在光伏组件或系统成本侧的降本幅度很小，但却可以拉开与二三线电池片企业之间的产品差距，在大尺寸产品上实现短暂的“供不应求”，最终同时获得“市场份额提升+利润维持

来源：摩尔光伏2020-07-21

磷硅玻璃的存在使得pecvd后产生色差,在pecvd工序将使镀的sixny容易发生脱落，降低电池的转换效率。...rena inoxside 工艺流程renainoxside的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。

来源：贺利氏可再生能源2020-07-10

topcon电池概念 topcon电池的概念由德国弗劳恩霍夫太阳能系统研究所（fraunhofer-ise）于2013年提出，下图为该n型钝化接触太阳能电池的结构示意图。图1....图2. topcon工艺流程图 目前用于生长高质量重掺杂多晶硅层的方法有lpcvd（低压化学气相沉积）和pecvd两种。

来源：光伏新闻2020-06-22

在国内，杭州赛昂的shj电池转换效率达到23．1%,中科院上海微系统与信息技术研究所n-cz硅片制备的shj电池取得23．5%的效率。...一、perc专利战如鲠在喉韩华专利的核心是ald镀氧化铝+pecvd镀氮化硅的结构，以及用此结构来生产出来的太阳能电池，该技术主要应用于perc电池中，而perc电池早已成为主流电池工艺，据不完全统计，

来源：允哥聊风电2020-06-16

光伏发电成本保持快速下降，十年来组件成本从约40元/w降至1.5元/w，系统成本从约60元/w降至4元/w以内，降幅达95%左右，且仍将处于持续下降通道。以上来自于中信证券行业研究报告。...我国光伏设备企业从硅材料生产产、硅片加工、光伏电池片、组件的生产以及相应的纯水设备、环保处理、净化工程的建设、以及与光伏产业链相应的检测设备、模拟器等，已经具备成套供应能力，部分产品如湿法清洗设备、制绒机、扩散炉、管式pecvd

来源：摩尔光伏2020-05-18

磷硅玻璃的存在使得pecvd后产生色差,在pecvd工序将使镀的sixny容易发生脱落，降低电池的转换效率。...rena inoxside 工艺流程renainoxside的主体分为以下七个槽，此外还有滚轮、排风系统、自动及手动补液系统、循环系统和温度控制系统等。

来源：北极星太阳能光伏网2020-04-24

主要产品包括pecvd及扩散炉等半导体掺杂沉积工艺光伏设备、清洗、刻蚀、制绒等湿法工艺光伏设备以及自动化(配套)设备、全自动丝网印刷设备等晶体硅太阳能电池生产工艺流程中的主要及配套设备的研发、制造和销售...；主营产品高温扩散氧化退火炉、管式等离子体沉积炉、湿法设备、自动化设备、智能制造车间系统的研发也向大产能、高度自动化、集成化方向发展。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-16

pecvd设备项目。...2019年12月，金辰股份将“搬运机器人和智能物料传输仓储系统”和“光伏电池片生产自动化系统”两个募投项目尚未使用的募集资金用途变更至新募投项目“年产40台（套）”遂穿氧化硅钝化接触高效太阳电池用平板式

来源：五维汇财2020-04-14

光伏产业链包括上游硅料、铸锭（硅棒）、硅片，中游电池片、电池组件、薄膜光伏组件以及下游应用系统（包括发电系统、运维监测系统、逆变器）等六个环节，中国是上中游产品主要生产国之一。...加工设备：捷佳伟创：晶体硅太阳能电池设备供应的国内龙头，电池片核心设备pecvd的市占率均超过50%;公司完全掌握了mwt. n-perc、 topcon等技术，并对下一代电池技术hit深入研究。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-04-10

罗博特科光伏业务营收占比达99%，主要为光伏电池片生产商提供自动化生产配套设备，产品包括扩散、pecvd、perc、蚀刻及测试分选自动化设备。...2019年，罗博特科智能制造系统业务较上年增长14.98%，毛利率22.71%。

来源：光伏测试网2020-04-08

硅片背面采用硝酸湿法氧化出一层1.4 nm左右的极薄氧化硅层，并利用pecvd在氧化层表面沉积一层20 nm厚的磷掺杂的微晶非晶混合si薄膜。...1.1 何为钝化接触太阳能电池隧穿氧化层钝化接触（tunnel oxide passivating contacts）电池的概念由德国夫琅禾费太阳能系统研究所(fraunhofer-ise)于2013年提出