来源：南方电网报2022-12-06

为保障试点设备安全运行，该公司采用高精度质量流量控制器，在六氟化硫进气口添加气化加热模块，对混合气体进行精准配制和监控，防止六氟化硫气化不足引起配气不准确情况，同时坚持标准体系建设、精益管理和现场试验相结合...作为绝缘介质，六氟化硫气体具有优异的电气绝缘及灭弧性能，被广泛应用于高压断路器、gis等电气设备，但其温室效应是等量二氧化碳的2.39万倍，在高温高压电弧的作用下还会与水产生化学反应，产生多种有毒气体。

来源：福德世仪器2020-07-01

根据质量流量控制器（mfc）数量不同，hovacalnmf有212mf,312mf,和412mf依次对应2个气体通道，3个气体通道和4个气体通道。质量流量控制器的量程可根据客户需要定制。...hovacalnmf由4个质量流量控制器，一个由质量流量传感器控制的液体蠕动泵，一个蒸发器的温控器和一个加热管线的温控器组成。

来源：福德世仪器2020-04-22

通过厂家提供的软件操作，质量流量控制器的量程根据用户需求定制，气体通道数量可选。福德世公司已成为德国ias公司在中国区的总代理，全权为ias公司中国客户服务。...配气仪，行业内又名校准气发生器，等比例稀释气，标气稀释器等。目前市面上多见的有两种原理的配气仪，一种是三通电磁阀原理，另一种是质量流量计原理，后者精度比前者高。

来源：中国电力企业联合会2018-10-09

试验仪器设备应符合下列具体要求：4.2.1 氢气质量流量控制器的精度不低于±(1%rdg + 0.2%f.s.)，重复性不低于0.2%f.s.。4.2.2 压力传感器的精度不低于±0.5%f.s.。

来源：福德世2018-01-05

恒温工作的质量流量控制器(mfc)能在很大范围内测量和控制气体流量，并不受气体温度和压力的影响。其测量原理是，通过热量传输控制有温差和压差的气体质量流量。

来源：福德世2017-03-13

浓度模式 流量模式混合稀释比例可以达到ppm，ppb甚至ppt级别。hovacal 气体发生器和混合气体发生器可以配置不同的质量流量控制器，蠕动泵和不同数量的气体通道，混合稀释不同的气体。。

来源：中国环境报2014-12-31

70%，较去年提升33%；另外，动态校准仪质量流量控制器（mfc）单点流量测试达标率约60%，较去年提升6%。...仍有相当部分站点动态校准仪质量流量控制器流量测试不达标，26%的站点未按要求进行臭氧量值溯源，17%的站点主要气态污染物采样流量测试不达标。二是部分设备质控措施不到位。

来源：世纪新能源网2013-07-11

大族环球科技股份有限公司太阳能屋顶并网电站示范工程项目施工招标2、上海浦成机电设备招标有限公司采购信息关于上海森松化工成套装备有限公司高效多晶硅还原炉系统研发及产业化采购项目的更正公告3、浙江科技学院动力电池测试系统、piv、质量流量控制器

来源：北极星太阳能光伏网2012-11-21

且12英寸集成电路气体质量流量控制器也已完成研发，进入小批量生产阶段。...七星电子多年来一直承担着国家多项科技重大专项研发任务，先后进行了12英寸立式氧化炉、清洗机及气体质量流量控制器等产品的研发。

来源：百度百科2012-02-28

七星集团主要产品包括：半导体工艺制造设备(微扩散系统、干法刻蚀系统、pecvd、质量流量控制器)、太阳能电池设备、tft-lcd设备、电真空设备、单晶炉、二次电池设备;各类高可靠、高稳定、高精密电阻器、

来源：北极星太阳能光伏网2011-12-15

七星电子承担了"极大规模集成电路制造装备及成套工艺"专项（即"02专项"）中的"300mm90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化项目"、"65nm超精细清洗设备研制与产业化项目"、"45-...其前提是公司掌握了半导体前道工艺主要设备的制造技术，具备以成膜、清洗、流量控制工艺为核心的设备制造能力。""

来源：互联网2011-03-14

由于实际运用中需要精确的气体流量控制，mcs系列质量流量控制器能够对腐蚀性气体进行准确的流量管理，对上游气体流量变化作出反应，同时还能在100毫秒之内获得并且记录流量定位点。