来源：山东省政府2024-01-24

支持钙钛矿太阳能电池材料（钙钛矿材料、透明导电氧化物镀膜玻璃、吸光材料等）、生产装备（激光设备、原子层沉积设备等）、电池组件等领域项目建设和技术突破，引导钙钛矿太阳能电池产业链各环节快速发展。

来源：四川省发展和改革委2024-01-15

四、项目设计、建设单位在落实节能报告各项措施基础上，应改进和加强以下节能工作：（一）鉴于磁控溅射沉积设备、化学气相沉积设备、化镍镀镍湿法设备、镀铜镀锡湿法设备、线性源多源蒸镀机、pvd蓝黄膜一体机、原子层沉积设备

来源：晟成光伏2023-10-17

晟成光伏空间型原子层沉积量产工艺及 装备开发项目基于空间式sald的技术，研究适合于钙钛矿电池电子传输层sno2膜层以及封装阻水层al2o3膜层的原子层沉积技术，结合晟成光伏的钙钛矿电池中试线的验证测试

来源：北极星电池网2023-06-13

公司开发的原子层沉积（ald）微纳米颗粒包覆技术与装备，实现了我国在该领域的突破，是继美国之后世界第二家实现该技术产业化的国家。

来源：北极星太阳能光伏网2022-12-23

（二）基于原子层沉积技术的半导体配套设备扩产升级项目项目拟基于公司现有ald设备产线进行升级扩产，开发适用于半导体的ald设备，新增年产40套ald设备。...本次募集资金总额扣除发行费用后，拟全部用于公司主营业务相关的项目及主营业务发展所需资金，具体如下：（一）基于原子层沉积技术的光伏及柔性电子设备扩产升级项目项目拟基于公司现有ald设备产线进行升级扩产，开发适用于光伏

来源：南京大学2022-05-27

为了克服上述互连结构中的离子扩散难题，团队巧妙地采用原子层沉积（ald）制备致密的sno2电子传输层（ald-sno2），该ald-sno2层可完美地保形沉积于子电池间的互联区域，有效阻隔了互连结构中钙钛矿与金属间的直接接触

来源：通威集团2021-07-14

通威太阳能在原子层沉积背钝化、选择性发射极工艺、双面电池、多主栅、hjt电池、高效组件等核心技术领域形成了具有自主知识产权的多项技术成果。...通威在topcon技术方面也取得了重大突破，采用210尺寸pecvd隧穿氧化/多晶硅沉积设备和工艺，研发线平均电池效率达到24.10%，同时1gw topcon中试线也正在建设中。

来源：先导智能2021-04-22

此次无锡尚德与先导智能、江苏微导合作研制开发的高效topcon 光伏电池整线智能工厂采用了行业领先的基于工业互联网技术的数字化智能工厂解决方案、基于ald 原子层沉积镀膜技术、丝网印刷技术的 topcon

来源：北极星太阳能光伏网2020-10-20

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-09-30

据了解，背钝化膜的制备是perc电池最为核心的工艺步骤，主要分为以韩华为代表的原子层沉积（ald），和以梅耶博格为代表的板式（pecvd）沉积方式，隆基采用的是pecvd技术。

来源：科创板日报2020-08-06

2014年起，理想晶延开始布局高效光伏背钝化设备开发，采用国际先进的ald（原子层沉积）技术，自主研发了氧化铝背钝化ald设备。...公开资料显示，原子层沉积ald属于化学气相沉积的一种，其具备成膜均匀性好、薄膜密度高、台阶覆盖性好、低温沉积等优点。

来源：浙江新闻客户端2020-07-20

超级膜法团队以工业生产的高分子分离膜为基材，使用原子层沉积技术还原金属离子制备导电高分子—金属复合分离膜，产品具有过滤效果好、使用寿命长、清洁成本低等优点，直击纺织印染业废水处理成本高、处理效果差的痛点

来源：北极星太阳能光伏网（独家）2020-06-28

据了解，微导纳米以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：资本邦2020-06-23

公司以原子层沉积(atomiclayerdeposition，以下简称“ald”)技术为核心，致力于先进微、纳米级薄膜沉积技术和设备的研究与产业化应用，为光伏、集成电路、柔性电子等半导体与泛半导体行业提供高端装备与技术解决方案

来源：盖世汽车网2020-04-23

表面积大unist团队利用原子层沉积（ald）将氧化铝（al2o3）层涂在硅导电带上，使硅表面钝化。...据外媒报道，韩国蔚山国家科学技术研究院（unist）的研究人员研发了一款可伸缩无色太阳能电池，转换效率可达8%，经过数十次弯曲测试后，性能仍可保持在95%左右。

来源：国家税务总局2019-12-12

国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2019年修订)》和《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2019年修订)》，即附件一和附件二中的第十五章节，对光伏领域所需的进口化学气相沉积设备，低压扩散设备、原子层沉积设备等设备和所需的零部件

来源：光伏們2019-11-20

随后在3月14日，继在美国和德国，韩华新能源又以相同的原因，向澳大利亚联邦法院对晶科、隆基提起专利侵权诉讼，称专利权利要求不限于任何特定的制造方法，例如原子层沉积（ald）或等离子体增强化学沉积（pecvd

来源：光伏测试网2019-11-18

随后，梅耶伯格站队隆基:“韩华声称是基于使用原子层沉积（ald），与隆基使用的制造工艺不同；目前隆基隆基采用的pecvd技术，专利采用的是ald技术。”

来源：材料人2019-08-13

早在2017年jeffrey w. elam课题组利用原子层沉积（ald）的方法在锂上制备了超薄的氧化铝涂层。...当去除这种原生的镀层会发现，锂金属的表面不光滑，具有许多不规则的裂缝，导致锂会不均匀的沉积。

来源：北极星氢能网2019-05-13

公司开发的主要设备有：工模具硬质涂层镀膜设备、磁控溅射镀膜设备、多弧离子镀膜设备、磁控溅射多弧离子复合镀膜设备、连续式磁控溅射镀膜生产线、光学镀膜设备、cvd和pecvd化学气相沉积设备、icp刻蚀设备和ald原子层沉积设备等