来源：北极星太阳能光伏网（独家）2017-11-27

一、pecvd原理pecvd 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷sih4和氨nh3。

来源：光伏标准及技术2015-07-30

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：PV-Tech2015-02-09

系统订单涵盖扩散、等离子体增强化学气相沉积(pecvd)和离子注入系统，预计将在未来三至九个月出货。...amtech指出，其中一个订单包括多个tempress pecvd系统，对于日本一家领先的太阳能电池和组件制造商。

来源：PV-tech2014-02-28

amtech表示，多笔订单包括扩散炉和一个用于加工更高效率太阳能电池的等离子体增强化学气相沉积(pecvd)系统。...根据该公司，这是第二笔pecvd生产订单，其有潜力翻倍该公司的服务市场。pentinga补充道：我们继续与现有和潜在的新客户讨论我们尖端技术解决方案，包括我们的离子注入系统、n型和pecvd技术。

来源：PV-Tech每日光伏新闻2013-12-13

该公司还将从储备中向美国nexolon出货，为其先进的电池生产线提供扩散和pecvd系统。然而，amtech认为直至2014年九月才开始确认这些系统的收入。

来源：研华（中国）公司2013-05-28

为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，因而这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积(pecvd)。...项目实施系统架构图 研华pecvd系统解决方案架构图客户现场图片总结研华在针对设备与产线自动化的解决方案中，通过研华嵌入式平台进行数据的整合和运行，研华开放式的硬件平台支持各种流行系统，同时针对客户需求对系统进行剪裁

来源：OFweek太阳能光伏网2012-10-31

曙海公司是专业从事设计、生产、销售硅薄膜太阳电池生产线和整套工艺及其核心专有设备等离子强化型化学气相薄膜沉积pecvd系统和磁控溅射系统pvd的高科技企业。...创益于二零零六年扩大年产能至5兆瓦，并开始为太阳能户用系统及其它太阳能离网应用生产标准光伏组件，并于二零零八年十月前将年产能逐步提高至45兆瓦。

来源：光伏制造2012-04-09

目前，在中国微波法pecvd系统占据市场的主流，而管式pecvd系统也占据不少份额，而岛津的板式系统只有5~6条生产线在使用。直流法pecvd系统还没有进入中国市场。

来源：普乐2011-09-02

近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。...众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。

来源：中国能源报2011-08-31

近年来，普乐一直在做这方面的研发和生产，目前已经能在单室多片的平行模式pecvd系统中沉积出了均匀性很好的非晶硅锗薄膜了。...众所周知，以等离子体增强化学气相沉积（pecvd）法生长的非晶硅和微晶硅材料，一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。

来源：21IC电子网2011-08-10

由于影响pecvd系统淀积效果的参数很多，如气体流量和流量比，工艺腔温度，射频功率，沉积气压等等，而且对不同的pecvd设备会有不同的最佳参数，我们有必要就主要的控制参数进行研究，摸索出在这台pecvd